专利名称：整体拆卸式观察窗及挡板机构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及光学部件制造设备，尤其涉及一种光学镀膜设备中的整体拆卸式
观察窗及挡板机构。
背景技术：
在光学镀膜过程中，操作者需要用肉眼通过观察窗观察镀膜情况，以控制镀膜进 程，保证镀膜质量。此外，操作者还可通过观察窗观察镀膜设备运转时真空室内有无异常情 况，防止意外发生，提高安全性。 蒸发源蒸发出的膜料大部分向被镀工件方向移动，但仍有部分膜料附着于真空室 内壁四周和观察窗玻璃内侧表面上。随着被附着的膜料量的增加，观察窗玻璃逐渐变模糊， 甚至可能导致看不清真空室内的工作进展，从而影响镀膜过程。 现有的观察窗的结构示意图如图1所示，其包括依次从外侧排列至内侧的有机玻 璃11、观察窗玻璃12、挡玻璃13，各玻璃由观察窗腔体内腔凹槽、卡环14、观察窗压盖15及 各类螺钉共同作用固定，每个零件作为一个单独的个体进行装配。还利用矩形密封圈16起 到将真空室与外接隔离密封的作用。 上述观察窗存在以下缺点由于挡玻璃在最内侧，直接与真空室内环境接触，当镀 膜工作进行时，由于蒸镀膜料被蒸发时会有部分附着于挡玻璃的表面，致使观察窗清晰度 降低，当镀膜进行到一定程度时会影响观察，这时候需要而且只能在镀膜设备工作间隙更 换挡玻璃，恢复观察窗的清晰度。而且又由于观察窗的每个零件都作为一个单独的个体进 行装配，这使得为了更换挡玻璃而频繁拆卸、装配观察窗的复杂度和难度加大。此外，观察 窗的反复拆卸和装配也使得保证密封性能的难度加大。上述问题将导致镀膜设备的整体工 作效率降低，在设备工作时因观察窗玻璃被污染可能影响观察实际工作情况，且存在观察
窗的玻璃变模糊阻碍观察而产生安全隐患的危险。
实用新型内容本实用新型的目的是针对现有技术不足之处，提供一种能够整体拆卸观察窗，减 少更换观察窗玻璃的次数和时间的整体拆卸式观察窗及挡板机构。
本实用新型通过以下技术方案实现一种整体拆卸式观察窗及挡板机构，包括观
察窗机构及挡板机构，挡板机构包括位于观察窗机构最内侧的挡板、固定挡板的传动轴、安
装于传动轴一端的手钮，挡板安装于传动轴的另一端。 其中，观察窗机构包括盖板，挡板机构固定于盖板上。 其中，盖板的内侧安装有第一密封圈。 其中，观察窗机构还包括观察窗盖、观察窗玻璃，有机玻璃和第二密封圈，所述观 察窗盖安装于有机玻璃的一侧，第二密封圈安装于观察窗玻璃内侧。 其中，传动轴上从观察窗机构的外侧至内侧方向依次安装第一压盖、第一垫、油封 以及第二垫。[0012] 其中，手钮可以通过螺钉固定于传动轴上。 其中，第一密封圈和第二密封圈均可以为矩形密封圈。 本实用新型的有益效果是通过增加挡板机构，降低了对观察窗玻璃污染的速度， 通过整体拆卸和安装观察窗及挡板机构，简化了拆卸和安装过程，而且不必打开真空室门 即可更换观察窗玻璃，减少了更换观察窗玻璃的时间，从而提高了镀膜设备的整体生产效率。
图1为现有技术的观察窗的结构示意图； 图2为本实用新型实施例的结构示意图。
具体实施方式下面结合实施例对本实用新型作进一步的描述 图2为本实用新型实施例的结构示意图。如图2所示，依照本实施例的整体拆卸 式观察窗及挡板机构包括观察窗机构及挡板机构，挡板机构包括位于观察窗机构最内侧的 挡板1、固定挡板1的传动轴2、安装于传动轴2 —端的手钮3，挡板1安装于传动轴2的另 一端，其连接方式可以为，例如，通过螺纹连接方式连接。 本实施例中，观察窗机构可以包括盖板4，挡板机构固定于盖板4上，其连接方式 可以为，例如通过压紧螺母和盖板4上的螺纹将挡板机构固定于盖板4上。盖板4的内侧 可以安装有第一密封圈19。 观察窗机构还可以包括观察窗盖5、观察窗玻璃6，有机玻璃7和密封圈8，观察窗
盖5可以安装于有机玻璃7的一侧，第二密封圈8可以安装于观察窗玻璃6的内侧。其中，
第一密封圈19和第二密封圈8可以为矩形密封圈，第一密封圈19与盖板的连接方式以及
第二密封圈8与观察窗盖5的连接方式可以为，例如通过螺纹连接方式连接。 传动轴2上从观察窗机构的外侧至内侧方向可以(例如通过螺纹连接)依次安装
第一压盖9、第一垫10、油封17以及第二垫18。 手钮3可以通过螺钉固定于传动轴2上。 挡板1位于观察窗玻璃的内侧。当开始镀膜时，操作人员可通过观察窗机构查看 真空室内的工作状况，在镀膜的进行过程中，随着膜料的不断蒸发，如果没有挡板，膜料会 逐渐地附着于观察窗机构的观察窗玻璃上，但由于设有挡板，挡板阻挡时，观察窗玻璃上不 会附着有膜料，而当需要观察时再打开挡板，这样就降低了观察窗玻璃被膜料污染的速度。 当观察窗玻璃全部附着有膜料时，由于上述观察窗机构和挡板机构作为一个整体通过压盖 20上的螺纹安装于真空室门上，因此通过拆卸压盖20，就可以将观察窗机构和挡板机构整 体从真空室门上拆卸下来。 本实用新型的实施例通过增加挡板机构，降低了观察窗玻璃被膜料污染的速度。 通过整体拆卸和安装观察窗及挡板机构，简化了拆卸和安装过程，而且不必打开真空室门 即可更换观察窗玻璃，减少了更换观察窗玻璃的时间，从而提高了镀膜设备的整体生产效率。 以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技
4术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改 进和变型也应视为本实用新型的保护范围。
权利要求一种整体拆卸式观察窗及挡板机构，包括观察窗机构及挡板机构，所述挡板机构包括位于所述观察窗机构最内侧的挡板、固定所述挡板的传动轴、安装于所述传动轴一端的手钮，所述挡板安装于所述传动轴的另一端。
2. 如权利要求1所述的整体拆卸式观察窗及挡板机构，其特征在于，所述观察窗机构 包括盖板，所述挡板机构固定于所述盖板上。
3. 如权利要求1所述的整体拆卸式观察窗及挡板机构，其特征在于，所述盖板的内侧 安装有第一密封圈。
4. 如权利要求1所述的整体拆卸式观察窗及挡板机构，其特征在于，所述观察窗机构 还包括观察窗盖、观察窗玻璃、有机玻璃和第二密封圈，所述观察窗盖安装于所述有机玻璃 的一侧，所述第二密封圈安装于所述观察窗玻璃内侧。
5. 如权利要求1所述的整体拆卸式观察窗及挡板机构，其特征在于，所述传动轴上从 所述观察窗机构的外侧至内侧方向依次安装第一压盖、第一垫、油封以及第二垫。
6. 如权利要求1所述的整体拆卸式观察窗及挡板机构，其特征在于，所述手钮通过螺 钉固定于传动轴上。
7. 如权利要求3所述的整体拆卸式观察窗及挡板机构，其特征在于，所述第一密封圈 为矩形密封圈。
8. 如权利要求4所述的整体拆卸式观察窗及挡板机构，其特征在于，所述第二密封圈 为矩形密封圈。
专利摘要本实用新型涉及一种整体拆卸式观察窗及挡板机构。该整体拆卸式观察窗及挡板机构包括观察窗机构及挡板机构，挡板机构包括位于观察窗机构最内侧的挡板、固定挡板的传动轴、安装于传动轴一端的手钮，挡板安装于传动轴的另一端。本实用新型通过增加挡板机构，减少了观察窗玻璃的更换次数，通过整体拆卸和安装观察窗及挡板机构，简化了拆卸和安装过程，而且不必打开真空室门即可更换观察窗玻璃，减少了更换观察窗玻璃的时间，从而提高了镀膜设备的整体生产效率。
文档编号C23C14/52GK201459235SQ200920110199
公开日2010年5月12日 申请日期2009年7月24日 优先权日2009年7月24日
发明者张永和, 李辉, 谢均荣 申请人:北京北仪创新真空技术有限责任公司