专利名称：烘烤电极的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及光学部件制造设备，尤其涉及一种光学镀膜设备中的烘烤电极。
背景技术：
光学镀膜设备中设置对基片的烘烤机构是必要的，且应该根据不同的膜层以及不 同材料的基片选择不同的烘烤温度。而为了保证真空镀膜室的密封性以及在电流导入真空 镀膜室内的烘烤单元时的安全性与稳定性，需要设置烘烤电极作为连接真空镀膜室内外电 路的组件。 现有技术的烘烤电极的结构如图1所示，包括电极杆1、绝缘座2、法兰3，绝缘座 2外安装有0型圈7。在电极杆的两端设有通孔，将导线穿入，两端面上开有丝孔，在丝孔 上装入螺钉8以压紧导线。这种烘烤电极存在以下不足导线与电极杆的连接方式不够牢 固，有可能出现导线脱出的现象，而且电极杆外围没有保护措施，有可能造成该电极杆上的 导线与其它电极上的导线相碰触的现象，且电极杆较细，所能承载的电流较小。
实用新型内容本实用新型的目的是针对现有技术不足之处，提供一种实现导线与电极杆可靠连 接，且避免该导线与其它电极上的导线接触的现象发生的烘烤电极。 本实用新型通过以下技术方案实现一种烘烤电极，其包括电极杆、放置电极杆的
绝缘座、安装于绝缘座底部的法兰，烘烤电极还包括绝缘套，其罩住电极杆暴露于真空镀膜
室中的部分及绝缘座上部。 其中，电极杆两端可以设置螺纹。 其中，在电极杆上设置螺纹处可以安装螺母及垫圈。 其中，绝缘套可以采用聚四氟乙烯材料制造。 另外，还可以加粗电极杆的直径，以提高负载电流。 本实用新型还提供了 一种包括上述烘烤电极的光学镀膜设备中的烘烤装置。 本实用新型的有益效果是通过在电极杆两端设置螺纹，在螺纹上安装螺母及垫 圈，实现了导线与电极杆可靠连接；通过在电极杆暴露于真空镀膜室的部分及绝缘座上部 包裹绝缘套，避免了该导线与其它电极上的导线接触或将绝缘座与电极杆连接部分蒸镀上 导电材料造成短路。
图1为现有技术的烘烤电极的结构示意图； 图2为本实用新型实施例的结构示意图。
具体实施方式下面结合实施例对本实用新型作进一步的描述
3[0015] 图2为本实用新型实施例的结构示意图。如图2所示，依照本实施例的烘烤电极， 其包括电极杆1、放置电极杆1的绝缘座2、安装于绝缘座2底部的法兰3，烘烤电极还包括 绝缘套4，其罩住电极杆1暴露于真空镀膜室中的部分及绝缘座上部。 本实施例中，电极杆1两端可以设置螺纹。 本实施例中，在电极杆1上设置螺纹处可以安装螺母5及垫圈6。 本实施例中，还可以加粗电极杆的直径，以提高负载电流。 本实施例的烘烤电极在安装时，通过过盈压配合的方式将电极杆1压入绝缘座2， 并以真空脂密封，绝缘座2外安装有0型圈7和法兰3，法兰3安装于绝缘座2底部，在电极 杆1两端穿入导线，在螺纹上安装螺母5和垫圈6以夹紧导线，然后在电极杆1暴露于真空 镀膜室的部分及绝缘座2上部套上绝缘套4，这样就完成了烘烤电极的安装与连接。 本实用新型在装配时需要保持电极杆垂直压入绝缘座，电极杆不得弯曲和倾斜， 压后真空密封应可靠。绝缘座和绝缘套均可采用聚四氟乙烯材料制造，其正常工作温度范 围为-180°C 250°C。 本实用新型的实施例通过在电极杆两端设置螺纹，在螺纹上安装螺母及垫圈，实 现了导线与电极杆可靠连接；通过在电极杆暴露于真空镀膜室的部分及绝缘座上部设置绝 缘套，避免了与其它导线接触的现象发生或将绝缘座与电极杆连接部分蒸镀上导电材料造 成短路。 以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技 术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改 进和变型也应视为本实用新型的保护范围。
权利要求一种烘烤电极，其包括电极杆、放置所述电极杆的绝缘座、安装于所述绝缘座底部的法兰，其特征在于，所述烘烤电极还包括绝缘套，其罩住所述电极杆暴露于真空镀膜室中的部分及绝缘座上部。
2. 如权利要求1所述的烘烤电极，其特征在于，所述电极杆两端设置螺纹。
3. 如权利要求2所述的烘烤电极，其特征在于，在所述电极杆上设置螺纹处安装螺母 及垫圈。
4. 如权利要求1至3之任一项所述的烘烤电极，其特征在于，所述绝缘套采用聚四氟乙 烯材料制造。
5. —种光学镀膜设备中的烘烤装置，其包括如权利要求1至3中任一项所述的烘烤电极。
专利摘要本实用新型涉及一种烘烤电极。该烘烤电极包括电极杆、放置所述电极杆的绝缘座、安装于所述绝缘座底部的法兰，所述烘烤电极还包括绝缘套，其罩住所述电极杆及绝缘座上部暴露于真空镀膜室中的部分。本实用新型的烘烤电极通过在电极杆两端设置螺纹，在螺纹上安装螺母及垫圈，实现了导线与电极杆可靠连接；通过在电极杆暴露于真空镀膜室的部分包裹绝缘套，避免了该导线与其它电极上的导线接触或将绝缘座与电极杆连接部分蒸镀上导电材料造成短路。
文档编号C23C14/22GK201459230SQ20092011030
公开日2010年5月12日 申请日期2009年7月24日 优先权日2009年7月24日
发明者徐建龙, 汪光武, 黄芃 申请人:北京北仪创新真空技术有限责任公司