专利名称：多弧靶引弧针的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及真空镀膜生产设备技术领域，尤其是涉及多弧离子镀膜机的引弧针技术领域。
背景技术：
随后出现有物理气相沉积(PVD)技术，主要是在真空环境下进行表面处理，物理气相沉积本身分为三种真空蒸发镀膜、真空溅射镀和真空离子镀膜，近十年来发展相当快，已经成为当今最先进的表面处理方式之一。真空离子镀膜是通过离子镀膜机上的引弧针触碰靶材产生放电来实现，而现有技
术中，引弧针触碰靶材的动作主要是由人工驱动，该结构存在触靶和脱离不稳定，触靶时间受人为因素影响很大，从而导致引弧针与靶材烧结等事情发生，影响生产作业。
发明内容本实用新型的目的在于克服现有技术的缺陷，提供一种电控式多弧靶引弧针，结构简单，引弧动作稳定、准确。为达到上述目的，本实用新型采用如下技术方案多弧靶引弧针，包括引弧针，引弧针安装在一活动轴的一端上，活动轴的另一端对接一磁性线圈组，在活动轴上套接有复位弹簧。所述磁性线圈组至少包括有线圈架、轴套及线圈，轴套的一端套设在线圈架内部，而线圈缠绕在线圈架外周；所述轴套的一端与活动轴对接。所述轴套与活动轴对接的一端设有内凹中孔，内凹中孔的尺寸大小与活动轴匹配。本实用新型通过线圈通电产生磁场，使轴套获得磁力吸引活动轴，实现活动轴移动时带动引弧针向靶材移动，达到引弧针的针尖和靶材接触而产生放电，满足离子镀膜工作要求，并在针尖和靶材接触的瞬间，线圈又断电，使轴套放开活动轴，在复位弹簧的作用下，活动轴复位，引弧针的针尖与靶材脱离，避免了引弧针与靶材的烧结，确保工作及提升使用寿命。本实用新型再一优点是结构简单，科学合理，投资成本低，达到自动电控工作，引弧工作稳定、准确，大大提高了多弧离子镀膜机的运行率和可操作性，体积小巧，安装、使用方便。
附图I为本实用新型的较佳实施例结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型进一步说明参阅图I所示，本实用新型所述的多弧靶引弧针，包括引弧针1，引弧针I安装在一活动轴2的一端上，活动轴2的另一端对接一磁性线圈组，在活动轴2上套接有复位弹簧3。磁性线圈组至少包括有线圈架4、轴套5及线圈6，轴套5的一端套设在线圈架4内部，而线圈6缠绕在线圈架4外周；所述轴套5的一端与活动轴2对接。工作时，线圈6通电产生磁场，使轴套5获得磁力吸引活动轴2，实现活动轴2移动时带动引弧针I向靶材移动，达到引弧针的针尖和靶材接触而产生放电，满足离子镀膜工作要求，并在针尖和靶材接触的瞬间，线圈6又断电，使轴套5放开活动轴2，在复位弹簧3的作用下，活动轴2复位，引弧针I的针尖与靶材脱离，避免了引弧针I与靶材的烧结，确保工作及提升使用寿命。结构简单，科学合理，投资成本低，达到自动电控工作，引弧工作稳定、准确，大大提高了多弧离子镀膜机的运行率和可操作性，体积小巧，安装、使用方便。图I所示,本实施例中,轴套5与活动轴2对接的一端设有内凹中孔51,内凹中孔51的尺寸大小与活动轴2匹配。内凹中孔51的设计,可使活动轴2受吸在内凹中孔51中移动，确保直线移动且移动稳定，提升引弧工作性能。图中，活动轴2安装在一绝缘套7的中孔中，绝缘套7设有支顶部71配合活动轴2上的第一台阶21配合，以达到确定活动轴2复位位置，而活动轴2上还设有第二台阶22配合复位弹簧3支顶工作；结构简单，科学合 理,投资成本低。当然，以上图示仅为本实用新型的较佳实施例，并非以此限定本实用新型的实施范围，故，凡是依照本实用新型之原理做等效变化或修饰，均应涵盖于本实用新型的保护范围内。
权利要求1.多弧靶引弧针，包括引弧针(1)，其特征在于引弧针(I)安装在一活动轴(2)的一端上，活动轴(2)的另一端对接一磁性线圈组，在活动轴(2)上套接有复位弹簧(3)。
2.根据权利要求I所述的多弧靶引弧针，其特征在于磁性线圈组至少包括有线圈架(4)、轴套(5)及线圈(6)，轴套(5)的一端套设在线圈架(4)内部，而线圈(6)缠绕在线圈架(4)外周；所述轴套(5)的一端与活动轴(2)对接。
3.根据权利要求2所述的多弧靶引弧针，其特征在于轴套(5)与活动轴(2)对接的一端设有内凹中孔(51)，内凹中孔(51)的尺寸大小与活动轴(2)匹配。
专利摘要本实用新型涉及真空镀膜生产设备技术领域，尤其是涉及多弧靶引弧针，包括引弧针，引弧针安装在一活动轴的一端上，活动轴的另一端对接一磁性线圈组，在活动轴上套接有复位弹簧；所述磁性线圈组至少包括有线圈架、轴套及线圈，轴套的一端套设在线圈架内部，而线圈缠绕在线圈架外周；所述轴套的一端与活动轴对接。本实用新型通过线圈通电产生磁场，使轴套获得磁力吸引活动轴，实现活动轴移动时带动引弧针向靶材移动，达到引弧针的针尖和靶材接触而产生放电，满足离子镀膜工作要求，并在针尖和靶材接触的瞬间，线圈又断电，在复位弹簧的作用下，活动轴复位，引弧针的针尖与靶材脱离，避免了引弧针与靶材的烧结，确保工作及提升使用寿命。
文档编号C23C14/32GK202595252SQ20122012721
公开日2012年12月12日 申请日期2012年3月30日 优先权日2012年3月30日
发明者赵铭 申请人:广东友通工业有限公司