专利名称：液晶调光膜柔性透明导电薄膜的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种液晶调光膜柔性透明导电薄膜及其制备方法，属于透明导电膜技术领域。
技术背景 液晶调光膜是由两层柔性透明导电薄膜与一层聚合物分散液晶(PDLC)组成，通过外加电场的控制，便可实现调光膜在无色透明与乳白色不透明两种状态之间的快速变换。柔性透明导电膜的光学特性直接决定液晶调光膜通电状态的光学特性，另外柔性透明导电膜的性能与调光膜的附着力和固化后I3DLC的致密性密切相关。一般的柔性透明导电薄膜与TOLC的附着力较差，从而导致液晶调光膜的使用寿命较短，耐弯曲性能差；另外液晶调光膜通常使用的是低电阻的导电膜，通常电阻越低透过率越低，这直接导致液晶调光膜通电状态的透过率较低，不能满足客户的要求。
发明内容本实用新型的目的在于提供一种附着力好、透过率高的液晶调光膜柔性透明导电膜，解决目前液晶调光膜附着力差、通电状态透过率低的一系列难题，从而提升调光膜的性能。解决其技术问题所采用的技术方案是本实用新型具有三层结构，依次是PET基材，过渡层和透明导电层。此柔性透明导电膜主要是在PET基材上用磁控溅射的方法先镀一层过渡层，再镀一层透明导电层。所述的PET基材是双面亮面的单面硬化PET基材，厚度为125，175或188 μ m，透过率> 90%，雾度< 1%。所述的过渡层为氮氧化硅层或二氧化硅层，采用的是磁控溅射镀膜方式，氮氧化硅的功率为15-20kw，氩气的气体流量为100-300sccm，氧气的流量为25_60sccm，氮气的气体流量为10-60sccm ;二氧化硅的功率为15-25kw，氩气的气体流量为100-300sccm，氧气的流量为 25_60sccm ；所述的透明导电层为氧化铟锡膜或氧化锌铝膜，采用的是磁控溅射镀膜方式；氧化铟锡靶材的In203与Sn02的比例为90:10或93: 7，功率为5_10kw，氩气的气体流量为100-300sccm，氧气的流量为3_10sccm ;氧化锌铝靶材的ZnO与A1203的比例为98:2或97:3，功率为5-10kw，氩气的气体流量为100-300sccm，氧气的流量为3-10sccm。所述的过渡层与透明导电层的厚度和为d，且60nm彡d彡120nm ；所述的导电薄膜的方块电阻范围是100-300 Ω / 口。该液晶调光膜柔性透明导电薄膜选用的基材是单面硬化双面亮面基材，由于它独有的特性，与液晶调光膜的roLC附着力好，且固化后的TOLC致密均匀，由于加镀了过渡层，不仅增加了该产品的抗弯曲性和耐候性，更提高了该产品的透过率。依照本实用新型，该液晶调光膜柔性透明导电薄膜的方块电阻为100-300 Ω / 口，透过率仍高达85%-88%。
[0013]图I是本实用新型的膜层结构；(I)为PET基材，(2)为过渡层，(3)为透明导电层。
具体实施方式
实施例I选用双面亮面的188 μ m的单面硬化PET膜。膜层的制备采用卷对卷磁控溅射方式。溅射室中安装有两个阴极靶，分别是硅靶和ITO靶，ITO靶的In203与Sn02的比例为90:10。首先，镀一层二氧化硅过渡层，功率为16_18kw，氩气的气体流量为200sCCm，氧气的流量为50SCCm，然后镀氧化铟锡透明导电层，功率为5-6kw，氩气的气体流量为200sccm,氧气的流量为7sccm,走速均为2m/min,过渡层与透明导电层的总厚度为80nm。·此透明导电薄膜的方块电阻为150Ω/ □，透过率为86%。实施例2选用双面亮面的125 μ m的单面硬化PET膜。膜层的制备采用卷对卷磁控溅射方式。溅射室中安装有两个阴极靶，分别是硅靶和氧化锌铝靶，氧化锌铝靶的ZnO与Al203的比例为98:2。首先镀一层氮氧化硅过渡层，功率为20_22kw，氩气的气体流量为200sCCm，氧气的流量为40SCCm，氮气的流量为20SCCm，然后镀氧化锌铝透明导电层，功率为6_8kw，氩气的气体流量为200sccm,氧气的流量为5sccm,走速为lm/min,过渡层与透明导电层的总厚度为lOOnm。此透明导电薄膜的方块电阻为100 Ω/ □，透过率为85. 5%。
权利要求1.一种液晶调光膜柔性透明导电薄膜，包含=PET基材，以及由临近而远离该基材而披覆的过渡层和透明导电层，其特征在于，该过渡层是氮氧化硅或二氧化硅的一种，该透明导电层可选为氧化铟锡或氧化锌铝。
2.根据权利要求I所述的液晶调光膜柔性透明导电薄膜，其特征是， 所述的PET基材是单面硬化双面亮面基材，透过率> 90%，雾度< 1%。
3.根据权利要求I所述的液晶调光膜柔性透明导电薄膜，其特征是， 所述的过渡层和透明导电层薄膜的沉积方法是磁控溅射。
4.根据权利要求I所述的液晶调光膜柔性透明导电薄膜，其特征是， 过渡层与透明导电层的厚度的和为d，且60nm彡d彡120nm。
5.根据权利要求I所述的液晶调光膜柔性透明导电薄膜，其特征是，透明导电层是氧化铟系或氧化锌系，导电薄膜的方块电阻范围是100-300Ω/ 口。
专利摘要本实用新型公开了一种液晶调光膜柔性透明导电薄膜，该柔性透明导电薄膜主要是在PET基材上用磁控溅射的方法先镀一层过渡层，此过渡层为氮氧化硅或二氧化硅，再镀一层透明导电层，此透明导电层可选为氧化铟锡膜，氧化锌铝膜，方阻值为100-300Ω/□。这种柔性透明导电薄膜用于智能液晶调光膜中，不仅与PDLC的粘附力强，且调光膜开态时的透过率更高。
文档编号C23C14/35GK202694825SQ20122022930
公开日2013年1月23日 申请日期2012年5月22日 优先权日2012年5月22日
发明者吴琴, 周乾, 刘梦伟, 李国增 申请人:珠海兴业光电科技有限公司