专利名称：靶罩的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及靶罩，用于溅射镀膜中对零部件的非镀膜区域进行遮挡的靶罩。
背景技术：
现有的靶罩，仅仅是一个罩壳；罩壳由面板和在面板两侧的侧板组成，面板上开有溅射孔，需要镀膜的零件在溅射孔上方，被溅射物质穿过溅射孔到达零件表面，形成镀层。但是该靶罩的溅射孔的大小一般的固定，需要改变溅射区域上，需要另外制作靶罩，也就是说，靶罩的通用性不好。
发明内容本实用新型的目的是提供一种能够改变溅射区域、通用性好的靶罩。本靶罩，包括罩壳和挡板；罩壳包括面板和在面板两侧的侧板，面板上开有溅射孔，设置在面板上、向上延伸的两块相对的翼板位于溅射孔两侧；挡板可移动地设置在面板上，挡板的一部分位于溅射孔的上方。本实用新型的有益效果由于挡板可移动地设置在面板上，挡板的一部分位于溅射孔的上方。所以通过移动挡板的位置，即可改变挡板遮挡住溅射孔的区域大小，被挡板挡住的溅射孔部分，也是非溅射区域。也就是说，通过改变挡板的位置，就能改变溅射区域。上述的靶罩，挡板上开有腰形孔，面板上开有螺孔，穿过腰形孔的螺钉与螺孔相连。优选，挡板包括与面板平行的连接板、与连接板相连的向上延伸的过渡板、伸出到溅射孔上方的工作板；腰形孔在连接板上。这样更便于移动挡板，提高工作效率。上述的靶罩，翼板从下向上向溅射孔的内侧倾斜，以防止被溅射物质逸出溅射区域。
图I是靶罩的主视图。图2是靶罩的俯视图。图3是靶罩的侧视图。图4是靶罩的立体图。
具体实施方式
参见图1-4所不的祀罩,包括罩壳10和挡板20。罩壳10包括面板I和在面板两侧的两个侧板2，面板上开有溅射孔3，设置在面板上、向上延伸的两块相对的翼板4位于溅射孔两侧，翼板从下向上向溅射孔的内侧倾斜。两个挡板20在溅射孔的另外两侧。挡板20包括与面板平行的连接板5、与连接板相连的向上延伸的过渡板6、伸出到溅射孔上方的工作板7 ;腰形孔8开在连接板上。面板上开有螺孔，穿过腰形孔的螺钉与螺孔相连。
权利要求1.靶罩，其特征是包括罩壳和挡板；罩壳包括面板和在面板两侧的侧板，面板上开有溅射孔，设置在面板上、向上延伸的两块相对的翼板位于溅射孔两侧；挡板可移动地设置在面板上，挡板的一部分位于溅射孔的上方。
2.如权利要求I所述的靶罩，其特征是挡板上开有腰形孔，面板上开有螺孔，穿过腰形孔的螺钉与螺孔相连。
3.如权利要求2所述的靶罩，其特征是挡板包括与面板平行的连接板、与连接板相连的向上延伸的过渡板、伸出到溅射孔上方的工作板；腰形孔在连接板上。
4.如权利要求I所述的靶罩，其特征是翼板从下向上向溅射孔的内侧倾斜。
专利摘要本实用新型是提供一种能够改变溅射区域、通用性好的靶罩。该靶罩，包括罩壳和挡板；罩壳包括面板和在面板两侧的侧板，面板上开有溅射孔，设置在面板上、向上延伸的两块相对的翼板位于溅射孔两侧；挡板可移动地设置在面板上，挡板的一部分位于溅射孔的上方。
文档编号C23C14/04GK202786402SQ20122048320
公开日2013年3月13日 申请日期2012年9月21日 优先权日2012年9月21日
发明者杜杰, 王建华, 王鲁南, 项宏其, 窦立峰 申请人:南京汇金锦元光电材料有限公司