电离镀膜喷头的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种电离镀膜喷头，包括：支架、送料管道、送料轮、喷气管道、混合喷管、高压单元和高压接头，所述支架两侧对称设置有送料管道，送料管道下方设置有送料轮，喷气管道设置在支架中央，与支架同轴布置，混合喷管设置在支架两侧，且混合喷管连线所成平面与送料管道所成平面相交，高压单元设置在支架后方，所述高压接头设置在支架上，且高压接头与送料管道连接。通过上述方式，本发明电离镀膜喷头具有可靠性能高、电离效果好、混合性能出色、离子喷射速度快、扩散性好，电弧产生稳定等优点，可广泛应用于镀膜设备。
【专利说明】电离镀膜喷头
【技术领域】
[0001]本发明涉及真空镀膜领域，特别是涉及一种电离镀膜喷头。
【背景技术】
[0002]真空镀膜是现代工业常用的一种加工方法，在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。此项技术最先用于生产光学镜片，后延伸到其他功能薄膜，唱片镀铝、装饰镀膜和材料表面改性等，常用的方法有蒸发、溅射和离子镀膜，现有的设备镀膜效率较低，离子的分散性不佳，作为镀膜材料来源的蒸发源或溅射源等都具有较高温度，使得整个工作腔体内温度上升，易导致镀膜品质变差且需要冷却设备，不利于节能减排。
【发明内容】
[0003]本发明主要解决的技术问题是提供一种电离镀膜喷头，通过高压电弧电离的方式使得材料离子化，速度快，效率高，能耗较低；通过齿轮组实现送料，送料可靠稳定；利用两根导电镀膜材料前端尖端放电实现电离，保护喷头本体不被电弧腐蚀，避免了杂质进入提高镀膜品质，且可维护性好；采用不共面的碰头斜向吹气，实现离子气流混合，加快离子的分散，并提高分散效率；具有可靠性能高、电离效果好、混合性能出色、离子喷射速度快、扩散性好，电弧产生稳定等优点，可广泛应用于镀膜设备。
[0004]为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是:提供一种电离镀膜喷头，包括:支架、送料管道、送料轮、喷气管道、混合喷管、高压单元和高压接头，所述支架两侧对称设置有送料管道，送料管道下方设置有送料轮，喷气管道设置在支架中央，与支架同轴布置，混合喷管设置在支架两侧，且混合喷管连线所成平面与送料管道所成平面相交，高压单元设置在支架后方，所述高压接头设置在支架上，且高压接头与送料管道连接。
[0005]在本发明一个较佳实施例中，所述送料管道为铜质，送料管道前端向支架轴心弯折。
[0006]在本发明一个较佳实施例中，所述送料轮设置有两组，每组送料轮由两个对称分布的齿轮构成。
[0007]在本发明一个较佳实施例中，所述齿轮中央平面处设置有半圆形环形槽。
[0008]在本发明一个较佳实施例中，所述混合喷管为塑料制，管道前方向内侧弯折，所述两根混合喷管所在平面相互错开，平面间间距为半个管道内径且与过支架轴心的中心平面对称。
[0009]在本发明一个较佳实施例中，所述喷气管道和混合喷管喷射气体为氩气或氮气。
[0010]本发明的有益效果是:本发明电离镀膜喷头通过高压电弧电离的方式使得材料离子化，速度快，效率高，能耗较低；通过齿轮组实现送料，送料可靠稳定；利用两根导电镀膜材料前端尖端放电实现电离，保护喷头本体不被电弧腐蚀，避免了杂质进入提高镀膜品质，且可维护性好；采用不共面的碰头斜向吹气，实现离子气流混合，加快离子的分散，并提高分散效率；具有可靠性能高、电离效果好、混合性能出色、离子喷射速度快、扩散性好，电弧产生稳定等优点，可广泛应用于镀膜设备。
【专利附图】
【附图说明】
[0011]为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图，其中:
图1是本发明的电离镀膜喷头一较佳实施例的结构示意图；
附图中各部件的标记如下:1、支架，2、送料管道，3、送料轮，4、喷气管道，5、混合喷管，
6、高压单元,7、高压接头,8、环形槽。
【具体实施方式】
[0012]下面将对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
[0013]请参阅图1，本发明实施例包括:
一种电离镀膜喷头，包括:支架1、送料管道2、送料轮3、喷气管道4、混合喷管5、高压单元6和高压接头7，所述支架I两侧对称设置有送料管道2，送料管2道下方设置有送料轮3，喷气管道4设置在支架I中央，与支架I同轴布置，混合喷管5设置在支架两侧，且混合喷管5连线所成平面与送料管道2所成平面相交，高压单，6设置在支架I后方，所述高压接头7设置在支架I上，且高压接头7与送料管道2连接。
[0014]所述送料管道2为铜质，送料管道2前端向支架I轴心弯折，方便材料接触，实现拉出电弧。
[0015]所述送料轮3设置有两组，每组送料轮3由两个对称分布的齿轮构成，有效实现送料，且送料速度精度可控。
[0016]所述齿轮中央平面处设置有半圆形环形槽8，适应材料弧度，方便夹持。
[0017]所述混合喷管5为塑料制，管道前方向内侧弯折，所述两根混合喷管5所在平面相互错开，平面间间距为半个管道内径且与过支架轴心的中心平面对称，可利用气流，实现离子的快速混合和扩散，提高镀膜均匀性。
[0018]所述喷气管道4和混合喷管5喷射气体为氩气或氮气，中心或惰性气体，避免与材料反映，提闻锻I旲品质。
[0019]本发明电离镀膜喷头的有益效果是:
一、通过高压电弧电离的方式使得材料离子化，速度快，效率高，能耗较低；
二、通过齿轮组实现送料，送料可靠稳定；
三、利用两根导电镀膜材料前端尖端放电实现电离，保护喷头本体不被电弧腐蚀，避免了杂质进入提高镀膜品质，且可维护性好；
四、 采用不共面的碰头斜向吹气，实现离子气流混合，加快离子的分散，并提高分散效率;五、具有可靠性能高、电离效果好、混合性能出色、离子喷射速度快、扩散性好，电弧产生稳定等优点，可广泛应用于镀膜设备。
[0020]以上所述仅为本发明的实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的【技术领域】，均同理包括在本发明的专利保护范围内。
【权利要求】
1.一种电离镀膜喷头，其特征在于，包括:支架、送料管道、送料轮、喷气管道、混合喷管、高压单元和高压接头，所述支架两侧对称设置有送料管道，送料管道下方设置有送料轮，喷气管道设置在支架中央，与支架同轴布置，混合喷管设置在支架两侧，且混合喷管连线所成平面与送料管道所成平面相交，高压单元设置在支架后方，所述高压接头设置在支架上，且高压接头与送料管道连接。
2.根据权利要求1所述的电离镀膜喷头，其特征在于，所述送料管道为铜质，送料管道前端向支架轴心弯折。
3.根据权利要求1所述的电离镀膜喷头，其特征在于，所述送料轮设置有两组，每组送料轮由两个对称分布的齿轮构成。
4.根据权利要求3所述的电离镀膜喷头，其特征在于，所述齿轮中央平面处设置有半圆形环形槽。
5.根据权利要求1所述的电离镀膜喷头，其特征在于，所述混合喷管为塑料制，管道前方向内侧弯折，所述两根混合喷管所在平面相互错开，平面间间距为半个管道内径且与过支架轴心的中心平面对称。
6.根据权利要求1所述的电离镀膜喷头，其特征在于，所述喷气管道和混合喷管喷射气体为氩气或氮 气。
【文档编号】C23C14/32GK104073768SQ201410316327
【公开日】2014年10月1日 申请日期:2014年7月4日 优先权日:2014年7月4日
【发明者】陈学兵 申请人:苏州普京真空技术有限公司