一种随工件运动的在位动态监控膜厚的真空光学镀膜的制造方法
【专利摘要】一种随工件运动的在位动态监控膜厚的真空光学镀膜机，本发明的膜厚控制仪主机位于炉体顶板上方安装在转轴上端，晶振探头安装在工件转架上，晶振探头的电导线和信号线从转轴的上部的中空的腔体中密封穿出炉体，冷却水回路从转轴的下部的中空的腔体中密封穿出炉体，即本发明实现了晶振探头水电的分开传送。本发明把晶振探头的冷却水回路及其电导线与信号线分开分别从炉体传动轴的下部和上部传送，改变了现有技术中集中在传动轴上部传送的方式，水电分离传送，简化了之前传动轴上述庞杂的结构，有利于提高设备的可靠性，降低故障率。
【专利说明】一种随工件运动的在位动态监控膜厚的真空光学镀膜机
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种在位动态监控膜厚的真空光学镀膜机，特别涉及一种具有随工件运动的在位实时监控膜厚装置的全自动光学镀膜机。
【背景技术】
[0002]光学镀膜机镀膜过程多采用石英晶体膜厚仪(简称膜厚仪)监测膜厚变化，最传统的使用方法是在坩堝内的镀料被加热从下向上蒸发、沉积在上方的工件上，此时膜厚仪的石英晶体探头(简称探头)一般安装在炉顶中央一个不随工件运动的固定位置上，通过传输导线把膜厚信号送至到炉外的膜厚仪主机上。
[0003]这种最传统的把探头固定在炉上方的方法，安装、传输和使用都最为简便，但只适用于从下向上蒸发膜镀的炉型，且以该炉炉顶中心点的膜厚值代表整炉各点的膜厚值，误差较大。
[0004]后来出现了立式装挂工件、坩堝立式布局从侧斜方向蒸发，或者采用立式溅射靶进行溅射沉积，探头则改成伸入炉内靠近工件处，侧装在一个不动的固定位置上，进行膜厚监测，以此不动点的膜厚信息代表整炉运动着工件的膜厚，这种方式同样存在误差大的问题。
[0005]近来，在立式装挂工件的光学镀模机上出现了把晶振探头固定在工件旁，随着工件转架一起运动的在位动态测厚的方法，虽然也是以一点的测厚值代表整炉工件的膜厚，但只要测厚点选在均匀镀膜区内，运动着的探头上的膜厚与工件膜厚基本一致，这种方式监测的精度大大提高。这种方法实现的难度在于其探头电导线和信号线的引出以及其冷却水回路进出炉体的处理。
[0006]现有一种方法是通过在炉顶中轴线位置安装一套真空密封的转轴系统，由炉顶外置的动力机构驱动转轴转动，膜厚仪主机通过托盘固定在转轴穿出炉顶的上端面上，炉内的工件转架固定在转轴的下部上，工件转架与测厚仪主机随转轴同步转动。探头的电导线和信号线通过轴转中部的密封结构中引出，探头随转轴运动，但相对于工件转架和测厚仪主机是不动的。
[0007]探头的冷却水回路必须配置随转轴一起转动的转动接头，以特殊设计处理让进、回水管从转轴的中轴线通过真空密封穿出炉体，再通过转动接头与炉外不动的供回水系统相连。
[0008]测厚仪主机采用电池供电，但必须定时更换电池。测厚仪主机的测试结果通过WiFi无线传输到炉旁的计算机系统进行显示、处理和接收计算机系统的反馈控制。
[0009]这种在位动态测厚的方法有显著的进步，但还有如下不够理想之处:(I)测厚仪主机与探头电导线和信号线引出、探头的冷却水回路的进出，炉内工件转架的驱动连接，炉外动力的传动机构、真空动密封等都集中在转轴位于炉顶段的结构上，致使转轴的上部结构拥挤庞杂、可靠性低，容易出现故障；(2)工件转架运动稳定性差振动大，影响膜厚测量的精度和重复性；(3)测厚仪主机需要定期更换供电电池。
【发明内容】
[0010]本发明所要解决的技术问题是提供一种结构简单可靠的能在位动态监控膜厚的真空光学镀膜机。
[0011]本发明的上述技术问题通过如下技术方案解决:一种随工件运动的在位动态监控膜厚的真空光学镀膜机，包括炉体、转轴、工件转架、转轴驱动机构、晶振探头和膜厚控制仪主机，所述炉体由炉壁、炉体底盘和炉体顶板组成，转轴竖向安装在炉体中部，上、下端分别与所述炉体顶板、炉体底盘密封安装，转轴上端穿出所述炉体顶板，膜厚控制仪主机位于所述炉体顶板上方安装在所述转轴上端，工件转架安装在所述转轴上位于炉体内部，晶振探头安装在所述工件转架上，其电导线和信号线密封穿出所述炉体与所述膜厚控制仪主机相连，其冷却水回路密封穿出所述炉体与连接外部供回水系统的旋转接头相连，转轴驱动机构从炉体外部与所述转轴相连驱动转轴转动，所述工件转架、膜厚控制仪主机及晶振探头随所述转轴同步转动；
所述转轴的上部和下部内部均有中空的腔体，所述晶振探头的电导线和信号线从所述转轴的上部的所述中空的腔体中密封穿出所述炉体，所述冷却水回路从所述转轴的下部的所述中空的腔体中密封穿出所述炉体，即实现水电的分开传送，有利于简化现有技术中电路、水路同处进出混杂密集的结构，以便提高可靠性降低故障率。
[0012]所述转轴由从下向上依次相连的下传动轴、向上传动连接件、万向联轴器、上延伸转轴和上传动轴组成，所述中空的腔体位于所述下传动轴和上传动轴内部，所述工件转架安装在所述下传动轴上，所述转轴驱动机构与所述下传动轴穿出所述炉体底盘的下端相连，转轴驱动机构直接驱动下传动轴和工件转架转动，有利于提高工件转架的运动稳定性且振动小，同时利用万向联轴器向上传动，万向联轴器保证上、下传动轴同步转动的同时可自动适应上、下传动轴对中的偏差。
[0013]所述下传动轴内部的中空的腔体靠近其上端面的一段直径增大，为扩大腔，所述向上传动连接件的底面密封地固定在所述下传动轴的上端面上，所述向上传动连接件的底面具有伸入所述扩大腔的分隔环，所述下传动轴内部的中空的腔体中设置有一根进水管，所述进水管外壁与所述下传动轴内部的中空的腔体的内壁之间形成环形回水道，所述进水管的上端伸入所述分隔环内部，其外壁与所述分隔环的内壁之间通过动密封结构相连，使在所述分隔环内部形成进水腔，并在所述扩大腔与所述分隔环之间形成回水腔，所述向上传动连接件上还开有分别与所述进水腔和所述回水腔连通的两个通道，并通过这两个通道分别与所述晶振探头的进水管路和回水管路相连，所述进水管的下端及所述下传动轴内部的中空的腔体的下端口与所述旋转接头相连。
[0014]所述动密封结构由从上至下依次设置的压垫、动密封、传动隔圈、深沟球轴承、传动隔圈、动密封、压垫组成，该动密封结构上端由位于所述分隔环内壁上的环形凸缘、下端由安装在所述分隔环开口端内壁的压紧塞压紧在所述分隔环内部。
[0015]所述转轴驱动机构由电机和同步轮传动机构组成，该传动方式传动平稳防震，有利于提高监控的精确性和重复性。
[0016]所述膜厚控制仪主机的电源端通过铜环-碳刷机构与外电相连，所述铜环-碳刷机构具有三个铜环和三个碳刷，三个所述铜环围绕所述上传动轴同心设置，三个所述碳刷与三个所述铜环一一相对，碳刷在其后端弹簧的弹力作用下前端抵在所述铜环上；
所述铜环安装在所述上传动轴上随上传动轴同步转动，所述碳刷位置固定地安装在所述炉体顶板上方，所述膜厚控制仪主机的电源端与所述铜环相连，通过所述碳刷与外电相连；
或所述碳刷安装在所述上传动轴上随上传动轴同步转动，所述铜环位置固定地安装在所述炉体顶板上方且与之绝缘，所述膜厚控制仪主机的电源端与所述碳刷相连，通过所述铜环与外电相连。
[0017]膜厚控制仪主机通过铜环-碳刷机构供电，取代了现有技术中电池供电的方式，无需定期更换电池，使膜厚控制仪主机可长时间连续工作。
[0018]所述铜环和碳刷由一安装在所述炉体顶板上的保护罩罩住。
[0019]所述膜厚控制仪主机通过WiFi无线传输模块与位于炉体附近的计算机通讯。
[0020]所述下传动轴通过下传动轴座安装在所述炉体底盘上，所述下传动轴座呈两端开口的筒状，套装在所述下传动轴上，外壁上具有径向向外延伸的环形凸缘，并通过该环形凸缘与所述炉体底盘中部开孔的边缘密封固定，所述下传动轴座内壁靠近其上端开口处具有一环形凸缘，该环形凸缘上具有一推力轴承，所述推力轴承由所述下传动轴外壁上的一凸出结构压装在其下方的所述环形凸缘上，所述下传动轴座内部环形凸缘的下方从上至下依次设置有垫圈、动密封、下传动隔圈、深沟球轴承、支承套筒、深沟球轴承、下传动隔圈、动密封，并在所述下传动轴座的下端开口处通过下传动轴座压盖将上述各部件压紧在所述下传动轴座的内腔中，保证下传动轴与所述下传动轴座之间实现真空密封的同时还能实现轻巧灵活地转动。
[0021]所述上传动轴通过上传动轴座安装在所述炉体顶板上，所述上传动轴座呈筒状，筒底中部具有开孔，上传动轴安装在上传动轴座内部，下端从所述上传动轴座筒底的开孔中穿出，上传动轴座上端开口处具有水平的外翻边，上传动轴座通过所述外翻边与所述炉体顶板中部开孔的边缘密封固定，上传动轴座的内壁与所述上传动轴的外壁之间从下至上依次设有深沟球轴承、传动隔圈、动密封、传动隔圈、深沟球轴承，这些部件下端支承在所述上传动轴座的筒底上，上端内、外两侧分别由位于所述上传动轴外壁上的环形外部结构和安装在所述上传动轴座上端开口处的轴承压圈压紧。
[0022]相对于现有技术，本发明具有如下有益效果:1)本发明把晶振探头的冷却水回路及其电导线与信号线分开分别从炉体的下传动轴和上传动轴传送，改变了现有技术中集中在上传动轴传送的方式，水电分离传送，简化了之前上传动轴庞杂的结构，有利于提高设备的可靠性，降低故障率；
2)上、下传动轴之间采用万向联轴器连接，万向联轴器可自动适应上、下传动轴对中的偏差，保证上、下传动轴同步转动；
3)转轴的驱动采用了电机和同步轮传动机构，通过同步轮和同步轮带之间齿牙和齿槽精密啮合的传动方式传动平稳防震的特点，提高监控的精确性和重复性；
4)本发明膜厚控制仪主机通过铜环-碳刷机构与外电相连，取代现有技术中的电池供电方式，使膜厚控制仪主机可长时间连续工作，不用定期停机更换电池。
【专利附图】
【附图说明】
[0023]图1为本发明较佳实施例的真空光学镀膜机的主要结构示意图；
图2为图1中真空光学镀膜机A部分的放大图；
图3为图1中真空光学镀膜机C部分的放大图；
图4为图1中真空光学镀膜机B部分的放大图。
【具体实施方式】
[0024]图1本实施例的真空光学镀膜机的主要结构示意图。如图1所示，真空光学镀膜机，包括炉体、转轴、工件转架5、转轴驱动机构、晶振探头6和膜厚控制仪主机73。炉体由炉壁3、炉体底盘2和炉体顶板7组成，炉体下方由炉体支架I支撑，炉壁3上设有与真空机组相连的抽气口 4，以便在镀膜时将炉体内抽成真空。转轴竖向安装在炉体中部，由从下向上依次相连的下传动轴21、向上传动连接件37、万向联轴器11、上延伸转轴9和上传动轴52组成，位于转轴上部的上传动轴52的上端穿出炉体顶板7并密封安装在炉体顶板7上，位于转轴下部的下传动轴21的下端穿出炉体底盘2并密封安装在炉体底盘2上。膜厚控制仪主机73位于炉体顶板7上方安装在上传动轴52的上端，工件转架5安装在下传动轴21上位于炉体内部，待镀膜的工件装挂在工件转架5的侧面上，工件镀面朝向炉壁3，接受炉体内侧面飞来的镀料沉积。晶振探头6固定在工件转架5的侧面，晶振探头6的晶振片表面与工件的镀面需处于同一平面上。上传动轴52和下传动轴21内部均为中空的腔体，晶振探头6的电导线和信号线8从上传动轴52内部的中空的腔体中密封地穿出炉体与膜厚控制仪主机73相连。10为磁控溅射靶(在其他实施例中还可以选择立式布局的坩堝作为镀料蒸发源)，它一般安装在炉体内部靠近炉壁3处，用于向炉中轴方向定向溅射靶材，以便在待镀工件表面沉积镀层。12为晶振探头6的进水管路和回水管路。转轴驱动机构位于炉体下方，由电机14和同步轮传动机构组成，电机14安装在炉体支架I上，它通过同步轮传动机构驱动下传动轴21转动，13为同步轮传动机构的同步轮带。
[0025]图2主要为图1中A部分的放大图，21为下传动轴，26为下传动轴座，下传动轴21通过下传动轴座26可转动的密封安装在炉体底盘2上。下传动轴座26呈两端开口的筒状，套装在下传动轴21上，外壁上具有径向向外延伸的环形凸缘，并通过该环形凸缘与炉体底盘2中部开孔的边缘通过真空密封圈29、螺钉密封固定。下传动轴座26内壁靠近其上端开口处具有一环形凸缘，该环形凸缘上具有一推力轴承34，推力轴承34由下传动轴21外壁上的一凸出结构压装其下方的在所述环形凸缘上。下传动轴座26内部环形凸缘的下方从上至下依次设置有垫圈33、动密封32、下传动隔圈31、深沟球轴承30、支承套筒28、深沟球轴承27、下传动隔圈25、动密封24，并在下传动轴座26的下端开口处通过螺钉装上下传动轴座压盖23将上述各部件压紧在下传动轴座26的内腔中。上述轴承、动密封在保证下传动轴21与下传动轴座26之间实现真空密封的同时还能实现轻巧灵活地转动。
[0026]同步轮传动机构包括安装在下传动轴21上的同步轮22、安装在电机14的输出端的转轴轮(未画出)和缠绕在同步轮22和所述转轴轮上的同步轮带13，同步轮带13和同步轮22及所述转轴轮通过精密的齿牙和齿槽结构啮合，传动平稳且具有防震功效。
[0027]晶振探头6的冷却水回路组成结构如下:下传动轴21内部的中空的腔体靠近其上端面的一段直径增大，为扩大腔。向上传动连接件37的底面通过真空密封圈36密封地固定在下传动轴21的上端面上，上端与可伸缩的万向联轴器11相连，把下传动轴21的转动向上延伸转轴9传递。可伸缩的万向联轴器11可自动调节适应上、下传动轴52、21的对中偏差。下传动轴21上端面的边缘与工件转架5的底盘35固定安装。向上传动连接件37的底面具有伸入所述扩大腔的分隔环，下传动轴21内部的中空的腔体中设置有一根进水管18，进水管18外壁与下传动轴21内部的中空的腔体的内壁之间形成环形回水道20，进水管18内部形成进水道19，进水管18的上端伸入所述分隔环内部，如图3所示，其外壁与所述分隔环的内壁之间通过由从上至下依次套装在下传动轴21上的压垫42、动密封43、传动隔圈44、深沟球轴承45、传动隔圈46、动密封47、压垫48组成的动密封结构相连，该动密封结构上端由位于所述分隔环内壁上的环形凸缘、下端由安装在所述分隔环开口端内壁的压紧塞49压紧在所述分隔环内部，使在所述分隔环内部形成进水腔41，并在所述扩大腔与所述分隔环之间形成回水腔50，向上传动连接件37上还开有分别与所述进水腔41和所述回水腔50连通的两个通道40、38，并通过这两个通道40、38分别与晶振探头6的进水管路和回水管路12相连，进水管18的下端及下传动轴21内部的中空的腔体的下端口与旋转接头17相连。下传动轴21内部的中空的腔体的下端口即环形回水道20的出口套连着旋转接头17，使旋转接头17的该部分随下传动轴21转动，并通过旋转接头17与外部供回水系统的不动的冷却水出水嘴16侧接，进水管18伸入旋转接头17内部，通过旋转接头17与由下方与旋转接头17相连的外部供回水系统的弯头进水嘴15相连通。
[0028]如图4所示,上传动轴52通过上传动轴座53安装在炉体顶板7上。上传动轴52呈两端开口的筒状，上端筒口部位具有水平的外翻边，上延伸转轴9焊接在通过螺钉与上传动轴52底面固定连接的端板51上，端板51上开口孔，晶振探头6的电导线和信号线8由该孔进入上传动轴52内部中空的腔体中。
[0029]上传动轴座53也呈筒状，筒底中部具有开孔，上传动轴52安装在上传动轴座53内部，下端从上传动轴座53筒底的开孔中穿出，上传动轴座53上端开口处也具有水平的外翻边，上传动轴座53通过该外翻边与炉体顶板7中部开孔的边缘通过真空密封圈59密封固定，上传动轴座53的内壁与上传动轴52的外壁之间从下至上依次叠装有深沟球轴承54、传动隔圈55、动密封56、传动隔圈57、深沟球轴承58，这些部件下端支承在上传动轴座53的筒底上，上端内、外两侧分别由位于上传动轴52外壁上的环形外凸结构和安装在上传动轴座53上端开口处的轴承压圈60压紧。上传动轴座53的筒底设有与上传动轴座53的内壁相邻的一圈凸起，深沟球轴承58支承在该圈凸起上，以便使深沟球轴承58的内侧悬空，避免在转动时与上传动轴座53的筒底摩擦。
[0030]上传动轴端压盖69通过真空密封圈68与上传动轴52的上端面上端开口的边缘法兰连接，晶振探头引线座70密封安装在上传动轴端压盖69的中部，晶振探头引线座70是膜厚控制仪主机73的专备品，具密封功能，晶振探头6的电导线和信号线8由炉体内通过该座引出炉外，与膜厚控制仪主机73的探头电线与信号线端子74相连。
[0031]接电铜环绝缘座61通过固定螺杆72安装在上传动轴52上端筒口部位的外翻边上。固定螺杆72较长,上端穿出接电铜环绝缘座61,与位于接电铜环绝缘座61上方的水平设置的仪器固定板71相连，SQC310膜厚控制仪主机73固定在仪器固定板71上。3个彼此绝缘绕上传动轴52同心设置的铜环62水平地安装在接电铜环绝缘座61上，3个碳刷66与铜环62 —一相对地设置在铜环62上方，在其后端弹簧67的弹力作用下前端抵在铜环62上，3个碳刷66分别与外电地线64和电源线65相连，弹簧67和碳刷66嵌装在碳刷绝缘座63的底面上。保护罩76固定在炉体顶板7上，碳刷绝缘座63固定在保护罩76上，将铜环62和碳刷66罩住。保护罩76顶部具有开孔，固定螺杆72从该开孔中穿出。3个铜环引线端子77设置在接电铜环绝缘座61内，上端与3个铜环62 —一对应相连，下端引出导线与膜厚控制仪主机73的电源端75相连，使膜厚控制仪主机73的电源端通过铜环62、碳刷66与外电直接相连，省去电池结构，可长时间连续工作。由于上述各部件随上传动轴52转动，所以各部件之间是相对静止的，不存在线路缠绕的问题。另外，显然这里铜环和碳刷的位置也可以互换。
[0032]膜厚控制仪主机73上装有WiFi无线传输模块，把主机监测到的数据实时的发送到炉旁的计算机中。
[0033]本发明的上述实施例并不是对本发明保护范围的限定，本发明的实施方式不限于此，根据本发明的上述内容，按照本领域的普通技术知识和惯用手段，在不脱离本发明基本技术思想前提下，对本发明上述结构做出的其它多种形式的修改、替换或变更，均落在本发明的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种随工件运动的在位动态监控膜厚的真空光学镀膜机，包括炉体、转轴、工件转架、转轴驱动机构、晶振探头和膜厚控制仪主机，所述炉体由炉壁、炉体底盘和炉体顶板组成，转轴竖向安装在炉体中部，上、下端分别与所述炉体顶板、炉体底盘密封安装，转轴上端穿出所述炉体顶板，膜厚控制仪主机位于所述炉体顶板上方安装在所述转轴上端，工件转架安装在所述转轴上位于炉体内部，晶振探头安装在所述工件转架上，其电导线和信号线密封穿出所述炉体与所述膜厚控制仪主机相连，其冷却水回路密封穿出所述炉体与连接外部供回水系统的旋转接头相连，转轴驱动机构从炉体外部与所述转轴相连并驱动转轴转动，所述工件转架、膜厚控制仪主机及晶振探头随所述转轴同步转动； 其特征在于，所述转轴的上部和下部内部均有中空的腔体，所述晶振探头的电导线和信号线从所述转轴的上部的所述中空的腔体中密封穿出所述炉体，所述冷却水回路从所述转轴的下部的所述中空的腔体中密封穿出所述炉体，即实现水电的分开传送。
2.根据权利要求1所述的随工件运动的在位动态监控膜厚的真空光学镀膜机，其特征在于，所述转轴由从下向上依次相连的下传动轴、向上传动连接件、万向联轴器、上延伸转轴和上传动轴组成，所述中空的腔体位于所述下传动轴和上传动轴内部，所述工件转架安装在所述下传动轴上，所述转轴驱动机构与所述下传动轴穿出所述炉体底盘的下端相连。
3.根据权利要求2的所述随工件运动的在位动态监控膜厚的真空光学镀膜机，其特征在于，所述下传动轴内部的中空的腔体靠近其上端面的一段直径增大，为扩大腔，所述向上传动连接件的底面密封地固定在所述下传动轴的上端面上，所述向上传动连接件的底面具有伸入所述扩大腔的分隔环，所述下传动轴内部的中空的腔体中设置有一根进水管，所述进水管外壁与所述下传动轴内部的中空的腔体的内壁之间形成环形回水道，所述进水管的上端伸入所述分隔环内部，其外壁与所述分隔环的内壁之间通过动密封结构相连，使在所述分隔环内部形成进水腔，并在所述扩大腔与所述分隔环之间形成回水腔，所述向上传动连接件上还开有分别与所述进水腔和所述回水腔连通的两个通道，并通过这两个通道分别与所述晶振探头的进水管路和回水管路相连，所述进水管的下端及所述下传动轴内部的中空的腔体的下端口与所述旋转接头相连。
4.根据权利要求3的所述随工件运动的在位动态监控膜厚的真空光学镀膜机，其特征在于，所述动密封结构由从上至下依次设置的压垫、动密封、传动隔圈、深沟球轴承、传动隔圈、动密封、压垫组成，该动密封结构上端由位于所述分隔环内壁上的环形凸缘、下端由安装在所述分隔环开口端内壁的压紧塞压紧在所述分隔环内部。
5.根据权利要求2所述的随工件运动的在位动态监控膜厚的真空光学镀膜机，其特征在于，所述转轴驱动机构由电机和同步轮传动机构组成。
6.根据权利要求1飞任一项权利要求所述的随工件运动的在位动态监控膜厚的真空光学镀膜机，其特征在于，所述膜厚控制仪主机的电源端通过铜环-碳刷机构与外电相连，所述铜环-碳刷机构具有三个铜环和三个碳刷，三个所述铜环围绕所述上传动轴同心设置，三个所述碳刷与三个所述铜环一一相对，碳刷在其后端弹簧的弹力作用下前端抵在所述铜环上； 所述铜环安装在所述上传动轴上随上传动轴同步转动，所述碳刷位置固定地安装在所述炉体顶板上方，所述膜厚控制仪主机的电源端与所述铜环相连，通过所述碳刷与外电相连；或所述碳刷安装在所述上传动轴上随上传动轴同步转动，所述铜环位置固定地安装在所述炉体顶板上方且与之绝缘，所述膜厚控制仪主机的电源端与所述碳刷相连，通过所述铜环与外电相连。
7.根据权利要求6所述的随工件运动的在位动态监控膜厚的真空光学镀膜机，其特征在于，所述铜环和碳刷由一安装在所述炉体顶板上的保护罩罩住。
8.根据权利要求7所述的随工件运动的在位动态监控膜厚的真空光学镀膜机，其特征在于，所述膜厚控制仪主机通过WiFi无线传输模块与位于炉体附近的计算机通讯。
9.根据权利要求8的所述随工件运动的在位动态监控膜厚的真空光学镀膜机，其特征在于，所述下传动轴通过下传动轴座安装在所述炉体底盘上，所述下传动轴座呈两端开口的筒状，套装在所述下传动轴上，外壁上具有径向向外延伸的环形凸缘，并通过该环形凸缘与所述炉体底盘中部开孔的边缘密封固定，所述下传动轴座内壁靠近其上端开口处具有一环形凸缘，该环形凸缘上具有一推力轴承，所述推力轴承由所述下传动轴外壁上的一凸出结构压装在其下方的所述环形凸缘上，所述下传动轴座内部环形凸缘的下方从上至下依次设置有垫圈、动密封、下传动隔圈、深沟球轴承、支承套筒、深沟球轴承、下传动隔圈、动密封，并在所述下传动轴座的下端开口处通过下传动轴座压盖将上述各部件压紧在所述下传动轴座的内腔中。
10.根据权利要求9的所述随工件运动的在位动态监控膜厚的真空光学镀膜机，其特征在于，所述上传动轴通过上传动轴座安装在所述炉体顶板上，所述上传动轴座呈筒状，筒底中部具有开孔，上传动轴安装在上传动轴座内部，下端从所述上传动轴座筒底的开孔中穿出，上传动轴座上端开口处具有水平的外翻边，上传动轴座通过所述外翻边与所述炉体顶板中部开孔的边缘密封固定，上传动轴座的内壁与所述上传动轴的外壁之间从下至上依次设有深沟球轴承、传动隔圈、动密封、传动隔圈、深沟球轴承，这些部件下端支承在所述上传动轴座的筒底上，上端内、外两侧分别由位于所述上传动轴外壁上的环形外部结构和安装在所述上传动轴座上端开口处的轴承压圈压紧。
【文档编号】C23C14/54GK104131261SQ201410322904
【公开日】2014年11月5日 申请日期:2014年7月8日 优先权日:2014年7月8日
【发明者】李志荣, 李志方, 罗志明, 陸创程 申请人:东莞市汇成真空科技有限公司