一种双槽沟槽蚀刻的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种双槽沟槽蚀刻机，包括机架，机架上设有酸洗槽、水洗槽，所述酸洗槽与水洗槽之间设有输送装置，所述输送装置上活动连接有旋转篮筐，所述输送装置可把旋转篮筐送入酸洗槽进行蚀刻、所述输送装置可把旋转篮筐送入水洗槽进行清洗，所述旋转篮筐可沿其中轴线转动；所述输送装置通过传动装置与动力输出装置相连。所述动力输出装置通过电路与PLC可编程逻辑控制器相连，通过PLC可编程逻辑控制器相连控制动力输出装置的工作。本装置能解决蚀刻面不均匀，大面积腐蚀速度慢，清洗不彻底的问题。
【专利说明】一种双槽沟槽蚀刻机
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及电子元器件蚀刻处理装置，具体涉及一种双槽沟槽蚀刻机。
【背景技术】
[0002]蚀刻机主要应用于航空、机械、标牌工业中，蚀刻机技术广泛地被使用于减轻重量仪器镶板，铭牌及传统加工法难以加工之薄形工件等之加工。在半导体和线路版制程上，蚀刻更是不可或缺的技术。也可对各种金属如:铁、铜、铝、钛金、不锈钢、锌版、等金属和金属制品的表面蚀刻图纹、花纹、几何形状，并能精确镂空。也可专业针对各种型号的国产和进口不锈钢进行蚀刻和薄板切割，如今广泛应用于金卡标牌加工、手机按键加工、不锈钢滤网加工、不锈钢电梯装饰板加工、金属引线框加工、金属眼镜脚丝加工、线路板加工、装饰性金属板加工等工业用途。现有的蚀刻机一般采用抓取机械手将装有电子元器件的工具蓝放入酸洗槽、水槽进行蚀刻、清洗。机械手一般采用上下或左右的震动方式在将电子元器件酸液中腐蚀，抓取机械手需要采用复杂的控制机构才能实现标准化作业，常造成蚀刻面不均匀，大面积腐蚀速度慢，清洗不彻底等问题。
实用新型内容
[0003]针对现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种双槽沟槽蚀刻机，能够解决蚀刻面不均匀，大面积腐蚀速度慢，清洗不彻底的问题。
[0004]本实用新型采用的技术方案是:一种双槽沟槽蚀刻机，包括机架，机架上设有酸洗槽、水洗槽，所述酸洗槽与水洗槽之间设有输送装置，所述输送装置上活动连接有旋转篮筐，所述输送装置可把旋转篮筐送入酸洗槽进行蚀刻、所述输送装置可把旋转篮筐送入水洗槽进行清洗，所述旋转篮筐可沿其中轴线转动；所述输送装置通过传动装置与动力输出装置相连。
[0005]进一步，所述输送装置包括转动轴；所述转动轴位于酸洗槽与水洗槽之间。
[0006]转动轴的外侧面上安装有摆臂；所述旋转篮筐的中轴线上设有旋转轴，所述旋转轴的两端通过滚动轴承连接在摆臂的端部；所述旋转篮筐的中轴线垂直于摆臂。所述转动轴、旋转轴通过传动装置与动力输出装置相连。
[0007]进一步，所述动力输出装置包括第一伺服电机、第二伺服电机；所述转动轴为由内管、外管通过滚动轴承连接而成的内外镶嵌结构；所述摆臂安装在转动轴的外管上，所述外管通过传动装置与第一伺服电机相连。
[0008]所述转动轴的内管通过传动装置与第二伺服电机相连，转动轴的内管的外侧面上设有链轮，旋转轴的外侧面上设有链轮，内管的外侧面上的链轮与旋转轴的外侧面上的链轮通过穿过外管的传动链条相连；通过第一伺服电机实现转动轴的外管转动从而实现摆臂沿转动轴转动，通过第二伺服电机实现转动轴的内轴转动从而带动旋转篮筐沿旋转轴转动。
[0009]进一步，所述摆臂有两个，所述摆臂固定在转动轴的外管的外侧面上；所述两摆臂的端部通过滚动轴承连接有旋转轴，旋转轴与转动轴平行；所述转动轴的外管上设有链轮，所述链轮通过传动链条与第一伺服电机相连；所述内管的长度大于外管，所述内管的外侧面上位于外管以外部分上设有链轮，所述链轮通过传动链条与第二伺服电机相连。
[0010]进一步，所述动力输出装置还包括第三伺服电机；所述双槽沟槽蚀刻机还包括挡雾罩，所述挡雾罩包括一对对称设置的扇形立面，两扇形立面之间通过圆弧面相连；所述外管的外侧面上两摆臂的外侧各设有套管，扇形立面的顶点设置在套管上；其中一套管上设有链轮，所述链轮通过链条与第三驱动电机相连。设有活动的挡雾罩，可以在酸洗时，有效低地阻挡酸雾向蚀刻机外蔓延并防止酸液外派。
[0011]进一步，所述酸洗槽的侧面上设有系吸风孔，所述吸风孔与位于机架顶部的吸风
装置相连。
[0012]进一步，所述动力输出装置通过电路与PLC可编程逻辑控制器相连，通过PLC可编程逻辑控制器相连控制动力输出装置的工作。
[0013]进一步，所述酸洗槽和/或水洗槽上设有气枪，所述气枪与喷气装置相连；所述酸洗槽和/或水洗槽设有喷头，所述喷头通过喷管与喷液装置相连。
[0014]进一步，所述酸洗槽的底面为与旋转篮筐的外侧面相适应的弧面。
[0015]进一步，所述酸洗槽上设有降温盘管，所述降温盘管与冷却液循环装置相连。
[0016]本实用新型的有益效果是:由于旋转篮筐可以在酸洗槽、水洗槽中转动，旋转篮筐中的电子元器件在旋转篮筐不停地被翻滚，达到蚀刻、清洗的目的。现有技术中采用上下或左右震动篮筐的方式，由于电子元器件呈形状不规则的片状，这种清洗方式不容易将电子元器件有效地翻动，本实用新型所述方案中，电子元器件能被有效地、不断地翻滚，因此蚀亥IJ、清洗地比较均匀。在酸洗槽、水洗槽之间设有旋转轴，旋转轴转动即可实现将摆臂端部的旋转篮筐放入酸洗槽、水洗槽等工位，控制简单；由于旋转轴为镶嵌式结构，由内轴带动旋转篮筐转动，内轴与外轴相互之间不影响，装置控制方式简单。采用PLC可编程逻辑控制器来控制驱动装置，可以实现自动化作业。设有可旋转的挡雾罩，可以有效将挥发地酸雾吸走，优化了操作环境。由于不采用上下或左右震动篮筐的方式，因此，在同样保证能在清洗过程中浸没工件的情况下，酸洗槽或水槽使用的液体数量少，使用过程中挥发的酸液数量也少，有效地降低了成本。设有喷头，可以有效地喷淋旋转篮筐中的电子元器件，进一步提高清洗效果。设有气枪，可以在酸洗槽或水槽中鼓泡，进一步提高清洗效果。酸洗槽上设有降温盘管，可以控制酸洗的温度。
【专利附图】
【附图说明】
[0017]图1是本实用新型双槽沟槽蚀刻机的结构示意图。
[0018]图2是图1沿A-A向的水平切面图。
[0019]图3是图1沿B-B向的垂直剖面图。
[0020]图4是传动装置的结构示意图。
[0021]图5是本实用新型双槽沟槽蚀刻机的使用状态图。
[0022]图6是降温盘管的结构示意图。
[0023]其中:1_挡雾罩；2_旋转篮筐；3_酸洗槽；4_水洗槽；5_摆臂；6_进液装置；7-出液装置；8-机架；9_吸风孔；10-转动轴；11_门；12-PLC可编程逻辑控制器；13-吸风装置；14-第二伺服电机；15-喷头；16-喷气装置；17_第一伺服电机；18_第三驱动电机；19_内管；20_链轮；21_滚动轴承；22_外管；23_喷管；24_酸洗槽的底面；25_降温盘管；26_气枪；27_链轮；28_旋转轴；29_传动链条；30_扇形立面；32_圆弧面。
【具体实施方式】
[0024]下面，结合附图和实施例对本实用新型做进一步说明。
[0025]如图1到图5所示。一种双槽沟槽蚀刻机，包括机架8，机架8上设有酸洗槽3、水洗槽4，所述酸洗槽3与水洗槽4之间设有输送装置，所述输送装置上活动连接有旋转篮筐2，所述输送装置可把旋转篮筐2送入酸洗槽3进行蚀刻、所述输送装置可把旋转篮筐2送入水洗槽4进行清洗，所述旋转篮筐2可沿其中轴线转动；所述输送装置通过传动装置与动力输出装置相连。
[0026]所述输送装置包括转动轴10 ;所述转动轴10位于酸洗槽3与水洗槽4之间。
[0027]转动轴10的外侧面上安装有摆臂5 ;所述旋转篮筐2的中轴线上设有旋转轴28，所述旋转轴28的两端通过滚动轴承27连接在摆臂5的端部；所述旋转篮筐2的中轴线垂直于摆臂5 ；
[0028]所述转动轴10、旋转轴28通过传动装置与动力输出装置相连。
[0029]所述动力输出装置包括第一伺服电机17、第二伺服电机14 ;所述转动轴为由内管19、外管22通过滚动轴承21连接而成的内外镶嵌结构；所述摆臂5有两个，所述摆臂5固定在转动轴10的外管22的外侧面上；所述两摆臂5的端部通过滚动轴承连接有旋转轴28，旋转轴28与转动轴10平行；所述转动轴10的外管22上设有链轮，所述链轮通过传动链条与第一伺服电机17相连。
[0030]所述转动轴10的内管19通过传动装置与第二伺服电机14相连，转动轴10的内管19的外侧面上设有链轮20，旋转轴的外侧面上设有链轮27，内管19的外侧面上的链轮20与旋转轴的外侧面上的链轮27通过穿过外管22的传动链条29相连；通过第一伺服电机17实现转动轴的外管22转动从而实现摆臂5沿转动轴10转动，通过第二伺服电机14实现转动轴的内轴19转动从而带动旋转篮筐2沿旋转轴28转动。所述内管19的长度大于外管，所述内管19的外侧面上位于外管22以外部分上设有链轮，所述链轮通过传动链条与第二伺服电机14相连。
[0031]所述动力输出装置还包括第三伺服电机18 ;所述双槽沟槽蚀刻机还包括挡雾罩1，所述挡雾罩I包括一对对称设置的扇形立面30，两扇形立面30之间通过圆弧面32相连；所述外管22的外侧面上两摆臂5的外侧各设有套管，扇形立面30的顶点设置在套管上；其中一套管上设有链轮，所述链轮通过链条与第三驱动电机18相连。
[0032]所述酸洗槽3的侧面上设有系吸风孔9，所述吸风孔9与位于机架顶部的吸风装置13相连。
[0033]所述动力输出装置通过电路与PLC可编程逻辑控制器12相连，通过PLC可编程逻辑控制器12相连控制动力输出装置的工作。
[0034]所述酸洗槽3和/或水洗槽4上设有气枪26，所述气枪26与喷气装置16相连；所述酸洗槽3和/或水洗槽4设有喷头15，所述喷头15通过喷管23与喷液装置相连。
[0035]所述架体8上设有进液装置6、出液装置7、门11。在蚀刻机工作时，所述门关闭，放置会发的酸液溢出蚀刻机，优化了操作环境。
[0036]作业时，清洗作业员向旋转篮筐2装满工件，清洗篮根据设定的程序，自动依次送到清洗槽、水洗槽，对工件进行腐蚀，清洗后作业员将旋转篮筐2的工件取出。清洗工作过程由PLC控制。所述喷气装置喷射的是氮气，通过喷射氮气进行氮气鼓泡。所述喷淋管路自顶部冲洗工件表面残余颗粒。当酸洗槽酸洗时，挡雾罩沿转动轴10旋转，其前侧面与水洗槽顶面上前侧面以上部分接触，此时，挥发的酸雾由位于酸槽一侧的吸风孔吸走，因挡雾罩的阻挡，酸雾不向操作者方向扩散。当清洗结束后，挡雾罩沿转动轴10旋转，其后侧面与酸洗槽顶面上后侧面以上部分接触，方便操作者拿出工件。
[0037]实施例2，如图6所示，本实施例与实施例1唯一的不同在于，所述酸洗槽的底面24为与旋转篮筐的外侧面相适应的弧面。所述酸洗槽3上设有降温盘管25，所述降温盘管25与冷却液循环装置相连。所述第一伺服电机、第二伺服电机、第三驱动电机均设置在清洗槽、水洗槽的顶面以下且通过密封板与清洗槽、水洗槽隔离，可放置酸液腐蚀电机。
[0038]以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种双槽沟槽蚀刻机，包括机架(8)，机架(8)上设有酸洗槽(3)、水洗槽(4)，其特征在于: 所述酸洗槽(3 )与水洗槽(4 )之间设有输送装置，所述输送装置上活动连接有旋转篮筐(2 )，所述输送装置可把旋转篮筐(2 )送入酸洗槽(3 )进行蚀刻、所述输送装置可把旋转篮筐(2 )送入水洗槽(4 )进行清洗，所述旋转篮筐(2 )可沿其中轴线转动；所述输送装置通过传动装置与动力输出装置相连。
2.如权利要求1所述的一种双槽沟槽蚀刻机，其特征在于:所述输送装置包括转动轴 (10);所述转动轴(10)位于酸洗槽(3)与水洗槽(4)之间； 转动轴(10)的外侧面上安装有摆臂(5);所述旋转篮筐(2)的中轴线上设有旋转轴(28)，所述旋转轴(28)的两端通过滚动轴承(27)连接在摆臂(5)的端部；所述旋转篮筐(2)的中轴线垂直于摆臂(5); 所述转动轴(10)、旋转轴(28)通过传动装置与动力输出装置相连。
3.如权利要求2所述的一种双槽沟槽蚀刻机，其特征在于:所述动力输出装置包括第一伺服电机(17)、第二伺服电机(14);所述转动轴为由内管(19)、外管(22)通过滚动轴承(21)连接而成的内外镶嵌结构；所述摆臂(5)安装在转动轴(10)的外管(22)上，所述外管(22)通过传动装置与第一伺服电机(17)相连； 所述转动轴(10)的内管(19)通过传动装置与第二伺服电机(14)相连，转动轴(10)的内管(19)的外侧面上设有链轮(20)，旋转轴(28)的外侧面上设有链轮(27)，内管(19)的外侧面上的链轮(20 )与旋转轴的外侧面上的链轮(27 )通过穿过外管(22 )的传动链条(29 )相连；通过第一伺服电机(17)实现转动轴的外管(22)转动从而实现摆臂(5)沿转动轴(10)转动，通过第二伺服电机(14)实现转动轴的内轴(19 )转动从而带动旋转篮筐(2 )沿旋转轴(28)转动。
4.如权利要求3所述的一种双槽沟槽蚀刻机，其特征在于:所述摆臂(5)有两个，所述摆臂(5)固定在转动轴(10)的外管(22)的外侧面上；所述两摆臂(5)的端部通过滚动轴承连接有旋转轴(28)，旋转轴(28)与转动轴(10)平行；所述转动轴(10)的外管(22)上设有链轮，所述链轮通过传动链条与第一伺服电机(17)相连；所述内管(19)的长度大于外管，所述内管(19)的外侧面上位于外管(22)以外部分上设有链轮，所述链轮通过传动链条与第二伺服电机(14)相连。
5.如权利要求4所述的一种双槽沟槽蚀刻机，其特征在于:所述动力输出装置还包括第三伺服电机(18);所述双槽沟槽蚀刻机还包括挡雾罩(1)，所述挡雾罩(I)包括一对对称设置的扇形立面(30)，两扇形立面(30)之间通过圆弧面(32)相连；所述外管(22)的外侧面上两摆臂(5)的外侧各设有套管，扇形立面(30)的顶点设置在套管上；其中一套管上设有链轮，所述链轮通过链条与第三驱动电机(18)相连。
6.如权利要求1到5任意一权利要求所述的一种双槽沟槽蚀刻机，其特征在于:所述酸洗槽(3)的侧面上设有系吸风孔(9)，所述吸风孔(9)与位于机架顶部的吸风装置(13)相连。
7.如权利要求1到5任意一权利要求所述的一种双槽沟槽蚀刻机，其特征在于:所述动力输出装置通过电路与PLC可编程逻辑控制器(12)相连，通过PLC可编程逻辑控制器(12)相连控制动力输出装置的工作。
8.如权利要求1到5任意一权利要求所述的一种双槽沟槽蚀刻机，其特征在于:所述酸洗槽(3)和/或水洗槽(4)上设有气枪(26)，所述气枪(26)与喷气装置(16)相连；所述酸洗槽(3)和/或水洗槽(4)设有喷头(15)，所述喷头(15)通过喷管(23)与喷液装置相连。
9.如权利要求1到5任意一权利要求所述的一种双槽沟槽蚀刻机，其特征在于:所述酸洗槽的底面(24)为与旋转篮筐的外侧面相适应的弧面。
10.如权利要求1到5任意一权利要求所述的一种双槽沟槽蚀刻机，其特征在于:所述酸洗槽(3)上设有降温盘管(25)，所述降温盘管(25)与冷却液循环装置相连。
【文档编号】C23F1/08GK203782236SQ201420102843
【公开日】2014年8月20日 申请日期:2014年3月8日 优先权日:2014年3月8日
【发明者】马玉水 申请人:山东高唐杰盛半导体科技有限公司