一种立方氮化硼微粉颗粒表面金属化改性的方法与流程

文档序号:12099310阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种立方氮化硼微粉颗粒表面金属化改性的方法,包括以下步骤:

(1)采用物理气相沉积法在立方氮化硼微粉颗粒表面镀膜,在物理气相沉积设备的镀膜室装入金属或合金阴极靶材,然后将立方氮化硼微粉放入滚筒式沉积台;关闭镀膜室门,设定气相沉积参数,进行物理气相沉积镀膜;

(2)将镀膜后的立方氮化硼微粉在真空热处理炉中进行热处理,即得到表面金属化改性的立方氮化硼颗粒粉体。

2.根据权利要求1所述的立方氮化硼微粉颗粒表面金属化改性的方法,其特征在于:在采用物理气相沉积法在立方氮化硼微粉颗粒表面镀膜前,还包括将立方氮化硼微粉进行颗粒表面洁净处理的步骤。

3.根据权利要求1所述的立方氮化硼微粉颗粒表面金属化改性的方法,其特征在于:所述的立方氮化硼微粉的费氏粒度≤3.0μm。

4.根据权利要求1所述的立方氮化硼微粉颗粒表面金属化改性的方法,其特征在于:所述的阴极靶材为钨、钼、钛、钒、铬、钴、镍、铝单质或其合金。

5.根据权利要求4所述的立方氮化硼微粉颗粒表面金属化改性的方法,其特征在于:所述的阴极靶材为两种以上不同的金属或合金靶材,两种以上靶材交替沉积,得到的金属膜层为多层,或者两种以上靶材共沉积,得到的金属膜层为合金层。

6.根据权利要求1所述的立方氮化硼微粉颗粒表面金属化改性的方法,其特征在于:所述的物理气相沉积法包括磁控溅射法和射频溅射法。

7.根据权利要求6所述的立方氮化硼微粉颗粒表面金属化改性的方法,其特征在于:所述的阴极靶材为导电磁性金属时,采用直流电源磁控溅射法;所述的阴极靶材为导电非磁性金属时,采用交流电源射频溅射法。

8.根据权利要求1所述的立方氮化硼微粉颗粒表面金属化改性的方法,其特征在于:所述的物理气相沉积过程中,预抽本底真空至3.0×10-3Pa以下,通入工作气体Ar气,镀膜过程中溅射气压设定在0.1~10Pa;样品加热温度为100~400℃;靶材功率密度范围为5~30W/cm2;滚筒式沉积台的转速为12~50r/min;振动系统的振动频率为10~50Hz;镀膜时间为0.5~20h。

9.根据权利要求1所述的立方氮化硼微粉颗粒表面金属化改性的方法,其特征在于:所述的热处理的温度为400~1400℃,热处理保温时间为20~120min。

10.权利要求1所述的立方氮化硼微粉颗粒表面金属化改性的方法在制备用于成形、烧结超硬合金的混合料中的应用。

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