一种钛金属封头的制备工艺的制作方法

文档序号:11146919阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种钛金属封头的制备工艺,其特征在于:采用钛合金气体渗碳,将渗碳气体乙炔在高温下裂解形成活性碳原子,利用碳原子在钛合金表面扩散进行的,渗碳温度控制在1500℃,渗碳时间为2.5h,得到的渗碳层厚度为300μm。试验设备高温真空渗碳炉组成:气体、循环泵、循环水、特种合金板、加热器、真空泵。该渗碳炉采用钼靶作为加热源,温度可以加热到1900℃。采用普通的机械泵进行抽真空,真空度可以达到12-1Pa。

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