一种半导体焊接用铜线的加工方法与流程

文档序号:12347037阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种半导体焊接用铜线的加工方法,其特征在于,包括如下步骤:

S1、按重量百分含量将Ag 0.01-0.03%,Fe 0.01-0.03%,Ni 0.005-0.01%,P0.003-0.008%,B 0.001-0.003%,Pd 0.003-0.006%,Nb 0.001-0.003%,稀土元素0.008-0.012%,余量为纯度≥99.99%的无氧铜混合后,在氮气保护下加入高频炉中进行熔炼,升温至1220-1250℃,保温至熔化完全得到熔液,精炼20-40min后,经定向凝固得到直径为10-15mm的铜杆坯;

S2、将S1中得到的铜杆坯加热到950-980℃后进行热轧加工,得到直径为2-4mm的铜母线,终轧温度为730-750℃,将所述铜母线铣面去除氧化皮后进行截面收缩率为35-45%的冷轧加工,在570-600℃的退火温度下退火处理2-6min,再进行截面收缩率为15-25%的冷轧加工,在530-550℃的退火温度下退火处理1-5min,再进行截面收缩率为5-10%的冷轧加工;

S3、将S2中得到的铜母线进行多道次拉拔,得到直径为0.01-0.05mm的铜线,并在不同道次拉拔之间进行中间连续退火,退火温度为480-510℃,退火速度为130-180rpm,得到所述半导体焊接用铜线。

2.根据权利要求1所述半导体焊接用铜线的加工方法,其特征在于,S1中,([Fe]+[Ni]):[P]=5-6,[Fe]为Fe在熔液的中的重量百分含量,[Ni]为Ni在熔液的中的重量百分含量,[P]为P在熔液的中的重量百分含量。

3.根据权利要求1或2所述半导体焊接用铜线的加工方法,其特征在于,S1中,所述稀土元素为镧La、铈Ce、钇Y、钆Gd中的一种或者多种的组合。

4.根据权利要求1-3任一项所述半导体焊接用铜线的加工方法,其特征在于,S1中,升温至1220-1250℃过程中,升温过程中符合T=et-5,T为升温温度,T的单位为℃,t为升温时间,t的单位为min。

5.根据权利要求1-4任一项所述半导体焊接用铜线的加工方法,其特征在于,S2中,热轧采用Y250-8型三辊连轧机列,轧制过程中,将所述铜杆坯先轧至直径为7-8mm,再轧至直径为5-6mm,最后轧至直径为2-4mm。

6.根据权利要求1-5任一项所述半导体焊接用铜线的加工方法,其特征在于,S2中,先在580℃的退火温度下退火处理4min,再在540℃的退火温度下退火处理3min。

7.根据权利要求1-6任一项所述半导体焊接用铜线的加工方法,其特征在于,S3中,在进行中间连续退火时通入氮气和氢气的混合气体,氮气的流量为6-8L/min,氢气的流量为0.5-1L/min。

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