精密金属遮罩及遮罩组件的制作方法

文档序号:12183382阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种精密金属遮罩,其特征在于,包括图案区域,所述图案区域的外轮廓线包括若干条间隔连接的直线段,相邻两条所述直线段非平行,且相邻两条所述直线段之间设置有用以避免应力集中的倒角结构。

2.根据权利要求1所述的精密金属遮罩,其特征在于,所述倒角结构为倒斜角。

3.根据权利要求2所述的精密金属遮罩,其特征在于,所述倒斜角的角度为30°~60°。

4.根据权利要求1所述的精密金属遮罩,其特征在于,所述倒角结构为多次连续倒斜角。

5.根据权利要求1所述的精密金属遮罩,其特征在于,所述倒角结构为倒弧角。

6.根据权利要求1所述的精密金属遮罩,其特征在于,所述倒角结构为倒圆角。

7.根据权利要求1所述的精密金属遮罩,其特征在于,所述外轮廓线为顶角处设置有倒斜角的矩形。

8.根据权利要求1所述的精密金属遮罩,其特征在于,所述外轮廓线为顶角处设置有倒圆角的矩形。

9.根据权利要求8所述的精密金属遮罩,其特征在于,所述矩形的相对两条长边之间的距离为4cm~25cm,所述矩形的相对两条短边之间的距离为4cm~50cm,所述倒圆角的半径为0.1mm~5mm。

10.一种遮罩组件,其特征在于,包括网框和如权利要求1~9中任一项所述的精密金属遮罩,所述精密金属遮罩固定在所述网框上。

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