旋转银靶材的晶粒辊压细化装置的制作方法

文档序号:12826211阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种旋转银靶材的晶粒辊压细化装置,适用对旋转银靶材中的晶粒进行辊压细化,所述旋转银靶材安装于机床的主轴上,所述旋转银靶材的晶粒辊压细化装置组装于所述机床的托板上,所述托板沿所述旋转银靶材的轴向呈往复滑移的布置,其特征在于,所述旋转银靶材的晶粒辊压细化装置包括第一安装架、第二安装架、座架、驱动器及相互配合辊压的第一辊压轮组和第二辊压轮组,所述第一辊压轮组安装于所述第一安装架并与该第一安装架位于所述旋转银靶材径向的一侧处,所述第二辊压轮组安装于所述第二安装架并与该第二安装架位于所述旋转银靶材径向的另一侧处,所述驱动器安装在所述座架上,所述驱动器与所述第一安装架及第二安装架中至少一者连接;当所述驱动器驱使所述第一安装架和第二安装架相对运动而使所述第一辊压轮组和第二辊压轮组一起抱紧所述旋转银靶材时,则被所述主轴带动旋转的旋转银靶材被所述第一辊压轮组和第二辊压轮组一起辊压细化,且所述托板带动所述第一辊压轮组和第二辊压轮组沿所述旋转银靶材的轴向辊压细化该旋转银靶材的各处。

2.根据权利要求1所述的旋转银靶材的晶粒辊压细化装置,其特征在于,所述座架与所述第二安装架同侧布置,所述驱动器驱使所述第二安装架朝靠近或远离所述第一安装架处移动。

3.根据权利要求1所述的旋转银靶材的晶粒辊压细化装置,其特征在于,所述第一辊压轮组包含沿所述旋转银靶材的径向呈一上一下布置的上辊压轮及下辊压轮,所述旋转银靶材的轴心位于所述第一辊压轮组的上辊压轮及下辊压轮间。

4.根据权利要求3所述的旋转银靶材的晶粒辊压细化装置,其特征在于,所述第二辊压轮组包含沿所述旋转银靶材的径向呈一上一下布置的上辊压轮及下辊压轮,所述旋转银靶材的轴心位于所述第二辊压轮组的上辊压轮及下辊压轮间。

5.根据权利要求4所述的旋转银靶材的晶粒辊压细化装置,其特征在于,所述第一辊压轮组的上辊压轮与所述第二辊压轮组的上辊压轮相正对,所述第一辊压轮组的下辊压轮与所述第二辊压轮组的下辊压轮相正对。

6.根据权利要求1所述的旋转银靶材的晶粒辊压细化装置,其特征在于,所述座架具有面对所述旋转银靶材的容置活动槽,所述第二安装架呈匹配地置于所述容置活动槽内,所述驱动器的输出端伸至所述容置活动槽再与所述第二安装架连接。

7.根据权利要求6所述的旋转银靶材的晶粒辊压细化装置,其特征在于,所述容置活动槽的上槽壁及下槽壁均凸伸出导轨部,所述第二安装架的上下端部对应地开设有导槽,所述导轨部嵌于所述导槽内。

8.根据权利要求1所述的旋转银靶材的晶粒辊压细化装置,其特征在于,所述驱动器为一气缸或一直线电机。

9.根据权利要求1所述的旋转银靶材的晶粒辊压细化装置,其特征在于,所述机床为一车床。

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