蒸镀坩埚和蒸镀系统的制作方法

本实用新型涉及设备制造技术领域，具体涉及一种蒸镀坩埚以及一种包括该蒸镀坩埚的蒸镀系统。

背景技术：

一般的，显示装置的显示方式包括液晶显示(Liquid Crystal Display，LCD)和有机发光二极管显示(Organic Light-Emitting Diode，OLED)，有机发光二极管显示(OLED)与液晶显示(LCD)相比，具有轻薄、低功耗、高对比度、高色域以及柔性显示等优点，成为下一代显示器的发展趋势。有机发光二极管显示(OLED)包括有源矩阵有机发光二级管(Active Matrix Organic Light Emitting Diode，AMOLED)和无源矩阵有机发光二极管(Passive Matrix Organic Light Emitting Diode，PMOLED)。实现有机发光二极管显示(OLED)显示时，使用低温多晶硅面板(Low Temperature Poly-silicon，LTPS)+高精度金属掩膜板(Fine Metal Mask，FMM)的方式已初步成熟。

上述高精度金属掩膜板(FMM)模式，是通过蒸镀方式将有机材料(OLED)按照预定程序蒸镀到低温多晶硅面板(LTPS)上，利用高精度金属掩膜板(FMM)上的图形形成红、绿、蓝器件。蒸镀是在真空腔体中，使用线性蒸镀坩埚进行蒸镀。

但是，在有机材料(OLED)的蒸镀过程中，由于蒸镀出的有机材料(OLED)为蓬松结构，很容易在坩埚盖子的蒸镀孔部位集结，直至将蒸镀孔完全堵住。但由于有机发光二极管(OLED)显示器件制作工艺的特殊性，需要在持续的真空环境下，连续完成有机材料(OLED)的蒸镀，而一旦蒸镀孔被堵，将使有机材料(OLED)无法蒸发，使蒸镀工艺无法继续进行，严重影响生产进度。这种情况下，传统的解决方案，将有机材料(OLED)降温至室温，再打开蒸镀设备腔体，处理堵住蒸镀孔的蒸发源后，再关上蒸镀设备腔体，然后才能开始再次加热有机材料(OLED)继续蒸镀工艺，通常这一流程需要耗费几十小时，对生产计划有严重的影响并且影响产品质量。另外，有机蒸镀坩埚材质为钛材质，采用加热丝加热方式，钛低热传导性能、加热丝高温形变等会导致坩埚内材料受热不均，造成局部高温，这会导致有机材料(OLED)灰化变性，影响产品性能。

因此，如何设计出一种能够有效疏通蒸镀孔的蒸镀坩埚结构成为本领域亟待解决的技术问题。

技术实现要素：

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种蒸镀坩埚和一种包括该蒸镀坩埚的蒸镀系统。

为了实现上述目的，一方面，本实用新型提供一种蒸镀坩埚，所述蒸镀坩埚包括坩埚本体、可分离的设置在所述坩埚本体出口处的坩埚盖和至少一个喷嘴，所述喷嘴固定在所述坩埚盖上，以将所述坩埚本体的内部与外部连通，所述坩埚本体上设置有至少一个通孔；所述蒸镀坩埚还包括至少一个密封盖和至少一个清理组件，所述密封盖可打开地对所述通孔进行密封，所述清理组件能够穿过所述通孔进入所述坩埚本体内部并对所述喷嘴进行清理。

优选地，所述通孔设置在所述坩埚本体的底壁上，且所述通孔的位置与所述喷嘴相对应。

优选地，所述蒸镀坩埚还包括至少一个容纳筒，一个所述容纳筒对应至少一个所述通孔，所述容纳筒固定设置在所述坩埚本体的底壁上，且所述容纳筒的内部与相应的所述通孔连通，每个所述容纳筒对应一个所述密封盖，且每个所述密封盖设置在与其所对应的所述容纳筒的顶端开口处。

优选地，所述清理组件包括刮板和驱动杆，所述刮板设置在所述驱动杆的一端，所述驱动杆能够带动所述刮板沿所述容纳筒的轴线方向移动，且所述刮板能够移动至所述喷嘴处，并与所述喷嘴接触。

优选地，所述驱动杆中设置有沿该驱动杆的轴向延伸的容纳腔，所述驱动杆上还设置有激光入口和激光出口，所述容纳腔分别连通所述激光入口和所述激光出口，且所述激光出口与所述刮板相邻，所述清理组件还包括激光传导件，所述激光传导件设置在所述容纳腔中，且所述激光传导件的一端位于所述激光入口中，所述激光传导件的另一端位于所述激光出口中，以使得该激光传导件能够将激光传导至所述清理组件的外部。

优选地，所述驱动杆还能够带动所述刮板绕所述容纳筒的轴线转动。

优选地，所述蒸镀坩埚还包括至少一个保护壳和至少一个加热件，每个所述容纳筒对应一个所述保护壳和一个所述加热件，且每个所述保护壳套设在与其所对应的所述容纳筒的外部且与该容纳筒间隔设置，每个所述加热件设置在与其所对应的所述容纳筒和所述保护壳的间隔中。

优选地，所述蒸镀坩埚还包括至少一个顶杆和至少一个引导套，每个密封盖对应一个所述顶杆，每个所述顶杆的一端与其所对应的所述密封盖的边部固定连接，每个所述顶杆能够沿与其所对应的所述容纳筒的轴线方向移动，且每个所述顶杆还能够绕自身轴线转动，每个所述顶杆设置在与其所对应的所述保护壳和所述容纳筒的间隔中，每个所述顶杆的外部均套设一个引导套，每个所述引导套设置在与其所对应的所述保护壳的内壁上。

优选地，所述蒸镀坩埚还包括收集槽，所述收集槽用于接收由所述清理组件从所述喷嘴上移除的物体。

另一方面，本实用新型提供了一种蒸镀系统，所述蒸镀系统包括蒸镀坩埚，所述蒸镀坩埚为上述任意一项所述的蒸镀坩埚，所述蒸镀系统还包括抽真空组件，所述抽真空组件能够与所述喷嘴连通，以通过所述喷嘴对所述坩埚本体内部抽真空。

本实用新型的蒸镀坩埚，在进行蒸镀时，将蒸镀材料放置于坩埚本体内部，保证密封盖与通孔密闭连接，使得蒸镀材料能够从喷嘴喷出以完成蒸镀工艺。同时，密封的通孔，还能够防止蒸镀材料从该通孔泄漏，造成蒸镀材料的浪费以及环境的破坏。当喷嘴堵塞时，此时，可以打开密封盖，清理组件可以从上述通孔进入到坩埚本体内部，完成对堵塞的喷嘴的清理，能够大大节省清理时间，提高蒸镀工艺产能，节省成本。

本实用新型的蒸镀系统，采用上述任意一种结构的蒸镀坩埚，能够大大节省清理时间，提高蒸镀工艺产能，节省成本。

附图说明

附图是用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本实用新型，但并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1为本实用新型第一实施例中蒸镀坩埚的结构示意图；

图2为本实用新型第二实施例中蒸镀坩埚的结构示意图；

图3为本实用新型蒸镀系统的结构示意图。

附图标记说明

100：蒸镀坩埚；

110：坩埚本体；

111：通孔；

120：坩埚盖；

130：喷嘴；

140：密封盖；

150：清理组件；

151：刮板；

152：驱动杆；

153：激光传导件；

154：激光发生器；

160：容纳筒；

170：保护壳；

180：加热件；

191a：温度检测件；

191b：顶杆；

191c：引导套；

191d：收集槽；

191e：支撑杆；

200：蒸镀材料；

300：动力源；

400：蒸镀系统；

410：抽真空组件；

411：抽吸管；

412：移动导轨；

413：抽吸管末端罩。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限制本实用新型。

参考图1，本实用新型的第一方面，涉及一种蒸镀坩埚100。该蒸镀坩埚100包括坩埚本体110、可分离的设置在坩埚本体110出口处的坩埚盖120和至少一个喷嘴130。该喷嘴130固定设置在坩埚盖120上，以将坩埚本体110的内部与外部连通，坩埚本体110上设置有至少一个通孔111。其中，蒸镀坩埚100还包括至少一个密封盖140和至少一个清理组件150，该密封盖140可打开地对通孔111进行密封，清理组件150能够穿过通孔111进入坩埚本体110内部并对喷嘴130进行清理。

本实施例结构的蒸镀坩埚100，在进行蒸镀时，将蒸镀材料200放置于坩埚本体110内部，保证密封盖140与通孔111密闭连接，使得蒸镀材料200能够从喷嘴130喷出以完成蒸镀工艺。同时，密封的通孔111，还能够防止蒸镀材料200从该通孔111泄漏，造成蒸镀材料200的浪费以及环境的破坏。当喷嘴130堵塞时，此时，可以打开密封盖140，清理组件150可以从上述通孔111进入到坩埚本体110内部，完成对堵塞的喷嘴130的清理，能够大大节省清理时间，提高蒸镀工艺产能，节省成本。

需要说明的是，对于密封盖140、清理组件150的结构以及如何可打开密封盖140并没有作出限定，该密封盖140应当与通孔111相适配，以便实现密封，打开的方式，例如可以采用顶杆结构，顶杆的一端与密封盖140固定连接，另一端延伸出通孔111外部，以实现对密封盖140的打开或关闭地操作。再例如，还可以采用密码锁的方式，将该密码锁设置在密封盖140上，密码锁的数字键盘位于蒸镀坩埚100外部，当输入正确的解锁密码后，该密封盖140便可以打开。还可以采用卡扣件，在密封盖140的一侧上设置卡槽，利用与该卡槽相适配的卡钩与卡槽卡接，以实现密封，当需要打开密封盖时，从卡槽上拆卸卡钩，便可以将密封盖140打开。当然，打开的方式以及具体结构并不仅仅限于此，还可以是其他的打开方式以及具体结构。清理组件150应当满足能够自由出入通孔111，且还能够移动至喷嘴130处，以实现对喷嘴130的清理。

优选地，为了更好地利用上述清理组件150对喷嘴130进行清理，可以将上述通孔111设置在坩埚本体110的底壁上。其中，该通孔111的位置与上述喷嘴130的位置相对应。

本实施例结构的蒸镀坩埚100，通孔111设置在坩埚本体110的底壁上，且位置与喷嘴130位置相对应，清理组件150可沿通孔111上下移动，使得清理组件150的可操作性提高，能够更好地清理喷嘴130上粘附的蒸镀材料200。

优选地，上述蒸镀坩埚100还包括至少一个容纳筒160。其中，一个容纳筒160对应至少一个通孔111，容纳筒160固定设置在坩埚本体110的底壁上，且容纳筒160的内部与相应的通孔111连通，每个容纳筒160对应一个密封盖140，且每个密封盖140设置在与其所对应的容纳筒160的顶端开口处，以便在进行蒸镀时，可以将该容纳筒160密封。

应当理解的是，容纳筒160的底部开口内径应当大于或略大于与其所对应的通孔111的内径，以使得容纳筒160、密封盖140以及通孔111之间密闭连接，以确保在进行蒸镀时，蒸镀材料200能够通过喷嘴130喷出，以完成蒸镀工艺。

本实施例结构的蒸镀坩埚100，利用上述设置的容纳筒160，将清理组件150的移动限定在该容纳筒160内部。在进行蒸镀时，将蒸镀材料200放置在坩埚本体110内，由于坩埚本体110的底部处于密闭连接状态，因此蒸镀材料200全部通过喷嘴130喷出，完成蒸镀工艺。当喷嘴130堵塞时，将处于容纳筒160顶端开口的密封盖140打开，清理组件150从容纳筒160内部上升至喷嘴130处，实现对喷嘴130的清理，能够进一步地缩短清理时间，提高蒸镀工艺产能。

优选地，密封盖140盖住容纳筒160的顶端开口以后，密封盖140以及容纳筒160的总高度应当低于坩埚本体110的上边缘，且应当高于坩埚本体110内蒸镀材料的最大添加量的顶部(实际蒸镀工艺中，最大添加量一般为坩埚本体110高度的四分之三)，当密封盖140打开时，能够有效防止蒸镀材料200从容纳筒160内部泄漏，避免资源浪费以及环境污染。

优选地，上述清理组件150包括刮板151和驱动杆152。其中，刮板151设置在驱动杆152的一端，驱动杆152能够带动刮板151沿容纳筒160的轴线方向移动，且刮板151能够移动至喷嘴130处，并与喷嘴130接触。

本实施例结构的蒸镀坩埚100，是清理组件150的一种具体结构形式，当喷嘴130堵塞时，打开密封盖140，驱动杆152在动力源300(例如，机械马达装置)的驱动下，可以带动刮板151沿容纳筒160的内部向上移动，直至刮板151处于喷嘴130处，并与喷嘴130接触，更为具体地，刮板151的外侧边与喷嘴130接触，实现与喷嘴130的线接触，结构简单，且线接触能够提高对喷嘴130的清理效果，进一步地能够提高蒸镀工艺产能。

当然，上述清理组件150的具体结构并不仅仅限于此，也可以是其他满足同样功能的结构。

优选地，为了能够更高效地清理堵塞的喷嘴130，上述驱动杆152还能够带动刮板151绕容纳筒160的轴线转动，例如，该驱动杆152可以在动力源300的带动下绕自身转动，进而能够带动刮板151绕容纳筒160的轴线转动，能够彻底清理喷嘴130四周所粘附的蒸镀材料200，使得清理更加彻底，进一步的缩短清理时间，提高蒸镀工艺产能。

优选地，上述驱动杆152中还设置有沿该驱动杆152的轴向延伸的容纳腔(图中并未标记)，且驱动杆152上还设置有激光入口(图中并未标记)和激光出口(图中并未标记)，容纳腔分别连通该激光入口和激光出口，且激光出口与刮板151相邻(例如，激光出口可以位于刮板151下方)。其中，清理组件150还包括激光传导件153，激光传导件153设置在容纳腔中，且激光传导件153的一端位于激光入口中，激光传导件153的另一端位于激光出口中，以使得该激光传导件153能够将激光传导至清理组件150的外部。

本实施例结构的蒸镀坩埚100，设置有上述的激光传导件153，当喷嘴130堵塞时，驱动杆152在动力源300的驱动下，带动刮板151向上移动至与喷嘴130接触，同时，激光传导件153所传导的激光将从激光出口传递至喷嘴130处，可以加热气化粘附于喷嘴130处的蒸镀材料200，清理能够更加彻底，更进一步的能够缩短清理时间，提高蒸镀工艺产能，当然，也可以利用其它加热方式或结构以实现气化粘附于喷嘴130处的蒸镀材料200，提高清理效果。

优选地，为了可以便利地提供上述激光，作为激光的发射源，上述清理组件150还包括激光发生器154。其中，激光发生器154与激光传导件153的位于激光入口中的一端连接。

优选地，上述蒸镀坩埚100还包括至少一个保护壳170和至少一个加热件180。其中，每个容纳筒160对应一个保护壳170和一个加热件180，且每个保护壳170套设在与其所对应的容纳筒160的外部且与该容纳筒160间隔设置，每个加热件180设置在与其所对应的容纳筒160和保护壳170的间隔中。

本实施例结构的蒸镀坩埚100，设置有保护壳170和加热件180，可以利用加热件180对坩埚本体110内的蒸镀材料200进行加热，将加热件180设置在保护壳170和容纳筒160的间隔中，能够防止蒸镀材料200与该加热件180接触，同时能够有效提高坩埚本体110内的蒸镀材料200受热的均一性，避免蒸镀材料200受热不均引起局部高温导致的灰化变性现象。具体的，例如，该加热件180可以为加热丝，加热丝可以缠绕到容纳筒160的外表面，该加热丝将容纳筒160加热，进而将热量传递至保护壳170，加热后的保护壳170实现对蒸镀材料200的加热。

需要说明的是，为了使得蒸镀坩埚100的结构更加简单紧凑，上述结构的保护壳170可以和容纳筒160一体形成。

优选地，上述蒸镀坩埚100还包括温度检测件191a。其中，温度检测件191a用于检测蒸镀坩埚100内部的温度。

本实施例结构的蒸镀坩埚100，可以利用温度检测件191a，实时监测坩埚本体110内的温度。例如，可以采用PLC进行控制，一旦监测到坩埚本体110内的温度不符合预期值，可以通过PLC控制调节加热件180的加热电流的大小，以保证坩埚本体110内的温度的适当性与均一性。

上述对于温度检测件191a的具体结构并没有作出限定，例如，该温度检测件191a可以为温度传感器，也可以为其他结构的温度检测结构。

优选地，上述蒸镀坩埚100还包括至少一个顶杆191b。其中，每个密封盖140对应一个顶杆191b，每个顶杆191b的一端与其所对应的密封盖140的边部固定连接。每个顶杆191b能够沿与其所对应的容纳筒160的轴线方向移动，且每个顶杆191b还能够绕自身轴线转动。每个顶杆191b设置在与其所对应的上述保护壳170和容纳筒160的间隔中。

本实施例结构的蒸镀坩埚100，是实现密封盖140可以打开的一种具体结构，该结构的打开方式，不仅结构简单，而且操作方便。当喷嘴130堵塞时，顶杆191b在动力源300(例如，机械马达装置)的驱动下可以沿通孔111的轴线方向移动，带动密封盖140脱离容纳筒160的顶端开口，同时，顶杆191b还可以在动力源300的驱动下绕自身轴线转动，可以带动密封盖140同步转动，由于顶杆191b位于密封盖140的边部，因此，转动一定角度后，可以打开容纳筒160，清理组件150的刮板151在驱动杆152的带动下沿容纳筒160内部上升至喷嘴130处，完成对喷嘴130的清理。

优选地，为了引导上述结构的顶杆191b，上述蒸镀坩埚100还包括至少一个引导套191c。其中，每个顶杆191b的外部均套设一个引导套191c，每个引导套191c设置在与其所对应的保护壳170的内壁上。

本实施例结构的蒸镀坩埚100，设置的引导套191c可以将顶杆191b的移动轨迹限定在该引导套191c内，另外，该引导套191c还能够防止温度过高造成顶杆191b结构的破坏，导致密封盖140不能够打开。

优选地，上述蒸镀坩埚100还包括收集槽191d。其中收集槽191d用于接收由清理组件150从喷嘴130上移除的物体(粘附于喷嘴130处的蒸镀材料200)。

需要说明的是，上述收集槽191d可以仅仅包括一个，针对不同位置处的喷嘴130进行清理时，该收集槽191d应当可以移动至不同位置处，以便收集清理组件150清理掉的蒸镀材料200，当然，该收集槽191d的数量可以为多个，且每个收集槽191d对应一个容纳筒160，便于更好地收集清理掉的蒸镀材料200。

本实施例结构的蒸镀坩埚100，当需要对喷嘴130进行清理时，通过该收集槽191d可以收集刮板151清理掉的蒸镀材料200，能够有效防止蒸镀材料200掉落到蒸镀坩埚100外部，造成环境污染和资源浪费。

为了更方便地收集清理组件150清理掉的蒸镀材料200，该收集槽191d还可以沿容纳筒160的轴线移动。具体地，蒸镀坩埚100还包括支撑杆191e，该支撑杆191e的一端与收集槽191d固定连接，另一端与动力源300连接，支撑杆191e可以在动力源300的驱动下，带动收集槽191d沿容纳筒160内部移动至喷嘴130处，实现对清理掉的蒸镀材料200的收集。

为了使得结构更加紧凑，如图2所示，上述驱动杆152可以设置在收集槽191d中，进一步地，该驱动杆152与支撑杆191e可以是同一个结构，此时，驱动杆152应当处于收集槽191d的中心位置，通过该驱动杆152带动刮板151的移动和转动以及收集槽191d的移动和转动。

更进一步，上述喷嘴130的底部还可以设置有凹槽(图中并未示出)，该凹槽与收集槽191d相适配，当收集槽191d移动至喷嘴130处，收集槽191d可以停留在该凹槽中，能够防止清理过程中蒸镀材料落到坩埚本体110的外部。

本实用新型的第二方面，涉及一种蒸镀系统400。如图3所示，其中，该蒸镀系统400包括蒸镀坩埚100，该蒸镀坩埚100为上述任意一种结构的蒸镀坩埚100。

本实施例结构的蒸镀系统400，采用上述任意一种结构的蒸镀坩埚100，能够大大节省清理时间，提高蒸镀工艺产能，节省成本。

优选地，上述蒸镀系统400还包括抽真空组件410。具体地，该抽真空组件410包括真空泵(图中并未示出)和至少一个抽吸管411，全部的抽吸管411的一端与真空泵连通，每个抽吸管411对应一个喷嘴130，且抽吸管411的另一端能够与其所对应的喷嘴130连通，以通过喷嘴130对坩埚本体110内部进行抽真空。

本实施例结构的蒸镀系统400，设置的上述抽真空组件410，当蒸镀坩埚100移动至非蒸镀区以便对堵塞的喷嘴130进行清理时，使得抽吸管411与其所对应的喷嘴130连通，可以将清理掉的蒸镀材料通过该抽吸管411吸收走。

具体地，该抽吸管411可以配合上述具有激光传导件153的蒸镀坩埚100使用，该激光传导件153可以将粘附在喷嘴130处的蒸镀材料200气化，抽吸管411可以将气化后的蒸镀材料200吸走，以防气化的蒸镀材料200污染坩埚本体100，造成蒸镀不良。

更为具体地，为了使得抽吸管411的与喷嘴130连通的一端能够完全覆盖喷嘴130，同时能够节省抽吸管411的成本，可以在抽吸管411与喷嘴130连通的一端增设抽吸管末端罩413，该抽吸管末端罩413为中空的结构，且其内径大于喷嘴130的内径，以使得该抽吸管411能够完全将气化后的蒸镀材料200吸走。

优选地，上述蒸镀系统400还包括移动导轨412。具体地，上述真空泵和抽真空组件410能够沿移动导轨412移动，以使得抽真空组件410中的每个抽吸管411能够移动至与其所对应的喷嘴130处，并与该喷嘴130连通。

本实施例结构的蒸镀系统400，当需要对蒸镀坩埚100进行清洁时，将蒸镀坩埚100移动至非蒸镀区，同时，利用该移动导轨412，带动抽吸管411移动，以便使得抽吸管411可以移动至与其所对应的喷嘴130处，与该喷嘴130连通，以便对坩埚本体110抽真空，结构简单，操作方便，能够大大节省清理时间，提高蒸镀工艺产能。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。