热丝组件及金刚石薄膜沉积设备的制作方法

文档序号:15457843发布日期:2018-09-15 01:40

本发明涉及化学气相沉积金刚石图层领域,尤其涉及一种用于沉积金刚石薄膜的热丝组件以及用于在刀具上加工金刚石薄膜的金刚石薄膜沉积设备。



背景技术:

随着机械加工工业的迅速发展,加工业对各类刀具的需求量越来越大。因此,提高刀具的使用寿命成为加工工业的一大需求。而制备高性能涂层是提高刀具使用寿命普遍使用的方法之一。金刚石具有极高的硬度、弹性模量、热导率和化学稳定性,是十分理想的刀具涂覆材料。热丝化学气相沉积(Hot Filament Chemical Vapor Deposition,HFCVD)法由于其成本低,设备及工艺简单,可在复杂形状上制备金刚石薄膜等优点而成为常用的金刚石涂层刀具生产方法。

虽然HFCVD法制备金刚石薄膜刀具材料具有诸多优点,但仍存在许多技术问题,如刀具表面受热不均,刀刃部分的局部高温而导致的薄膜剥落等。导致这些问题的主要原因有:(1)热丝为单面设计,使得刀具朝向热丝的一面温度高于另一面的温度,导致刀具表面受热不均;(2)刀刃部分比较薄,易产生热量集中,从而导致局部温度较高,超出金刚石薄膜沉积的条件范围;(3)刀具材料与金刚石薄膜之间的热膨胀系数差异较大,局部高温导致薄膜的内应力巨大而造成薄膜剥落。

因此,亟需提出一种新的应用于金刚石薄膜沉积设备的热丝组件以及金刚石薄膜沉积设备。



技术实现要素:

针对现有技术中存在的缺陷,本发明实施例提供一种热丝组件及金刚石薄膜沉积设备,其可解决传统金刚石薄膜沉积设备中由于热量分布不均匀、热丝变形、刀具基体冷却不均匀等而导致加工不良的问题。

第一方面,本发明实施例提供了一种热丝组件,包括电极、热丝及用以承载所述热丝的热丝承载架,所述热丝承载架为两个,所述热丝承载架相互平行的装设于所述电极上,并可于所述电极上滑动而调节于所述电极上的位置,所述热丝组件还包括两进气装置,每一所述进气装置分别对准一所述热丝承载架上的热丝,所述热丝将所述进气装置输出的气体分解为沉积金刚石薄膜用的基团。

其中,所述电极上开设有滑槽,所述热丝承载架的一端可相对滑动的装设于所述滑槽内。

其中,所述电极上通有制冷模组,所述制冷模组用以对所述热丝组件进行散热。

其中,所述热丝承载架包括固定框以及连接至所述固定框一端的张紧框,所述张紧框上间隔设置有多个弹性件,所述热丝的相对两端均固定至所述固定框上,所述张紧框上的弹性件连接至所述热丝除两端之外的位置并拉紧所述热丝,所述进气装置正对所述固定框上设置有所述热丝的位置。

其中,每一所述弹性件连接至一所述热丝,所述弹性件的正投影与相连的所述热丝的正投影处于同一直线上,以沿所述热丝的延伸方向张紧所述热丝。

其中,所述热丝承载架包括固定框以及连接至所述固定框一端的张紧框,所述张紧框上间隔设置有多个弹性件,所述热丝的一端固定至所述固定框上,另一端直接连接至所述张紧框上的弹性件,所述张紧框相对于所述固定框转动以拉紧所述热丝,所述进气装置正对所述固定框上设置有所述热丝的位置。

其中,所述张紧框通过铰接的方式与所述固定框连接,且所述张紧框可相对所述固定框转动而调节所述张紧框与所述固定框之间的夹角,所述弹性件根据所述夹角来调节施加至所述热丝上的张紧力。

其中,所述固定框包括用于固定所述热丝一端的固定杆以及平行所述固定杆设置的铰接杆,所述张紧框铰接于所述铰接杆上;所述铰接杆上开设多个凹槽,装设于所述固定框与所述张紧框之间的每一热丝分别卡持于一对应的凹槽中。

本发明还提供一种金刚石薄膜沉积设备,包括用以固定待加工样品的样品基台以及上述的热丝组件,所述样品基台设置于两个所述热丝承载架之间,所述基团沉积在待加工样品上生成金刚石薄膜。

其中,所述样品基台上设置有冷却装置,该冷却装置用以冷却所述样品基台以及所述样品基台上固定的待加工样品。

其中,所述样品基台包括旋转工作台以及用于驱动所述旋转工作台的动力组件,所述旋转工作台夹持所述待加工样品,并在所述动力组件的驱动下带动所述待加工样按照预定的方向和转速转动。

其中,所述旋转工作台包括多个相互啮合的齿轮以及设置于所述齿轮上的多个夹具,所述旋转工作台通过所述夹具夹持所述待加工样品,并通过相互啮合的所述齿轮连接至所述动力组件。

其中,所述动力组件包括电机、传动轮与传动杆,所述传动杆同时连接至所述传动轮与所述齿轮,以通过所述电机驱动所述传动轮旋转时,所述传动轮驱动所述齿轮及夹具一起旋转。

其中,所述夹具由金属钼制成,并与所述齿轮同轴设置。

综上所述,上述实施例提供的热丝组件及具有上述热丝组件的金刚石薄膜沉积设备,热丝装设于两个可相对滑动的热丝承载架上,可使夹设于两个所述热丝承载架中间的待加工样品的两侧具有相同的沉积条件,并且可灵活调节所述热丝相对待加工样品的距离而方便调控沉积条件;另外,所述进气装置对准所述热丝承载架上的热丝,所述热丝将进气装置发出的混合气体激发成金刚石生长用的基团,同时所述制冷模组可及时对所述热丝和待加工样品进行散热,以防止所述热丝过热变形而影响沉积条件。因此,本发明的热丝组件及金刚石薄膜沉积设备可同时兼顾热场与气流场的分布,使样品表面沉积条件一致,大大提高了样品的加工精度。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是具有本发明热丝组件的金刚石薄膜沉积设备的侧视图。

图2是本发明一实施例的热丝组件在第一视角下的侧视图。

图3是图2所示热丝组件在第二视角下的侧视图。

图4是本发明另一实施例的热丝组件在第一视角下的侧视图。

图5是本发明金刚石薄膜沉积设备中样品基台的剖视图。

图6是图5所示样品基台中旋转工作台的俯视图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施方式中的附图,对本发明实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然,所描述的实施方式是本发明的一部分实施方式,而不是全部实施方式。基于本发明中的实施方式,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施方式,都应属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸地连接,或者一体地连接;可以是机械连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

此外,在本发明的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。若本说明书中出现“工序”的用语,其不仅是指独立的工序,在与其它工序无法明确区别时,只要能实现所述工序所预期的作用则也包括在本用语中。另外,本说明书中用“-”表示的数值范围是指将“-”前后记载的数值分别作为最小值及最大值包括在内的范围。在附图中,结构相似或相同的单元用相同的标号表示。

本发明实施例提供了一种热丝组件及具有所述热丝组件的金刚石薄膜沉积设备,热丝装设于两可相对滑动的热丝承载架上,可使夹设于两热丝承载架中间的待加工样品的两侧具有相同的沉积条件,并且可灵活调节热丝相对待加工样品的距离而方便调控沉积条件;另外,还可增加进气装置来使混合气体迅速的被分解,以及增加制冷模组及时对热丝进行散热,防止热丝过热变形而影响沉积条件。显然,本发明可同时兼顾热场与气流场的分布,使样品表面沉积条件一致,大大提高了样品的加工精度。

请参阅图1及图2,图1为具有本发明热丝组件100的金刚石薄膜沉积设备的侧视图;图2是本发明一实施例的热丝组件在第一视角下的侧视图。在本发明的实施例中,所述热丝组件100包括电极10、热丝30(参图2)以及用以安装所述热丝30的热丝承载架50,所述热丝用于将通过沉积设备沉积薄膜所时需的混合气体分解为沉积金刚石薄膜用的基团,所述所述热丝承载架50为两个,二者之间相互平行地设置于所述电极10上,并可在所述电极10上滑动,从而调节两个热丝承载架50在所述电极10上的位置。

在本发明的一实施例中,所述热丝组件100用于金刚石薄膜沉积设备中,并通过所述热丝30将沉积金刚石薄膜所需的混合气体(具体指具有金刚石分子结构的碳源,如甲烷、丙酮等,和氢气组成的混合气体)加热分解成金刚石生长用的基团,所述基团沉积于样品上形成薄膜。具体为,所述热丝将混合气体激发成有原子、离子态,即制备金刚石的源头。

本发明实施例中,所述热丝组件100还包括两个进气装置70,两个所述进气装置70分别对准两个所述热丝承载架50上的热丝30,用以通过其产生的气流场来增加所述混合气体的扩散,从而使所述混合气体能迅速的被所述热丝30激发、离化而分解成金刚石生长用的基团,并沉积在待加工工件上。本实施例中,所述进气装置70的出风口正对所述热丝承载架50上的热丝30,进一步地,所述出风口的尺寸等于或稍小于所述热丝承载架50的尺寸。

本发明实施例的热丝组件100中,所述热丝承载架50装设于所述电极10上,并可在所述电极10上滑动,而且对应每个热丝承载架50分别设置一进气装置70,使得整个热丝组件100可同时兼顾热场与气流场的均衡分布。因此,在所述热丝组件100对位于两个所述热丝承载架50之间的样品基台上的样品进行加工时,样品表面各处的沉积条件更为一致并可控,有效地提高加工效果。

在本发明的一个实施方式中,所述电极10上开设有滑槽11,所述滑槽11沿着所述电极10的轴向方向延伸开设。所述热丝承载架50的一端可滑动地装设于所述滑槽11内。所述热丝承载架50通过所述滑槽11可拆卸地装设于电极10上,并可沿着所述电极10的轴向方向在滑槽11内移动,使得调节所述热丝承载架50在所述电极10上的位置更为方便,有利于更为精确的控制对设于两个所述热丝承载架50之间的样品两侧的沉积条件。例如,通过调节其中至少一个热丝承载架50在所述电极10的位置,可增大或减小所述热丝承载架50上的热丝30与所述样品基台之间的距离,进而可更为精确、灵活地控制所述样品基台上的样品一侧的沉积条件。

在本发明的一个实施方式中,所述滑槽11内装配有高温螺丝15,所述热丝承载架50通过螺纹连接的方式与所述高温螺丝15相连接,并通过高温螺丝15在所述滑槽11中滑动而带动所述热丝承载架50的一端在所述电极10上的移动。

进一步的,所述电极10上设置有制冷模组13,用以对装设于该热丝组件100上的热丝30进行散热,防止所述热丝30由于温度过高而膨胀所导致的变形。当所述热丝30过热而膨胀变形时,可能会影响热丝30与样品基台之间的间距,进而影响到样品正对所述变形的热丝30一侧的沉积条件,最终导致样品各处沉积条件不一致。而通过在电极10上设置的冷却模组13,可有效防止热丝30过热变形而影响沉积条件。

在本发明的一个实施方式中,所述电极10用以固定所述热丝承载架50的一侧面呈“回”字形,其中,电极10中空的部位为所述滑槽11,而所述电极10上环绕所述滑槽11的部分设置为中空的管道,并注入冷水或者制冷剂等液体来构成所述制冷模组13,从而实现对该热丝组件100的散热。在本发明的一个实施方式中,所述制冷模组13为一水冷模组,并且所述制冷模组13还包括分别设置于所述电极10相对两端的进水管与出水管(图未标),从而通过液体的不断循环来实现散热。

进一步的,所述热丝承载架50包括固定框51以及连接至所述固定框51一端的张紧框53,所述固定框51与所述张紧框53相配合固定所述热丝30,并通过所述张紧框53张紧所述热丝。于本实施例中,所述热丝30的相对两端均装设在所述固定框51上后,再通过所述张紧框53来张紧所述热丝30。所述进气装置70正对所述固定框51的中部设置。在本发明的一个实施方式中,所述固定框51为一中空的矩形框体,所述张紧框53整体为一“U”形框体,其中,所述固定框51与张紧框53可拆卸且可相对转动地连接在一起。

在本发明的一个实施方式中,所述进气装置70的出气方向垂直所述固定框51所在的平面,使所述进气装置70正对安装于所述固定框51上的热丝30,以将所述混合气体输送至所述热丝30,使混合气体在所述热丝30的作用下能迅速的离化而分解成金刚石生长用的基团。

请一并参阅图2,进一步的,所述张紧框53包括多个弹性件531,所述弹性件531间隔装设于所述张紧框53上,并且每一弹性件531连接至所述固定框51上的至少一根热丝30。所述弹性件531发生形变产生的弹性回复力可拉紧所述固定框51上对应的热丝30。在本实施例中,每一所述弹性件531连接至一根所述热丝30,即所述热丝30的两端均固定至所述固定框51上后,所述张紧框53上的弹性件531的一端连接至该热丝30除了两端之间的任意位置,并且该弹性件531的正投影与其相连的所述热丝30的正投影处于同一直线上,以通过该弹性件531沿该热丝30的延伸方向张紧该热丝30。

在本发明的一实施例中,间隔装设于所述张紧框53上的每一弹性件531分别连接至一根对应的热丝30。

可以理解的是,可以仅在所述张紧框53上固定所述弹性件531,以牵拉所述热丝30邻近所述张紧框53的一端而拉紧该热丝30;也可以在所述张紧框53与所述固定框31上分别设置弹性件531,则所述热丝30的相对两端分别连接一弹性件531,以同时牵拉所述热丝30的相对两端来拉紧该热丝30,从而有效防止所述热丝30的变形。本实施例中,以仅在所述张紧框53上设置弹性件531,即仅在所述热丝30邻近张紧框53的一端设置相应的弹性件531为例进行说明。

可以理解的是,所述弹性件531采用耐高温材料制成,具体可以是一螺旋弹簧,也可以是弯折的弹性臂等结构,本发明不对所述弹性件531的结构做具体限定,只要能通过其弹性回复力张紧热丝承载架50上的热丝30即可。本发明中,每一根热丝30在所述弹性件531的弹性回复力的作用下被张紧,可有效防止所述热丝30受热发生膨胀而引起的长度增加所导致的变形,从而避免所述热丝30因为变形而减小与相邻热丝30之间的间距、以及其与样品之间的间距而最终导致样品表面沉积条件不一致的问题。

请一并参阅图3,具体的,所述张紧框53通过铰接的方式连接于所述固定框51上,并可相对所述固定框51转动而调节所述张紧框53与所述固定框51之间的夹角,对应调节所述张紧框53施加至所述热丝30上的张紧力。在本发明的一个实施方式中,将所述热丝30通过所述弹性件531装设于所述热丝承载架50上后,再转动所述张紧框53由相对所述固定框51呈锐角逐渐增加至呈钝角的夹角,所述弹性件531也逐渐由自由状态逐渐过渡到被拉伸状态而产生一回复力,从而形成施加至所述热丝30上的张紧力。

请再次参阅图2,进一步的,所述固定框51包括用于固定所述热丝30一端的固定杆511以及平行所述固定杆511设置的铰接杆513,所述张紧框53通过铰接的方式与所述铰接杆513可转动地连接。所述热丝30的相对两端分别装设在所述固定杆511以及所述铰接杆513上。

请一并参阅图4,图4是本发明另一实施例的热丝组件在第一视角下的侧视图。该热丝组件100与图2所示的热丝组件100相似,其不同仅在于:所述热丝30的相对两端通过所述固定框51与所述张紧框53两者同时实现所述热丝30的固定,具体为:所述热丝30的一端安装于所述固定杆511上后,另一端越过所述铰接杆513直接连接至所述张紧框53上的弹性件531,以通过所述弹性件531将热丝30的另一端装设于所述张紧框53上。

由于所述热丝30的一端装设于所述固定杆511上,另一端通过弹性件531装设于所述张紧框53上,因此,当所述张紧框53相对所述固定框51呈钝角设置时,即当所述张紧框53与所述固定框51之间的夹角为钝角时,则所述热丝30被所述铰接杆513抵持并在该铰接杆513处发生弯折,则该热丝30形成平行所述固定框51设置并正对所述进气装置70设置的加热段(图未标)以及大致平行所述张紧框53相对两侧的张紧段(图未标)。

进一步的,如图2所示,所述铰接杆513上开设多个凹槽5131,装设于所述张紧框53与所述固定框51之间的每一根热丝30分别卡持于一对应的凹槽5131内,用以确定相邻热丝30之间的间距。在本发明的一个实施方式中,所述热丝30的一端固定在所述固定杆511上,其另一端穿过所述铰接杆513上的凹槽5131、并通过一弹性件531安装至所述张紧框53上。此时,同一个热丝30的正投影仍处于同一条直线上,也即是说,所述固定杆511上固定的热丝30的位置、所述铰接杆513上对应凹槽5131的位置以及所述张紧框53上固定所述弹性件531的位置三者的正投影位于同一条直线上。

本发明实施例的热丝组件100,通过两个所述热丝承载架50固定若干热丝30于其上,因此可使夹设于两热丝承载架50中间的样品两侧温度一致并且沉积条件也相同,并且配合所述进气装置70形成的气流场,使得所述混合气体能迅速被热丝30离化成金刚石生长用的基团,可加速沉积速度的同时,还可确保样品表面沉积一致。

本发明还提供一种具有上述热丝组件100的金刚石薄膜沉积设备。

请一并参阅图1和图5,图1是具有本发明热丝组件的金刚石薄膜沉积设备的侧视图,图5是本发明金刚石薄膜沉积设备中样品基台的剖视图。在本发明的实施方式中,所述金刚石薄膜沉积设备除包括上述热丝组件100外,还包括样品基台200,所述样品基台200设置于两个所述热丝承载架50之间,并且所述样品基台包括冷却装置210,用以于在加工过程中冷却所述样品基台200以及其上固定的样品(图未示)。

在实际批量生产过程中,由于所述热丝30的数量较多,则放置于所述样品基台200上的样品处的热量比较集中,而且难以及时传导出去,从而使得局部温度过高而导致所沉积的金刚石薄膜由于与样品的材料热膨胀系数之间的差异而剥落,甚至还有可能由于温度过高造成样品的损坏。而本发明中,由于所述样品基台200上设置了冷却装置210,其可帮助样品基台200上的样品传导热量,以有效减少由于样品基台200放置的样品较集中而导致的所沉积的金刚石薄膜脱落甚至损坏样品的问题发生。

可以理解的是,可以通过同步调节两个所述热丝承载架50相对于所述样品基台200之间的距离,可实现对应调节所述热丝30相对于样品之间的间距,从而满足了不同样品的沉积条件。可以理解的是,也可以根据样品的加工需求,仅调节一侧的热丝承载架50相对于样品之间的间距,或者非同步地调节两热丝承载架50相对于所述样品之间的间距,从而进一步满足了不同样品的沉积条件。

本发明的金刚石薄膜沉积设备,将所述样品基台200设置于两个所述热丝承载架50之间,即可通过两侧的热丝30分解混合气体,以使样品的相对的两个表面的沉积条件一致,并且配合相应的进气装置70的应用来增加沉积速度,还配合所述冷却装置210对所述热丝30以及样品及时散热以尽可能地保证沉积过程中所述样品各部分的一致性。

进一步的,所述冷却装置210为采用水或者制冷剂等其它液体的循环来实现散热的冷却装置。在本发明的一个实施方式中,该冷却装置210为一通过水循环来实现散热的水冷却装置。

进一步的,所述样品基台200包括旋转工作台230以及用于驱动所述旋转工作台230的动力组件250,所述旋转工作台230用于夹持待加工样品,并可在所述动力组件250的驱动下带动所述待加工样品按照预定的方向和转速旋转(如顺时针转动或逆时针转动或交替方向转动)。

通过上述旋转工作台230的设置,使得装设于其上待加工样品可在所述动力组件250驱动下旋转,从而确保样品表面各处加工条件一致。

进一步的,所述旋转工作台230包括多个相互啮合的齿轮231以及设置于所述齿轮231上的多个夹具233,所述旋转工作台230通过所述夹具233夹持待加工样品,并通过相互啮合的齿轮231连接至所述动力组件250。

在本发明的实施方式中,通过设置相互啮合的齿轮231,可使得所述动力组件250仅通过驱动一个齿轮231进行旋转,即可通过该齿轮231带动相啮合的其他齿轮231同步旋转,并对应带动设置于齿轮231上的夹具233及夹持于对应夹具233上的样品旋转,从而无需对每一夹具233分别设置一动力组件250便可实现驱动所有的夹具233,大大简化了该金刚石薄膜沉积设备的结构。

请一并参阅图6,图6是图5所示样品基台中旋转工作台230的俯视图。在本发明实施方式中,所述齿轮231采用耐高温材料制成。所述夹具233与所述齿轮231同轴设置,且所述夹具233采用金属钼制成,并具有弹性而可夹持不同尺寸的样品。本发明实施例中的夹具233可以为一卡爪或其他弹性结构,本发明不对所述夹具的形状做具体限定,并且所述夹具233可拆卸的装设于所述齿轮231上,以方便该夹具233的更换与维修。

请再次参阅图5,所述动力组件250包括电机251、传动轮253与传动杆255,所述传动杆255同时连接至所述传动轮253与所述齿轮231。所述电机251驱动所述传动轮253按照预定的方向和转速转动时,则该传动轮253驱动所述齿轮231及设置于齿轮231上的夹具233及夹持于对应夹具233上的样品一起旋转。

优选的,所述传动轮253为两相互啮合的锥形齿轮,并通过其中一锥形齿轮连接至所述传动杆255,再通过另一锥形齿轮连接至所述电机251的连接杆(图未标)上。因此,当所述电机251带动其连接杆旋转时,可依次驱动两锥形齿轮、所述传动杆255以及相互啮合的齿轮231旋转,最终实现带动设置于齿轮231上的夹具233及夹持于对应夹具233上的样品一起转动。

在本发明实施方式中,该样品基台200还包括支撑柱270以及平行设置于所述支撑柱270同侧的若干延伸台290。所述冷却装置210安装于该支撑柱270上,并且所述样品基台200整体通过该支撑柱270来支撑固定。多个所述延伸台290相互间隔且层叠设置,并且多个所述延伸台290的正投影相互重合。每一延伸台290上固定有相啮合并设有所述夹具233的齿轮231,并且每一延伸台290上的至少一齿轮231连接至所述传动杆255,以在所述传动杆255的驱动下同时带动所述延伸台290上的齿轮231旋转,从而实现该样品基台200上多层样品的同时进行加工,以提升加工效率。

在本发明的一个实施方式中,该金刚石薄膜沉积设备密闭于一真空腔体中,防止所述混合气体被污染,以及样品在加工过程中被氧化而导致不良。

进一步的,本发明的金刚石薄膜沉积设备用于为大批量的铣刀表面沉积金刚石薄膜,所述样品为铣刀,所述样品基台200与其上的夹具233为铣刀的固定装置。

综上所述,上述实施例中的热丝组件100与具有上述热丝组件100的金刚石薄膜沉积设备,所述热丝30装设于两个可相对滑动的热丝承载架50上,可使夹设于两个所述热丝承载架50中间的样品的的两侧具有相同的沉积条件,并且可灵活调节所述热丝30相对所述待加工样品的距离而方便调沉积条件;另外,还可增加进气装置70来使混合气体迅速的被分解,以及增加制冷模组及时对所述热丝30进行散热,防止热丝30过热变形而影响沉积条件。显然,本发明的热丝组件100与金刚石薄膜沉积设备可同时兼顾热场与气流场的分布,使样品表面沉积条件一致,大大提高了样品的加工精度。

在本说明书的描述中,参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上对本发明实施例所提供的热丝组件与金刚石薄膜沉积设备进行了详细介绍,本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述,以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想;同时,对于本领域的一般技术人员,依据本发明的思想,在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处,综上所述,本说明书内容不应理解为对本发明的限制。

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