一种高居里温度的铁锆非晶多层膜及其制备方法与流程

技术特征：

技术总结
本发明公开了一种高居里温度的铁锆非晶多层膜及其制备方法。非晶多层膜为Fe75Zr25/Cu64Zr36材料，单层厚度为10nm，共50层。本发明所述非晶合金在兼具有FeZr单层薄膜材料优点的同时，还具有较高的居里温度，高于室温300K,是目前FeZr非晶体系达到的最好性能，可实现FeZr体系的广泛应用。

技术研发人员：孙铭;吴斌;冯涛;彭国
受保护的技术使用者：南京理工大学
技术研发日：2017.03.15
技术公布日：2018.10.09