1.一种表面超精密抛光加工装置，其特征在于包括：精密二维移动平台、抛光气雾流、带Z向精密移动的立柱、超声雾化器、雾化器夹持器、抛光剂、抛光剂输入管、智能精密微量泵、电流电线、超声电源、Z轴移动控制线、工件、精密二维平台移动控制线和数据处理系统，其特征在于：该装置中的所述数据处理系统14连接并控制智能精密微量泵8、超声电源10、精密二维移动平台1和带Z向精密移动的立柱3四个器件；该装置中的所述智能精密微量泵8的吸入口连接抛光剂6，出口连接超声雾化器4；该装置中的所述超声电源10连接超声雾化器4。
2.根据权利要求1所述的精密抛光加工装置，其特征在于，所述的雾化器夹持器包含八个可径向移动的锥形固定钉，且八个锥形固定钉均匀分布在雾化器夹持器两个内圆周上，其两个圆周在轴向上位于雾化器的节圆位置上。
3.根据权利要求1所述的精密抛光加工装置，其特征在于，所述的超声雾化器是低频压大功率超声振动换能器，并采用网孔板雾化方式进行雾化，即在超声振动雾化器前端盖上加均布一定数量微孔，而雾化器前端盖中的微孔直接小于0.2mm，同时也雾化量来确定微孔的数量和孔径。