一种易清洁的硅片研磨台的制作方法

文档序号:15224034发布日期:2018-08-21 17:53阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种易清洁的硅片研磨台,包括研磨台(1),其特征在于:所述研磨台(1)的内部开设空腔,空腔内安装环板(2),所述环板(2)的内侧壁围绕轴线设置齿块(3),所述研磨台(1)的底部嵌入安装电机(4),电机(4)的转轴(5)伸入空腔的内部,且转轴(5)的端部固定套设齿轮(6),所述齿轮(6)与齿块(3)啮合接触,所述环板(2)上垂直设有管道连接装置(7),所述管道连接装置(7)包括中空管(701)、通孔(702)、微型轴承(703)和内螺纹管(704),所述中空管(701)垂直于环板(2)设置,中空管(701)的管体由上到下间隔开设通孔(702),所述中空管(701)的上端固定安装微型轴承(703),所述微型轴承(703)的外圈与中空管(701)的内侧壁固定连接,微型轴承(703)的内圈固定插入内螺纹管(704)。

2.根据权利要求1所述的一种易清洁的硅片研磨台,其特征在于,所述研磨台(1)的空腔底部围绕环板(2)的轴线开设槽孔(8),所述环板(2)的下侧面围绕轴线开设与槽孔(8)位置对应的环形槽(9),每个所述的槽孔(8)内安装滚珠(10),滚珠(10)与环形槽(9)的槽底接触。

3.根据权利要求1所述的一种易清洁的硅片研磨台,其特征在于,所述环板(2)的外侧开设环形导向槽(11),所述研磨台(1)的空腔侧壁凸出设有稳定片(12),稳定片(12)插入环形导向槽(11)的内部。

4.根据权利要求1所述的一种易清洁的硅片研磨台,其特征在于,所述环板(2)的上侧面围绕轴线垂直设置立柱,所有的所述立柱的上端与中空管(701)的外侧壁共同固定密封环板(13),密封环板(13)与研磨台(1)的空腔腔口契合接触。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1