技术总结
本实用新型涉及一种易清洁的硅片研磨台，包括研磨台，所述研磨台的内部开设空腔，空腔内安装环板，所述环板的内侧壁围绕轴线设置齿块，所述研磨台的底部嵌入安装电机，电机的转轴伸入空腔的内部，且转轴的端部固定套设齿轮，所述齿轮与齿块啮合接触，所述环板上垂直设有管道连接装置，所述管道连接装置包括中空管、通孔、微型轴承和内螺纹管，所述中空管垂直于环板设置。本实用新型结构合理，使用方便，主要是对研磨台进行内部结构的改进，将研磨台的边侧开设空腔，安装可以旋转的环板，借助环板上的内螺纹管螺纹安装吹风管或者喷淋管，进而对研磨台进行灰、屑吹离或者喷淋清洗，提高了研磨台的清洁效率。
技术研发人员：胡林宝
受保护的技术使用者：浙江游星电子科技有限公司
技术研发日：2017.11.30
技术公布日：2018.08.21