技术特征：
技术总结
本发明涉及一种操作用于将液态金属供给至在真空腔室中的蒸发器设备的装置的方法，其中，供给管从适于容纳液态金属的容器延伸至蒸发器设备，且电磁泵设置在供给管中，且阀设置在供给管中并在电磁泵和蒸发器设备之间。至少局部气体可透过的电磁泵用于该方法中，该电磁泵包封在压力控制罩中，其中，电磁泵和压力控制罩控制成使得蒸发器设备和供给管的填充和排出能够在不影响真空腔室中的真空压力的情况下完成。
技术研发人员：E·策斯特贝尔根;C·科芒德尔;R·J·斯尼耶德斯;E·P·M·巴克;P·W·哈泽勒特;D·A·哈密尔顿;S·J·威狄斯;T·D·凯泽
受保护的技术使用者：塔塔钢铁荷兰科技有限责任公司
技术研发日：2017.05.01
技术公布日：2018.12.21