技术特征：
技术总结
本发明属于超光滑玻璃镜片抛光技术领域，具体涉及一种超光滑玻璃镜片多级离子抛光方法。本发明采用高能惰性气体离子(Ar+、Xe+等)束快速刻蚀去除超光滑表面亚表面损伤层中比耳拜层，高能离子束快速刻蚀后不可避免造成玻璃超光滑表面粗糙度的增加和氧化物组份的失氧；为降低高能离子束刻蚀后超光滑表面的粗糙度，采用多级离子抛光方法，通过逐级降低离子束的能量，同时逐渐在离子束中增加氧离子浓度、降低惰性气体离子浓度，使粗糙度降低并使表面失氧的氧化物组份再次氧化，最终实现了在超光滑表面粗糙度变化量极小的情况下，成功去除了比耳拜层，极大减少了超光滑表面亚表面损伤层中的主要污染物和缺陷，有效提高光学元件的光学性能。
技术研发人员：李钱陶;李定;王潺;金天义;熊长新
受保护的技术使用者：华中光电技术研究所（中国船舶重工集团有限公司第七一七研究所）
技术研发日：2018.04.26
技术公布日：2018.11.06