一种掩膜板的制备方法、制备装置及掩膜板与流程

文档序号:15687165发布日期:2018-10-16 21:11阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及蒸镀技术领域,公开一种掩膜板的制备方法、制备装置及掩膜板;其中,掩膜板的制备方法,包括:将掩膜板框架放置于机台的承载面上;提供一按压机构,将所述按压机构的压合面与所述机台的承载面相对,并驱动所述按压机构朝向所述承载面的方向按压。上述掩膜板制备方法中,采用了按压机构对承载面上的掩膜板框架进行按压,可以保证掩膜板框架的平整度、避免掩膜板框架发生褶皱,进而可以保证掩膜板的质量,从而提高蒸镀效果和蒸镀产品的良率。

技术研发人员:赵蓉;张新建;张健;吕守华
受保护的技术使用者:京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
技术研发日:2018.05.24
技术公布日:2018.10.16
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