一种磁力传递杆组件的制作方法

本实用新型涉及磁控溅射镀膜的技术领域，尤其是涉及一种磁力传递杆组件。

背景技术：

磁控溅射镀膜是指将涂层材料做为靶阴极，利用氩离子轰击靶材，产生阴极溅射，把靶材原子溅射到工件上形成沉积层的一种镀膜技术，在镀膜过程中，涂层材料一直保持固态，不形成熔池，节能环保。

目前的双室磁控溅射系统，主要包括并列设置的溅射真空室和进样室，溅射真空室和进样室相通，操作时，先将样品放置到进样室内，在镀膜时，需要将进样室内的样品送入溅射真空室内，对样品进行镀膜操作，为保证溅射真空室的卫生以及真空度需要用到磁力传递杆组件，将进样室内的样品顶入溅射真空室。

现有技术中的磁力传递杆大多是通过法兰固定在进样室外壁上，磁力传递低杆在固定之后位置就无法移动，但是由于不同样品体积不相同，或者 磁力传递杆组件在安装时存在一定的误差，因此可能会出现磁力传递杆无法顶到样品的情况，导致样品传送失败。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供一种磁力传递杆组件，可以实现磁力传递杆位置的调节进而可以保证样品的传递。

本实用新型的上述实用新型目的是通过以下技术方案得以实现的：一种磁力传递杆组件，包括与进样室固定的筒体，所述筒体内滑移设有顶杆，所述筒体外设有驱动顶杆在筒体内滑移的驱动装置，所述筒体端部固定设有连接法兰，所述连接法兰远离筒体的一侧设有与进样室外壁固定的固定法兰，所述连接法兰与固定法兰之间通过波纹管密封连接，所述连接法兰与固定法兰之间设有三根连接杆，所述连接杆的两端分别与连接法兰、固定法兰通过球铰接连接，所述连接杆上设有调节连接杆长度的调节装置。

通过采用上述技术方案：在操作时，当想要移动进样室内的样品的时候，驱动装置驱动顶杆滑动，顶杆伸入进样室内，驱动样品移动，使用时，如发现顶杆位置需要调整，通过调节连接杆的长度，即可实现连接法兰与固定法兰之间角度的调节，由于连接法兰是与筒体固定的，固定法兰是和进样室固定的，进而可以实现顶杆在进样室内位置的调节，保证顶杆能够将样品从进样室内顶出。

本实用新型进一步设置为：所述连接杆由滑杆以及套设在滑杆外的套筒组成，所述调节装置包括设置在滑杆上的外螺纹以及设置在套筒内的内螺纹。

通过采用上述技术方案：当想要调节连接杆的长度的时候，将滑杆固定住，转动套筒，即可实现连接杆长度的调节，结构简单，操作方便。

本实用新型进一步设置为：所述套筒外套设有驱动套筒转动的套环，所述套环外设有六角形外周面。

通过采用上述技术方案：当想要驱动套筒转动的时候，可以将扳手等工具卡在套环外，驱动套环转动，进而驱动套筒转动，操作十分省力。

本实用新型进一步设置为：所述套筒内设有弹簧，所述弹簧一端与滑杆抵接，另一端与套筒抵接。

通过采用上述技术方案：弹簧一端与套筒抵接，另一端与滑杆抵接，弹簧可以使得外螺纹与内螺纹始终处于咬合状态，避免套筒与滑杆在正常状态下出现相对滑动，导致顶杆位置出现变化。

本实用新型进一步设置为：所述套筒外周面上圆周阵列设有若干棘爪，所述套环内周面上设有与棘爪配合的环形槽，所述环形槽的内壁上设有与棘爪啮合的棘齿环。

通过采用上述技术方案：通过设置棘齿环与棘爪，套环与套筒之间单向转动连接，这样在扳手扳动到极限位置的时候，不需要再将扳手从套环上取下，直接回位即可，进一步方便操作套筒转动。

本实用新型进一步设置为：所述套环以及棘齿环为两组且沿套筒长度方向并列设置在套筒上，两个所述棘齿环的棘齿朝向方向相反。

通过采用上述技术方案：这样在操作时，通过转动不同的套环，可以实现套筒的正向转动或者反向转动。

本实用新型进一步设置为：所述驱动装置包括设置在顶杆上远离进样室一端的内磁铁，所述筒体外壁上套设有与内磁铁配合的外磁铁。

通过采用上述技术方案：驱动时，滑动外磁铁，在磁力驱动下，筒体内的内磁铁会跟随外磁铁一起滑动，进而实现顶杆的驱动。

本实用新型进一步设置为：所述筒体外壁上沿筒体长度方向固定设有导杆，所述外磁铁连接有拉杆，所述拉杆上固定有与导杆滑移连接的连接块。

通过采用上述技术方案，在使用时，拉动拉杆，即可驱动外磁铁滑动，并且由于设置了拉杆，操作人员站在进样室的观察窗口，人手也可以够到拉杆，操作人员可以一边观察一边拉动拉杆，进而驱动顶杆滑动。

综上所述，本实用新型的有益技术效果为：

1.通过调节连接杆的长度，即可实现连接法兰与固定法兰之间角度的调节，进而可以实现顶杆在进样室内位置的调节，保证顶杆能够将样品从进样室内顶出；

2.结构简单，套筒转动十分方便，有效的提高生产效率。

附图说明

图1是本实用新型的安装示意图。

图2是筒体装配剖视图。

图3是本实用新型的筒体端部结构示意图。

图4是本实用新型的连接杆装配剖视图。

图5是本实用新型的套环爆炸示意图。

图中，1、筒体；11、导杆；12、连接法兰；2、顶杆；21、内磁铁；3、外磁铁；31、拉杆；4、连接块；5、连接杆；51、套筒；511、棘爪；52、滑杆；6、弹簧；7、套环；71、环形槽；711、棘齿环；8、波纹管；9、进样室；10、固定法兰。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

参照图1以及图2，为本实用新型公开的一种磁力传递杆组件，包括与进样室9固定的筒体1，筒体1一端开口一端封闭，筒体1开口一端朝向进样室9，在筒体1内滑移设有顶杆2，筒体1外设有驱动顶杆2在筒体1内滑移的驱动装置，将驱动装置设置在筒体1外，这样可以保证筒体1的密封性，不会造成进样室9内压力泄露，同时可以避免灰尘等杂质进入到进样室9内，对进样室9内的产品造成污染。使用时，当想要移动进样室9内的样品的时候，驱动装置驱动顶杆2滑动，顶杆2伸入进样室9内，驱动样品移动。

参照图1以及图2本实施例中，驱动装置包括设置在顶杆2上远离进样室9一端的内磁铁21，内磁铁21呈圆柱状设置，筒体1外壁上套设有与内磁铁21配合的外磁铁3，外磁铁3呈环形设置，驱动时，滑动外磁铁3，在磁力驱动下，筒体1内的内磁铁21会跟随外磁铁3一起滑动，进而实现顶杆2的驱动。为方便移动外磁铁3，外磁铁3的内径略大于筒体1外径，这样外磁铁3不与筒体1外壁接触，并且在筒体1的外壁上沿筒体1的长度方向固定设有导杆11，外磁铁3连接有拉杆31，拉杆31与外磁铁3固定连接并且平行于导杆11设置，在拉杆31上固定有与导杆11滑移连接的连接块4。在使用时，拉动拉杆31，即可驱动外磁铁3滑动，并且由于设置了拉杆31，操作人员站在进样室9的观察窗口，人手也可以够到拉杆31，操作人员可以一边观察一边拉动拉杆31，进而驱动顶杆2滑动。

参照图3，在筒体1的开口端固定设有连接法兰12，在连接法兰12远离筒体1的一侧连接有与进样室9外壁固定的固定法兰10，连接法兰12与固定法兰10之间设有波纹管8，波纹管8的两端分别与连接法兰12、固定法兰10密封连接，在连接法兰12与固定法兰10之间设有三根连接杆5，连接杆5实现连接法兰12与固定法兰10之间的相对位置的固定，连接杆5均匀分布在波纹管8四周，连接杆5的两端分别与连接法兰12、固定法兰10通过球铰接连接，在连接杆5上设有调节连接杆5长度的调节装置，在使用时，通过调节连接杆5的长度，即可实现连接法兰12与固定法兰10之间角度的调节，由于连接法兰12是与筒体1固定的，固定法兰10是和进样室9固定的，进而可以实现顶杆2在进样室9内位置的调节，保证顶杆2能够将样品从进样室9内顶出。

参照图4以及图5，连接杆5由滑杆52以及套设在滑杆52外的套筒51组成，调节装置包括设置在滑杆52上的外螺纹以及设置在套筒51内的内螺纹，在操作的时候，转动套筒51，由于套筒51与滑杆52之间是通过螺纹连接的，因此即可调节连接杆5两端的距离，螺纹连接具有自锁功能，不需要增加额外的锁定结构，简化了了结构，操作方便。

参照图4以及图5，为避免套筒51与滑杆52之间在不受外力的情况下出现相对滑动，在套筒51内设有弹簧6，弹簧6始终处于压缩状态，弹簧6一端与套筒51抵接，另一端与滑杆52抵接，弹簧6可以使得外螺纹与内螺纹始终处于咬合状态，避免套筒51与滑杆52在正常状态下出现相对滑动，导致顶杆2位置出现变化。

参照图4以及图5，为方便转动套筒51，在套筒51外套设有驱动套筒51转动的套环7，套环7外设有六角形外周面，在操作时，可将扳手等工具卡在套环7外，扳手作用在套环7上，驱动套环7转动，进而驱动套筒51转动，操作十分省力。由于操作时，当扳手转动到极限位置时，需要将扳手取下重新卡在套环7外，这样操作十分繁琐，在套筒51的外周面上圆周阵列设有若干棘爪511，棘爪511转动设置在套筒51外周面上，棘爪511背部与套筒51外壁之间设有压簧，在套环7内周面上设有与棘爪511配合的环形槽71，环形槽71的宽度大于或者等于棘爪511的宽度，在环形槽71的内壁上设有与棘爪511啮合的棘齿环711，棘齿环711的齿设置在内周面上，压簧驱动棘爪511与棘齿环711抵接，通过设置棘齿环711与棘爪511，套环7与套筒51之间单向转动连接，这样在扳手扳动到极限位置的时候，不需要再将扳手从套环7上取下，直接回位即可，进一步方便操作套筒51转动。

本实施例中，参照图4以及图5，套环7以及棘齿环711为两组且沿套筒51长度方向并列设置在套筒51上，两个棘齿环711的棘齿朝向方向相反，这样两个套环7均是由套筒51单向转动连接的，并且两个套环7的转动方向不同，可以实现套筒51的正向驱动或者反向驱动。

本实施例的实施原理为：在使用时，当想要调节顶杆2在进样室9内的位置时，将扳手卡在对应套环7上，往复转动扳手，驱动套筒51转动（同时保证滑杆52相对套筒51固定），调节对应连接杆5的长度，进而调节连接法兰12以及固定法兰10之间的距离，即可实现筒体1与进样室9之间位置的调节，实现顶杆2伸入筒体1内的位置的调节。

本具体实施方式的实施例均为本实用新型的较佳实施例，并非依此限制本实用新型的保护范围，故：凡依本实用新型的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本实用新型的保护范围之内。