1.一种阴极支座装置,用于将溅射靶材密封安装于磁控溅射镀膜设备的外壁,其特征在于,包括:
法兰板,所述法兰板具有第一面和第二面,所述第二面用于通过螺栓密封安装于磁控溅射镀膜设备的外壁,所述第二面与所述外壁间设有绝缘板;所述第一面设有导电件;
阴极体,与所述第二面间隔所述绝缘板设置,所述阴极体为U形形状,所述阴极体与所述第二面间通过带有绝缘套的导电螺栓固定并电连接;所述阴极体的远离所述第二面的端面设有铜片,所述铜片与所述端面间设有冷却水腔,所述冷却水腔通过穿设于所述阴极体的进出水管连通外部,所述铜片上用于安装靶材。
2.根据权利要求1所述的阴极支座装置,其特征在于,所述导电件与所述法兰板间绝缘设置。
3.根据权利要求1所述的阴极支座装置,其特征在于,所述导电件为铜条、铝条及以铜铝为基材进行镀银、镀金、表面石墨化处理的条状导体。
4.根据权利要求1或3所述的阴极支座装置,其特征在于,所述导电件为封闭环形。
5.根据权利要求1所述的阴极支座装置,其特征在于,所述导电螺栓为铜制成。
6.根据权利要求1所述的阴极支座装置,其特征在于,所述铜片与所述端面密封并导电连接。
7.根据权利要求1所述的阴极支座装置,其特征在于,所述导电螺栓与所述阴极体连接,并通过绝缘套与所述法兰板电位绝缘。
8.根据权利要求1所述的阴极支座装置,其特征在于,所述阴极体采用铝材一体化制成。
9.根据权利要求8所述的阴极支座装置,其特征在于,所述阴极体的表面制备有绝缘层。
10.根据权利要求8或9所述的阴极支座装置,其特征在于,所述阴极体的表面的绝缘层为经过阳极氧化或微弧氧化工艺制备的氧化铝层。