研磨材料再生方法与流程

文档序号:18300191发布日期:2019-07-31 10:00阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明从包含使用过的研磨材料的研磨材料浆料中得到高纯度的再生研磨材料。研磨材料是选自氧化铈、金刚石、氮化硼、碳化硅、氧化铝、氧化铝‑氧化锆以及氧化锆中的至少一种,且经由下述工序A~D从研磨材料浆料中再生研磨材料,即,回收包含使用过的研磨材料的研磨材料浆料的浆料回收工序A;向该回收的研磨材料浆料添加含有碱土金属元素的金属盐,使研磨材料凝聚,从母液分离该研磨材料并进行浓缩的分离浓缩工序B;将分离浓缩了的研磨材料固液分离并回收的研磨材料回收工序C以及用磁性过滤器过滤去除混入研磨材料浆料的金属元素粒子的过滤工序D,并且工序D在工序A~C中任意一项工序之后或者与工序B或工序C同时进行。

技术研发人员:永井佑树;前泽明弘;乾智惠
受保护的技术使用者:柯尼卡美能达株式会社
技术研发日:2013.07.24
技术公布日:2019.07.30
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