片材纵置运输小车及气相沉积设备的制作方法

文档序号:19160822发布日期:2019-11-16 01:20阅读:来源:国知局

技术特征:

1.片材纵置运输小车,其特征在于:包括高窄且纵置易倾倒的车主体(1),所述车主体(1)的至少一侧面设置有至少一组限位块(2)和锁扣(3),一组所述限位块(2)和锁扣(3)与车主体(1)配合形成一可纵向放置片材并将片材限位于车主体(1)上的空间;所述车主体(1)纵置于一排导向滚轮(4)上且由导向滚轮(4)驱动移动,一排所述导向滚轮(4)可转动地设置于轮座(5)上且连接驱动它们自转的动力机构(6),所述车主体(1)通过磁力保持摆正状态。

2.根据权利要求1所述的片材纵置运输小车,其特征在于:所述限位块(2)设置于所述车主体(1)的一侧面凹设的限位平面(11)处,其包括三角台(21)及连接部(22),所述三角台(21)的斜面(211)朝向限位平面(11)且其上顶角(212)及内顶角(213)为圆角,所述内顶角(213)与所述限位平面(11)保持间隙。

3.根据权利要求2所述的片材纵置运输小车,其特征在于:所述车主体(1)的侧面处凹设有延伸到所述限位平面(11)处的取放槽(14),所述取放槽(14)的深度大于限位平面(14)的深度,且所述取放槽(14)位于限位块(2)的上方。

4.根据权利要求1所述的片材纵置运输小车,其特征在于:所述锁扣(3)包括位置固定的连接销(310),所述连接销(310)的外周共轴套设有一可相对其自转的旋转座(320),所述旋转座(320)和连接销(310)之间设置有使旋转座在受外力旋转后复位的扭簧(330),所述旋转座(320)上设置有一延伸到其外部的水平挡板(340),所述水平挡板(340)的前端垂设一可相对水平挡板(340)上下移动的限位柱(350)。

5.根据权利要求1所述的片材纵置运输小车,其特征在于:所述锁扣(3)包括一套体(31),所述套体(31)内插接且限位有浮动销(32),所述浮动销(32)的内端面和套体(31)的内限位台之间设置有弹簧(33),所述浮动销(32)的头端常态下延伸到所述套体(31)外且伸入到所述限位平面(11)内并与限位平面保持间隙。

6.根据权利要求1所述的片材纵置运输小车,其特征在于:所述车主体(1)的底部具有滑动轴(15),所述滑动轴(15)限位于所述导向滚轮(4)的圆柱面的限位槽(41)中。

7.根据权利要求1所述的片材纵置运输小车,其特征在于:所述动力机构(6)包括动力源,所述动力源连接一导向滚轮(4)所在的转轴(61),相邻导向滚轮(4)所在的转轴(61)通过皮带与皮带轮或链条与链轮构成的传动机构连接。

8.根据权利要求1-7任一所述的片材纵置运输小车,其特征在于:所述车主体(1)的顶部设置有一排第一磁铁(7),所述车主体(1)的上方悬设有一排与所述第一磁铁(7)的磁极相反的第二磁铁(8)。

9.根据权利要求8所述的片材纵置运输小车,其特征在于:所述第二磁铁(8)设置于一安装条(9)上,所述安装条(9)的两侧分别设置有导向板(10),所述第一磁铁(7)位于两个所述导向板(10)之间,且第一磁铁(7)所在的固定座(20)与两个导向板(10)保持间隙。

10.气相沉积设备,其特征在于:包括权利要求1-9任一所述的片材纵置运输小车,所述片材纵置运输小车通电。


技术总结
本发明揭示了片材纵置运输小车及气相沉积设备,其中运输小车包括高窄且纵置易倾倒的车主体,车主体上设置有至少一组限位块和锁扣,一组限位块和锁扣与车主体配合形成一可纵向放置片材并将片材限位于车主体上的空间;车主体纵置于一排导向滚轮上且由导向滚轮驱动移动,一排导向滚轮可转动地设置于轮座上且连接驱动它们自转的动力机构,车主体通过磁力吸附保持摆正状态。本方案通过高窄的车体结构以及磁力吸附保持小车的摆正状态,既能够减少设备腔体的水平空间,又能够充分缩短阀门的开闭时间及打开宽度,从而可以有效的提高加工效率及避免不同腔体之间的气体交换,还可以减少掉落到工件上的杂质和灰尘等,有利于改善沉积质量。

技术研发人员:钱涛;钱政羽;吴其涛
受保护的技术使用者:星弧涂层新材料科技(苏州)股份有限公司
技术研发日:2019.08.16
技术公布日:2019.11.15
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