技术特征：
1.一种太阳能电池的制作方法，用于提高所述太阳能电池及其组件的抗水性能，其特征在于，包括：提供基片；将所述基片传输至工艺腔室；对所述基片进行镀膜，以形成具有多晶结构的透明导电薄膜。2.根据权利要求1所述的太阳能电池的制作方法，其特征在于，所述将所述基片传输至工艺腔室，包括：将所述基片由外部传输至预处理腔室；对所述预处理腔室进行除水处理；将所述基片由所述预处理腔室传输至所述工艺腔室，使得所述工艺腔内的水分含量小于第一预设含量。3.根据权利要求2所述的太阳能电池的制作方法，其特征在于，所述将所述基片由所述预处理腔室传输至所述工艺腔室，使得所述工艺腔内的水分含量小于第一预设含量，包括：向所述工艺腔室内通入水汽，且控制工艺腔室内的水分含量小于第一预设含量。4.根据权利要求2、3所述的太阳能电池的制作方法，其特征在于，所述第一预设含量为1e-6mbar，所述对所述基片进行镀膜，以形成具有多晶结构的透明导电薄膜，包括：基于掺锡氧化铟靶材于所述基片表面形成所述透明导电薄膜，所述掺锡氧化铟靶材中氧化铟与氧化锡的含量比为80:20～99:1。5.根据权利要求1所述的太阳能电池的制作方法，其特征在于，所述将所述基片传输至工艺腔室，包括：将所述基片由外部传输至加热后的工艺腔室；将所述工艺腔室加热至100～180℃；所述对所述基片进行镀膜，以形成具有多晶结构的透明导电薄膜，包括：基于掺锡氧化铟靶材于所述基片表面形成所述透明导电薄膜，所述掺锡氧化铟靶材中氧化铟与氧化锡的含量比为80:20～99:1。6.根据权利要求1所述的太阳能电池的制作方法，其特征在于，所述对所述基片进行镀膜，以形成具有多晶结构的透明导电薄膜，包括：基于掺锡氧化铟靶材于所述基片表面形成所述透明导电薄膜，所述掺锡氧化铟靶材中氧化铟与氧化锡的含量比为97:3～99:1。7.根据权利要求1-6任一项所述的太阳能电池的制作方法，其特征在于，所述基片包括衬底以及分别形成在所述衬底两侧的p型半导体层以及n型半导体层，所述透明导电薄膜形成在所述p型半导体层的远离所述衬底的表面和/或所述n型半导体层的远离所述衬底的表面。8.一种太阳能电池的制作设备，其特征在于，用于实现权利要求1-7任一项所述的太阳能电池的制作方法。9.根据权利要求8所述的太阳能电池的制作设备，其特征在于，所述制作设备还包括：预处理腔室，用于接收由外部传输的基片，除水装置，用于对所述预处理腔室进行除水处理；第一质谱仪，用于测量所述预处理腔室内的水分含量；
第一控制装置，电连接所述第一质谱仪以及除水装置，用于根据所述第一质谱仪的测量结果控制所述除水装置开闭；所述工艺腔室，用于接收由所述预处理腔室传输的基片，对所述基片进行镀膜，以形成具有多晶结构的透明导电薄膜。10.根据权利要求9所述的太阳能电池的制作设备，其特征在于，所述制作设备还包括：第二质谱仪，用于测量所述工艺腔室内的水分含量；通水装置，用于向所述工艺腔室内通入水汽；第二控制装置，连接所述第二质谱仪以及所述通水装置，用于根据所述第二质谱仪的测量结果控制所述通水装置开闭。