一种可加热的蜂窝式多通道进气结构的制作方法

本实用新型涉及cvd设备进气结构技术领域，具体涉及一种可加热的蜂窝式多通道进气结构。

背景技术：

cvd是chemicalvapordeposition的简称，是指高温下的气相反应，例如，金属卤化物、有机金属、碳氢化合物等的热分解，氢还原或使它的混合气体在高温下发生化学反应以析出金属、氧化物、碳化物等无机材料的方法。

碳化硅(sic)材料是继第一代半导体材料硅(si)和第二代半导体(砷化镓gaas)后的第三代宽禁带半导体材料。碳化硅晶体结构具有同质多型的特点，其基本结构是si-c的四面体结构，属于密堆积结构。其性能具有更高的禁带宽度、高临界击穿电场、高导热率、高载流子饱和漂移速度等优越的性能，在半导体照明、电力电子器件、激光器、探测器等领域应用中蕴含着巨大的前景。

在所有的化学气象沉积领域，对反应气体的控制尤为重要，精准度高、均匀性高的反应室气体氛围对工艺沉浸薄膜的质量参数起关键作用，拥有良好的可重复性和灵活的可调节性是量产型工艺和科研型工艺的重要条件。

现有cvd设备的进气通道多为方形，边角均为90°，当气体以不同角度触碰边角时，容易产生涡流，不利于气体输送的稳定性；由于需要输送多种不同的气体，需要设置多个相互独立的进气通道，若进气通道采用圆形，弧形区域的密合度低。

技术实现要素：

针对现有技术中的缺陷，本实用新型提供一种可加热的蜂窝式多通道进气结构，以避免采用传统的方形进气通道在边角处产生涡流，提高气体输送的稳定性。

本实用新型具体采用以下技术方案：

本实用新型的可加热的蜂窝式多通道进气结构，包括多个进气管单元，进气管单元的截面为正六边形，相邻进气管单元的外壁相互连接形成蜂窝状。

本实用新型作为进一步优选的：所有进气管单元的同一侧设置有密封盖，密封盖贯穿设置有与进气管单元内部相互连通的支路管，至少一个支路管形成一个支路单元，每一支路单元均连通有集中管。

本实用新型作为进一步优选的：集中管配设有气体流量计。

本实用新型作为进一步优选的：进气管单元内壁开设有多个放置槽，放置槽内设置有加热装置。

本实用新型作为进一步优选的：放置槽与进气管单元的中心线相互平行。

本实用新型作为进一步优选的：加热装置为电加热丝。

本实用新型作为进一步优选的：进气管单元的外壁设置有隔热层。

本实用新型作为进一步优选的：隔热层采用二氧化锆、三氧化二钇或氧化铝制成。

本实用新型的有益效果体现在：

1、本实用新型的进风通道采用截面形状为正六边形的进气管单元，进气管单元的边角为120°，相比于边角为90°的方形，降低涡流产生的几率。同时相邻的进气管单元连接没有空隙，保证了密合度高，减少空间的浪费。

2、进气管单元的进气端设置有密封盖，密封盖设置有支路管，任意数量的支路管形成一个支路单元，即可将任意数量的进气管单元分隔为多组，通过集中管将同一种气体送入反应设备，使进入反应设备的气体能从不同高度位置进入，能够起到不同气体加速混合的作用。集中管配设有气体流量计，能够根据所沉积膜厚的结果来进行气体流量配比的优化，调整出合适的工艺配方。每一进气管单元均设置有电加热丝，每个进气管单元内部流通的气体受热更为均匀，不同的预热温度，可调节该区域的工艺反应速率，同样可调整沉积膜厚的均匀性。

3、进气管单元的外壁镀有隔热层，隔热层采用二氧化锆、三氧化二钇或氧化铝制成，配合蜂窝结构的高隔热特性，最大程度的降低了不同组之间的温度影响。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。在所有附图中，类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识。附图中，各元件或部分并不一定按照实际的比例绘制。

图1为本实用新型的立体结构示意图；

图2为图1所示端面示意图；

图3为进气管单元的立体示意图；

图4为进气通道是方形时产生涡流的示意图；

图5为进气通道是圆形时密合度低的示意图；

附图中，1-进气管单元，2-密封盖，3-支路管，4-集中管，5-气体流量计，6-放置槽。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，因此只作为示例，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。

需要注意的是，除非另有说明，本申请使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域技术人员所理解的通常意义。

实施例1

本实用新型的可加热的蜂窝式多通道进气结构，包括多个进气管单元1，进气管单元1的截面为正六边形，相邻进气管单元1的外壁相互连接形成蜂窝状。

采用上述技术方案后：本实用新型的进风通道采用截面形状为正六边形的进气管单元1，进气管单元1的边角为120°，相比于边角为90°的方形，降低涡流产生的几率。同时相邻的进气管单元1连接没有空隙，保证了密合度高，减少空间的浪费。

实施例2

本实施例是在实施例1的基础上作的进一步优化如下：所有进气管单元1的同一侧设置有密封盖2，密封盖2贯穿设置有与进气管单元1内部相互连通的支路管3，至少一个支路管3形成一个支路单元，每一支路单元均连通有集中管4。集中管4配设有气体流量计5。进气管单元1内壁开设有多个放置槽6，放置槽6内设置有加热装置。放置槽6与进气管单元1的中心线相互平行。加热装置为电加热丝。

采用上述技术方案后：进气管单元1的进气端设置有密封盖2，密封盖2设置有支路管3，任意数量的支路管3形成一个支路单元，即可将任意数量的进气管单元1分隔为多组，通过集中管4将同一种气体送入反应设备，使进入反应设备的气体能从不同高度位置进入，能够起到不同气体加速混合的作用。集中管4配设有气体流量计5，能够根据所沉积膜厚的结果来进行气体流量配比的优化，调整出合适的工艺配方。每一进气管单元1均设置有电加热丝，每个进气管单元1内部流通的气体受热更为均匀，不同的预热温度，可调节该区域的工艺反应速率，同样可调整沉积膜厚的均匀性。

实施例3

本实施例是在实施例1的基础上作的进一步优化如下：进气管单元1的外壁设置有隔热层。隔热层采用二氧化锆、三氧化二钇或氧化铝制成。

采用上述技术方案后：进气管单元1的外壁镀有隔热层，隔热层采用二氧化锆、三氧化二钇或氧化铝制成，配合蜂窝结构的高隔热特性，最大程度的降低了不同组之间的温度影响。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求和说明书的范围当中。