一种多曲面阀杆的镀膜装置的制作方法

文档序号:23292021发布日期:2020-12-15 08:31阅读:115来源:国知局
一种多曲面阀杆的镀膜装置的制作方法

本实用新型涉及镀膜技术领域,具体为一种多曲面阀杆的镀膜装置。



背景技术:

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,mbe分子束外延,pld激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。需要镀膜的被称为基片,镀的材料被称为靶材。基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。对于溅射类镀膜,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且最终沉积在基片表面,经历成膜过程,最终形成薄膜,阀杆是阀门重要部件,用于传动,上接执行机构或者手柄,下面直接带动阀芯移动或转动,以实现阀门开关或者调节作用。

阀杆在生产过程中,为保证阀杆的使用寿命,通常会在阀杆的表面进行镀膜,而传统的镀膜方式阀杆静止不动,由于一些曲面的阀杆形状不一,容易造成镀膜不均匀的现象。因此我们对此做出改进,提出一种多曲面阀杆的镀膜装置。



技术实现要素:

为了解决上述技术问题,本实用新型提供了如下的技术方案:

本实用新型一种多曲面阀杆的镀膜装置,包括真空镀膜机,所述真空镀膜机内中部垂直安装有转轴,且转轴的一端转动连接在真空镀膜机的底部,所述转轴的另一端垂直连接有安装板,且转轴外侧垂直连接有多个支撑杆,所述支撑杆设置在转轴上靠近安装板的一端,且支撑杆上远离转轴的一端分别固定连接有定位杆,所述定位杆上靠近支撑杆的一端固定连接有定位夹块,且定位杆的另一端活动连接有移动夹块,所述移动夹块通过滑块滑动连接在定位杆上,所述安装板上安装有推杆电机,且推杆电机推杆上连接有推板,所述推板与滑块之间分别通过调节杆连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案,所述调节杆的一端转动连接在推板的侧壁上,且调节杆的另一端均与滑块的表面转动连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案,所述滑块滑动设置在定位杆的表面,所述定位杆上开设有移动槽,且移动夹块的一端活动穿过移动槽,并固定连接在滑块的底部。

作为本实用新型的一种优选技术方案,所述真空镀膜机的侧壁上分别开设有动力滑轨,且动力滑轨上安装有提升板,所述提升板上相互靠近的一侧面上分别安装有离子放射装置。

作为本实用新型的一种优选技术方案,所述真空镀膜机的底部安装有旋转电机,且转轴连接在真空镀膜机上的一端活动穿过真空镀膜机,并固定连接在旋转电机的输出端。

作为本实用新型的一种优选技术方案,所述推板为圆形结构,且调节杆分别等距离连接在推板的表面。

作为本实用新型的一种优选技术方案,所述定位夹块和移动夹块上相互靠近的一侧面上分别安装有橡胶防滑垫。

本实用新型的有益效果是:该种多曲面阀杆的镀膜装置,在真空镀膜机内设置了旋转装置,在镀膜的时候,曲面阀杆能跟随转动,实现多角度的均匀镀膜,而且在真空镀膜机的两侧内壁上设置了具备升降功能的离子放射装置,根据离子放射状的运动轨迹以及旋转装置的转动速度,可以实现多曲面阀杆的均匀镀膜,在旋转装置上设置了可调节的夹具,能及时的对曲面阀杆进行固定和放松。

附图说明

图1是本实用新型一种多曲面阀杆的镀膜装置的结构示意图;

图2是本实用新型一种多曲面阀杆的镀膜装置推板俯视的结构示意图。

图中:1、真空镀膜机;2、提升板;3、离子放射装置;4、转轴;5、定位杆;6、支撑杆;7、推板;8、推杆电机;9、调节杆;10、移动夹块;11、定位夹块;12、旋转电机;13、安装板。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明,应当理解,此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。

实施例:如图1-2所示,本实用新型一种多曲面阀杆的镀膜装置,包括真空镀膜机1,真空镀膜机1内中部垂直安装有转轴4,且转轴4的一端转动连接在真空镀膜机1的底部,转轴4的另一端垂直连接有安装板13,且转轴4外侧垂直连接有多个支撑杆6,支撑杆6设置在转轴4上靠近安装板13的一端,且支撑杆6上远离转轴4的一端分别固定连接有定位杆5,定位杆5上靠近支撑杆6的一端固定连接有定位夹块11,且定位杆5的另一端活动连接有移动夹块10,移动夹块10通过滑块14滑动连接在定位杆5上,安装板13上安装有推杆电机8,且推杆电机8推杆上连接有推板7,推板7与滑块14之间分别通过调节杆9连接。

其中,调节杆9的一端转动连接在推板7的侧壁上,且调节杆9的另一端均与滑块14的表面转动连接,调节杆9可由推板7带动整体移动。

其中,滑块14滑动设置在定位杆5的表面,定位杆5上开设有移动槽,且移动夹块10的一端活动穿过移动槽,并固定连接在滑块14的底部,滑块14与移动夹块10的连接,使得在滑块14移动的时候,移动夹块10也能跟随移动。

其中,真空镀膜机1的侧壁上分别开设有动力滑轨,且动力滑轨上安装有提升板2,提升板2上相互靠近的一侧面上分别安装有离子放射装置3,离子放射装置3能在真空镀膜机1内上下的移动。

其中,真空镀膜机1的底部安装有旋转电机12,且转轴4连接在真空镀膜机1上的一端活动穿过真空镀膜机1,并固定连接在旋转电机12的输出端,旋转电机12带动转轴4转动,从而阀杆在真空镀膜机1内旋转。

其中,推板7为圆形结构,且调节杆9分别等距离连接在推板7的表面,调节杆9的等距离设置,使得推板7在推动调节杆9移动的时候,各方受力均匀。

其中,定位夹块11和移动夹块10上相互靠近的一侧面上分别安装有橡胶防滑垫,定位夹块11与移动夹块10之间能更加稳定的将阀杆夹紧。

工作原理:使用本装置时,打开真空镀膜机1,将阀杆分别置于定位夹块11和移动夹块10之间,启动推杆电机8,使推杆电机8带动推板7下移,在推板7下移的时候,定位夹块11和移动夹块10之间的距离增加,方便放置阀杆,将阀杆放置完成后,再次启动推杆电机8上移,推板7上移,从而外侧的调节杆9的一端上移,从而另一端限制在定位杆5内滑动,从而带动移动夹块10靠近定位夹块11,将置于二者之间的阀杆夹紧,夹紧后,可启动底部的旋转电机12带动转轴4转动,在转动的时候,离子放射装置3可通过提升板2在真空镀膜机1的两侧内壁上移动,离子放射装置3能对阀杆的不同位置进行镀膜。

最后应说明的是:在本实用新型的描述中,需要说明的是,术语“竖直”、“上”、“下”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中,还需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

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