一种真空镀膜设备用冷却机构的制作方法

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，具体为一种真空镀膜设备用冷却机构。

背景技术：

真空镀膜是指在真空环境下，将某种金属或金属化合物以气相的形式沉积到材料表面(通常是非金属材料)，主要思路是分成蒸发和溅射两种，当利用真空腔体在基片上对某种材料进行真空镀膜时，往往由于沉积反应或工艺要，需要对基片进行高温加热，加热过程导致真空腔体内部温度升高，长时间处于过热状态不仅会影响镀膜产品的合格率，还会对镀膜腔内机械结构造成损害，目前常采用的冷却方式为在镀膜室外设冷却管，在冷却管内通过冷却水进行冷却，这种冷却方式冷却速度慢，冷却效果不理想，而且市场上的冷却管通常设置成连续的“s”型，当冷却水路较长时，进水处与出水处两侧的冷却水温差较大，从而造成不同区域的冷却效果不同。

为了解决目前市场上所存在的缺点，急需改善真空镀膜设备用冷却机构的技术，能够更好的保证真空镀膜设备的安全作业，促进真空镀膜行业的发展。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜设备用冷却机构，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种真空镀膜设备用冷却机构，包括外壳体、内壳体和出水管，所述外壳体与内壳体之间形成有空隙，外壳体下方固定有底座，外壳体上设置有出风口和进风口，外壳体侧面连接有支撑架，且支撑架上安装有风机，所述内壳体内侧设置有真空镀膜腔，内壳体内部安装有上侧进水管、第一水管、下侧进水管、第二水管和第三水管，所述真空镀膜腔内设置有冷却挡板，冷却挡板前端设置有防脱件，冷却挡板内部设置有进水腔，且进水腔上下两端分别与连通管和第二水管相连通，所述上侧进水管与第一水管相连通，第一水管通过两通阀与第三水管相连，第三水管通过三通阀与第二水管和出水管连接在一起，第三水管与连通管连接处设置有单向阀，所述出水管和第二水管另一端分别连接水槽和下侧进水管，且水槽内部设置有冷却腔，所述冷却腔与制冷机相连通，制冷机两侧均设置有水泵。

优选的，所述外壳体顶面上开设有等间距分布的出风口，外壳体侧面上安装有呈矩阵状分布的进风口，且出风口结构为内大外小，进风口结构为内小外大。

优选的，所述空隙截面呈倒“u”型，空隙连通出风口和进风口，当风机吹风时，风经进风口进入空隙内后从出风口吹出。

优选的，所述内壳体底边中心处设置有下侧进水管，下侧进水管左右两侧交错连接有第二水管，内壳体顶边中部对称设置有两个上侧进水管，左侧上侧进水管左端与第一水管相连，右侧上侧进水管右端与第一水管相连，且第一水管与第二水管相对应。

优选的，所述第三水管上下两端分布安装在两通阀和三通阀上，第三水管下部与连通管相连通。

优选的，所述冷却挡板共设置有两个，冷却挡板底端对称固定在内壳体底板上表面，防脱件截面呈弧形，当镀膜材料加热产生的蒸汽与冷却挡板后形成粉尘，防脱件阻挡粉尘飘散。

优选的，所述制冷机位于外壳体外部前侧，制冷机左侧的水泵与下侧进水管连接在一起，制冷机右侧的水泵与上侧进水管连接在一起。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该真空镀膜设备用冷却机构，结构设置合理，通过设置内外壳体，将冷却水管嵌入内壳体中，提高冷却效果，在外壳体上设置内小外大的进风口和风机，利用节流膨胀原理，增强风冷效果，设置空隙将内外壳体间隔开，具有隔热效果，提高真空镀膜设备安全性，通过设置位于中心处的进水管和与其侧面连接的水管，避免使用呈“s”型的冷却管，使不同区域的水冷效果相同，能够更好的保证真空镀膜设备的安全作业，促进真空镀膜行业的发展。

附图说明

图1为本实用新型结构正视展开示意图；

图2为本实用新型结构侧视示意图；

图3为本实用新型结构下侧进水管与第二水管组合示意图。

图中：1、外壳体；2、内壳体；3、真空镀膜腔；4、上侧进水管；5、空隙；6、出风口；7、支撑架；8、风机；9、冷却挡板；10、第一水管；11、底座；12、出水管；13、进水腔；14、防脱件；15、水槽；16、下侧进水管；17、冷却腔；18、第二水管；19、三通阀；20、单向阀；21、连通管；22、第三水管；23、进风口；24、两通阀；25、制冷机；26、水泵。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1—3，本实用新型提供一种技术方案：一种真空镀膜设备用冷却机构，包括外壳体1、内壳体2和出水管12，外壳体1与内壳体2之间形成有空隙5，外壳体1下方固定有底座11，外壳体1上设置有出风口6和进风口23，外壳体1侧面连接有支撑架7，且支撑架7上安装有风机8，外壳体1顶面上开设有等间距分布的出风口6，外壳体1侧面上安装有呈矩阵状分布的进风口23，且出风口6结构为内大外小，进风口23结构为内小外大，空隙5截面呈倒“u”型，空隙5连通出风口6和进风口23，当风机8吹风时，风经进风口23进入空隙5内后从出风口6吹出，设置空隙5将内外壳体间隔开，具有隔热效果，提高真空镀膜设备安全性，在外壳体1上设置内小外大的进风口23和风机8，利用节流膨胀原理，增强风冷效果，内壳体2内侧设置有真空镀膜腔3，内壳体2内部安装有上侧进水管4、第一水管10、下侧进水管16、第二水管18和第三水管22，结构设置合理，通过设置内、外壳体，将冷却水管嵌入内壳体2中，提高冷却效果，内壳体2底边中心处设置有下侧进水管16，下侧进水管16左右两侧交错连接有第二水管18，内壳体2顶边中部对称设置有两个上侧进水管4，左侧上侧进水管4左端与第一水管10相连，右侧上侧进水管4右端与第一水管10相连，且第一水管10与第二水管18相对应，通过设置位于中心处的进水管和与其侧面连接的水管，避免使用呈“s”型的冷却管，使不同区域的水冷效果相同，真空镀膜腔3内设置有冷却挡板9，冷却挡板9前端设置有防脱件14，冷却挡板9内部设置有进水腔13，且进水腔13上下两端分别与连通管21和第二水管18相连通，冷却挡板9共设置有两个，冷却挡板9底端对称固定在内壳体2底板上表面，防脱件14截面呈弧形，当镀膜材料加热产生的蒸汽与冷却挡板9后形成粉尘，防脱件14阻挡粉尘飘散，上侧进水管4与第一水管10相连通，第一水管10通过两通阀24与第三水管22相连，第三水管22通过三通阀19与第二水管18和出水管12连接在一起，第三水管22与连通管21连接处设置有单向阀20，第三水管22上下两端分布安装在两通阀24和三通阀19上，第三水管22下部与连通管21相连通，出水管12和第二水管18另一端分别连接水槽15和下侧进水管16，且水槽15内部设置有冷却腔17，冷却腔17与制冷机25相连通，制冷机25两侧均设置有水泵26，制冷机25位于外壳体1外部前侧，制冷机25左侧的水泵26与下侧进水管16连接在一起，制冷机25右侧的水泵26与上侧进水管4连接在一起。

工作原理：在使用该真空镀膜设备用冷却机构时，通过水泵26将水槽15内的冷却水分别泵入上下两侧进水管中，冷却水经过上侧进水管4流入第一水管10和第三水管22，对真空镀膜腔3的上面和侧面进行降温冷却，冷却水经过下侧进水管16流过第二水管18，对真空镀膜腔3的底面进行降温冷却，第二水管18中的冷却水进入进水腔13对冷却挡板9降温，冷却水从上端的连通管21经过单向阀20汇入第三水管22，最后冷却水通过出水管12流回水槽15，此时制冷机25向冷却腔17输入冷气，对水槽中的水降温，风机8正对进风口23吹风，风进入空隙5后从出风口6吹出，实现风冷功能，这就是该真空镀膜设备用冷却机构工作的整个过程。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。