具有防护结构的退火炉的制作方法

文档序号:26127130发布日期:2021-08-03 13:12阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种具有防护结构的退火炉,其特征在于包括炉体以及设置在所述炉体内部的加热机构和防护隔离机构,所述防护隔离机构内部具有用于封装母材的退火腔室,所述加热机构设置在所述防护隔离机构的外部并与所述防护隔离机构导热配合;以及,所述防护隔离机构上还设置有可供气体通入的进气口和可供气体导出的出气口,所述进气口能够与供气机构连接配合,从而在所述退火腔体内形成保护气氛。

2.根据权利要求1所述具有防护结构的退火炉,其特征在于:所述防护隔离机构内的退火腔室中还设置有定位机构,所述定位机构至少用于支撑所述母材,且所述定位机构上设置有至少一个用于限制所述母材运动的定位槽。

3.根据权利要求2所述具有防护结构的退火炉,其特征在于:所述母材为棒状母材,所述定位机构包括沿母材的径向方向依次设置的两个以上的定位槽块组,每个定位槽块组包括沿母材的长度方向间隔设置的两个以上的定位槽块,同一定位槽块组中至少一个定位槽块与所述母材的头部相对应,至少一个定位槽块与所述母材的尾部相对应。

4.根据权利要求3所述具有防护结构的退火炉,其特征在于:沿母材的径向方向相邻设置的两个所述定位槽块相互搭接,且多个所述定位槽块的顶部位于同一平面内。

5.根据权利要求4所述具有防护结构的退火炉,其特征在于:沿母材的径向方向相邻设置的两个所述定位槽块中的一者具有沿母材的径向方向设置的一凸伸部,另一者具有一下凹部,所述凸伸部能够嵌入或者搭设在所述下凹部内,且所述凸伸部的尺寸与所述下凹部的尺寸一致。

6.根据权利要求3所述具有防护结构的退火炉,其特征在于:所述定位槽块为耐热、导热部件。

7.根据权利要求6所述具有防护结构的退火炉,其特征在于:所述定位槽块包括石英块、氮化硅块、碳化硅块中的任意一种。

8.根据权利要求2所述具有防护结构的退火炉,其特征在于:所述防护隔离机构包括箱体和箱盖,所述箱盖设置在所述箱体的顶部开口处,所述箱体和箱盖围合形成所述的退火腔室。

9.根据权利要求8所述具有防护结构的退火炉,其特征在于:所述箱体包括至少一底板和多个侧板,所述多个侧板和至少一底板连接围合形成所述的箱体,所述定位机构设置在所述底板上,其中,所述侧板上开设有所述的进气口,且至少所述多个侧板之间的连接处和/或侧板与底板的连接处和/或侧板与所述箱盖之间还具有缝隙,所述缝隙作为所述的出气口。

10.根据权利要求9所述具有防护结构的退火炉,其特征在于:所述侧板与底板和/或箱盖通过榫接的方式连接。

11.根据权利要求9所述具有防护结构的退火炉,其特征在于:所述底板、侧板和箱盖均为耐热、导热部件。

12.根据权利要求11所述具有防护结构的退火炉,其特征在于:所述底板、侧板和箱盖包括石英部件、氮化硅部件、碳化硅部件中的任意一种。

13.根据权利要求9所述具有防护结构的退火炉,其特征在于:所述箱体还包括设置在所述侧板外侧和底板底部的导热支撑部件。

14.根据权利要求13所述具有防护结构的退火炉,其特征在于:所述导热支撑部件包括导热金属板,设置在所述侧板外侧的导热金属板和设置在底板底部的导热金属板固定连接并相互垂直。

15.根据权利要求8所述具有防护结构的退火炉,其特征在于:所述箱体上还设置有导气管,所述导气管分别与所述供气机构和所述的进气口连接,其中,所述导气管呈螺旋状环绕设置在所述箱体外部。


技术总结
本实用新型公开了一种具有防护结构的退火炉,其包括炉体以及设置在所述炉体内部的加热机构和防护隔离机构,所述防护隔离机构内部具有用于封装母材的退火腔室,所述加热机构设置在所述防护隔离机构的外部并与所述防护隔离机构与导热配合;以及,所述防护隔离机构上还设置有可供气体通入的进气口和可供气体导出的出气口,所述进气口能够与供气机构连接配合,从而在所述退火腔体内形成保护气氛。本实用新型提供的一种具有防护结构的退火炉,将母材与加热机构分隔,从而有效阻碍了杂质元素对热处理的母材的污染渠道。

技术研发人员:杨明财;丁小海;宗冰;蔡延国;陈聪;刘军
受保护的技术使用者:亚洲硅业(青海)股份有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司
技术研发日:2020.09.30
技术公布日:2021.08.03
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