技术特征：
1.一种磨刀板的自动供应装置，其特征在于，所述自动供应装置包括竖直固定于立板上的滑轨，至少4个依次连接的机械臂安装于所述滑轨上并能够沿滑轨上下运动，相邻的所述机械臂之间通过齿轮连接以实现相对旋转，位于末端的机械臂底部固定有吸附组件，所述吸附组件包括呈阵列排布的多个吸盘，所述吸盘连接有真空管路从而实现对磨刀板的吸附。2.根据权利要求1所述的自动供应装置，其特征在于，所述立板上还固定有磨刀板供应盒。3.根据权利要求2所述的自动供应装置，其特征在于，所述磨刀板供应盒能够放置20-100块磨刀板。4.根据权利要求2所述的自动供应装置，其特征在于，磨刀板安装平台位于所述机械臂的下方，所述磨刀板供应盒及磨刀板安装平台均为水平设置。5.根据权利要求4所述的自动供应装置，其特征在于，所述磨刀板安装平台与所述滑轨的连线垂直于所述立板。6.根据权利要求4所述的自动供应装置，其特征在于，所述磨刀板安装平台安装于晶圆放置平台的侧面。7.根据权利要求1所述的自动供应装置，其特征在于，所述滑轨的两端放置有限位块，以防止所述机械臂滑脱。8.根据权利要求1所述的自动供应装置，其特征在于，所述机械臂通过电机驱动齿轮旋转。9.根据权利要求1所述的自动供应装置，其特征在于，相邻所述机械臂之间能够相对旋转的角度为90-270
°
。10.根据权利要求1所述的自动供应装置，其特征在于，所述滑轨的行程范围大于50mm。
技术总结
本实用新型提供一种磨刀板的自动供应装置，该自动供应装置包含竖直设置的滑轨及多个机械臂，整个自动供应装置仅采用一条滑轨，多个机械臂之间通过齿轮连接以实现相对旋转，机械臂之间仅通过旋转运动实现对磨刀板的吸附抓取，整个过程无需伸缩运动以最大限度地减少运动空间，从而很好地适应狭窄空间，呈阵列排布的多个吸盘能够提升对磨刀板吸附时的稳定性及水平度。通过示教对吸附组件的吸附抓取点位及放置点位进行精确定位，避免了人工放置时多次调整的过程，同时节省大量操作时间，对机台作业效率有明显提升。台作业效率有明显提升。台作业效率有明显提升。
技术研发人员：邵辉
受保护的技术使用者：广州粤芯半导体技术有限公司
技术研发日：2022.03.09
技术公布日：2022/6/30