一侧方且沿着输送路径配置，由此支撑载体25的在输送路径上被输送的另一部分且引导该另一部分。
[0062]此外，第一杆状构件310和第二杆状构件320中的每一个均被配置成定位于间隙Kl侧的一侧位于定位于间隙Kl侧的一侧的相反侧的另一侧的上方的倾斜状态。应当注意，在示例性实施方式中，相对于水平方向的倾斜角度是45°。
[0063]应当注意，在示例性实施方式中，设置形成具有槽的V形的第一块体BKl和第二块体BK2，该槽具有90°的开口角。之后，在示例性实施方式中，第一杆状构件310载置于形成于第一块体BKl的槽中，而第二杆状构件320载置于形成于第二块体BK2的槽中。此外，第一杆状构件310通过螺栓BL紧固于第一块体BKl，且第二杆状构件320也通过螺栓BL紧固于第二块体BK2。
[0064]接着，将描述下侧载体引导件210L。
[0065]下侧载体引导件210L也设置有具有矩形截面形状的第一杆状构件410和第二杆状构件420。这里，在下侧载体引导件21L中，在第一杆状构件410与第二杆状构件420之间也形成有间隙K2。应当注意，第一杆状构件410和第二杆状构件420中的每一个均不像第一杆状构件310和第二杆状构件320那样倾斜，而是被配置成沿水平方向布置的状态。
[0066]将参照图5进一步描述制造装置200的结构。
[0067]在示例性实施方式中，在下侧载体引导件210L的下方(在形成于第一杆状构件410和第二杆状构件420之间的间隙K2的下方)，设置利用磁性输送载体25的载体输送辊500。
[0068]图6是示出从侧方观察的载体输送辊500的图。应当注意，图5还示出了载体25。
[0069]载体输送辊500是圆柱状或者圆筒状构件，且如图所示，以螺旋形式配置的磁极51和52形成于载体输送棍500的周面上。
[0070]通过将形成于载体输送辊500的周面上的螺旋部分割成较小的部分且磁化每个部分来构成磁极51和52。此外，在示例性实施方式中，如图6所示，以前-后错位的方式配置两个螺旋磁极51和52。在两个磁极51和52中，磁极51形成S极,且磁极52形成N极。
[0071]另一方面，尽管以上省略了图示和描述，但是磁体35也被设置于载体25侧(以下，称为“载体侧磁体35”)。这里，载体侧磁体35被设置于载体25的下缘部。此外，载体侧磁体35是具有长方体形状的小磁体，且多个载体侧磁体35以预定的间隔沿着载体25的下缘配置。
[0072]此外，载体侧磁体35以磁极出现在其顶面和底面的方式配置。此外，载体侧磁体35以在定位载体输送棍500的一侧的磁极在载体输送棍500的轴向上交替出现的方式配置。此外，载体侧磁体35的配置间隔对应于设置于下方的载体输送辊500上的两个磁极51和52的配置间隔。
[0073]在不例性实施方式中，载体侧磁体35磁性稱合于下方的载体输送棍500上的磁极51和52。具体地，N极的载体侧磁体35耦合于载体输送辊500上的S极的磁极51，且S极的载体侧磁体35耦合于N极的磁极52。这种条件下，当载体输送辊500转动时，载体25沿着载体输送棍500的轴向被输送。
[0074]图7是示出从载体25的输送方向上的上游侧观察的通过上侧载体引导件210U和下侧载体引导件21L引导的载体25的图。
[0075]应当注意，在图7中，示出了设置的五个上辊对91中的一个上辊对91 ;然而，其余的四个上辊对91也处于图7示出的相同的状态。此外，关于下辊对92，示出了设置的四个下辊对92中的一个下辊对92 ;然而，其余的三个下辊对92也处于图7示出的相同的状态。
[0076]如图7所不,在不例性实施方式中，上棍对91载置于上侧载体引导件210U,且载体25由上侧载体引导件210U从下方支撑。在这种条件下，载体25被朝向下游侧输送；然而，此时，设置上辊对91的部分由上侧载体引导件210U引导。这里，此时，设置于上辊对91的两个转动体911A和912A转动，因此，载体25被朝向下游侧平滑地输送。
[0077]此外，示例性实施方式具有载体25压抵上侧载体引导件210U的构造，因此，在示例性实施方式中载体25难以在高度方向上产生移位。为了具体描述，在例性实施方式中，重力作用于载体25。此外,通过在载体输送棍500 (参见图6)与载体25之间互相作用的磁力，载体25被向下拉。结果，载体25压抵上侧载体引导件210U，由此使得载体25将难以在高度方向上移位。
[0078]此外，在示例性实施方式中，由于使得载体25压抵上侧载体引导件210U，如图中的箭头7A所示，从下方对载体25施加负载。
[0079]此外，在不例性实施方式中，由于设置于上侧载体引导件210U的第一杆状构件310和第二杆状构件320如上述那样相对于水平方向倾斜45°，因此，如图7所示，作用于水平方向上的第一水平方向负载7B和第二水平方向负载7C施加于载体25。
[0080]进一步描述，在示例性实施方式中，第一杆状构件310的从下方支撑载体25的支撑面(由图中的附图标记7X表示的表面，以下称为“第一支撑面7X”)相对于水平方向倾斜45° ;因此，作用于水平方向上的第一水平方向负载7B已被施加于载体25。
[0081 ] 此外，第二杆状构件320的从下方支撑载体25的支撑面(由图中的附图标记7Y表示的表面，以下称为“第二支撑面7Y”)相对于水平方向倾斜45° ;因此，作用于水平方向上的第二水平方向负载7C已被施加于载体25。
[0082]进一步描述，在示例性实施方式中，由于第一支撑面7X朝向设置第二支撑面7Y的一侧下降地倾斜设置，且第二支撑面7Y朝向设置第一支撑面7X的一侧下降地倾斜设置，因此，施加第一水平方向负载7B和第二水平方向负载7C。
[0083]接着，在这种情况下，载体25通过第一水平方向负载7B压抵第二杆状构件320，且载体25通过第二水平方向负载7C压抵第一杆状构件310。因此，也抑制了载体25在厚度方向上的移位。进一步描述，抑制了载体25在垂直于载体25的输送方向的方向上的输送。
[0084]此外，如图7所示，示例性实施方式具有如下构造:其中，载体25的重心G定位于上辊对91的下方，且载体25的重心G定位于载体25被上侧载体引导件210U支撑的位置的下方。
[0085]在这种情况下，与载体25的重心G定位于载体25被上侧载体引导件210U支撑的位置的上方的构造的情况相比，能够抑制载体25的上部侧中的振动。因而，在这种情况下，也能够抑制基板安装部27 (参见图3)中的振动。
[0086]接着，将参照图7描述下辊对92和下侧载体引导件210L。
[0087]这里，尽管以上省略了描述，但是如图7所示，下辊对92也设置有第一辊状构件921和第二辊状构件922。这里，第一辊状构件921和第二辊状构件922配置于载体25的宽度方向上的彼此不同的位置。进一步描述，第一辊状构件921和第二辊状构件922配置于载体25的输送方向上的彼此不同的位置。进一步描述，第一辊状构件921定位于载体25的输送方向上的上游侧，而第二辊状构件922定位于载体25的输送方向上的下游侧。
[0088]此外，第一辊状构件921由圆盘状(圆筒状)的转动体921A和穿过转动体921A的转动轴921B构成。第二辊状构件922也由圆盘状(圆筒状)的转动体922A和穿过转动体922A的转动轴922B构成。
[0089]这里，在下辊对92中，不同于上辊对91，转动轴92IB和转动轴922B沿着铅垂方向(图中的上下方向)配置。此外，在下辊对92中，第一辊状构件921移向载体25的一侧表面侦仪图中的右侧表面侧)，而第二辊状构件922移向载体25的另一侧表面侧(图中的左侧表面侧)。
[0090]在示例性实施方式中，载体25不仅在设置上辊对91的部分处被引导，还在下辊对92所在的部分处被引导。这里，下辊对92中的引导通过与第一杆状构件410接触的第一辊状构件921的转动体921A和与第二杆状构件420接触的第二辊状构件922的转动体922A进行。因此，在示例性实施方式中，在设置上辊对91的位置的下方，载体25在厚度方向上的移位也被抑制。
[0091]图8和9是示出了载体25和载体引导件210的比较例的图。应当注意，图8示出了从载体25的输送方向上的上游侧观察状态下的载体25和载体引导件210，图9示出了从上方观察状态下的载体25和载体引导件210。
[0092]如图8所示，在比较例中，凹部25A形成于载体25的一个侧表面侧。此外，在凹部25A中，设置从下方支撑载体25的第一转动