表面性能调节剂、填料、辅助剂、颜料，充分搅拌混合均匀，成为含磨粒的混合物；
(6)将步骤(5)制成的混合物倒入步骤(3)所安装好的刚性层光固化模具(见图2)内，并充分充满模具内表面与弹性层之间的空隙；
(7)将步骤(6)的模具及抛光辊一起安装到固结磨料光固化机上；
(8)开机进行光固化；
(9)待光固化机停止运行后，等待5分钟，取出光固化好的抛光辊刚性层，即可使用； 实例14:设计制造一种Roll-to-Roll化学机械抛光机用固结磨料抛光辊的刚性层，用于精抛工序，刚性层厚度1.5mm ;该固结磨料抛光辊直径300mm，宽度为600mm，如图1所示。
[0060]拟配制100g的混合物:
(1)准备若干玻璃器皿及搅拌器，
(2)分别称量40g粒径3.5 μ m的碳化娃磨料、1g粒径3.5 μ m的金刚石磨料，420g改性环氧丙烯酸脂，370g 二缩三羟甲基丙烷四丙烯酸酯，60g 2-羟基-2-甲基-1-苯基丙酮，20g聚二甲基硅油、1g改性聚硅氧烷，5g白炭黑、5g桐油，20g 2，6_ 二叔丁基对甲苯酚，28g滑石粉，2g氧化铬绿。
[0061](3)将刚性层光固化模具(见图2)安装在已光固化好弹性层(3)的抛光辊上(见图1);
(4)调整光固化机的固化参数:调整抛光辊轴驱动电机转速为50r/min、模具上表面距光源20mm、回转工作台电机转速为50r/min、定时器设置5分钟；
(5)将称量好的420g改性环氧丙烯酸脂倒入搅拌器内，然后倒入40g粒径3.5 μπι的碳化硅磨料、1g粒径3.5 μπι的金刚石磨料，搅拌均匀，再倒入活性稀释剂、光引发剂、促进剂、表面性能调节剂、填料、辅助剂、颜料，充分搅拌混合均匀，成为含磨粒的混合物；
(6)将步骤(5)制成的混合物倒入步骤(3)所安装好的刚性层光固化模具(见图2)内，并充分充满模具内表面与弹性层之间的空隙；
(7)将步骤(6)的模具及抛光辊一起安装到固结磨料光固化机上；
(8)开机进行光固化；
(9)待光固化机停止运行后，等待5分钟，取出光固化好的抛光辊刚性层，即可使用； 实例15:设计制造一种Roll-to-Roll化学机械抛光机用固结磨料抛光辊的刚性层，用于精抛工序，刚性层厚度1.5mm ;该固结磨料抛光辊直径300mm，宽度为600mm，如图1所示。
[0062]拟配制100g的混合物:
(1)准备若干玻璃器皿及搅拌器，
(2)分别称量5g粒径0.05 μπι的金刚石磨料，410g改性环氧丙稀酸脂，410g 二季戊四醇五丙烯酸酯，70g 2，4，6-三甲基苯甲酰基-二苯基氧化膦，20g聚二甲基硅油、20g改性聚硅氧烷，5g聚丙烯蜡，25g 2，6-二叔丁基对甲苯酚，15g滑石粉、18g白炭黑，2g永固紫RL(PV23)。
[0063](3 )将刚性层光固化模具(见图2 )安装在已光固化好弹性层(3 )的抛光辊上(见图1);
(4)调整光固化机的固化参数:调整抛光辊轴驱动电机转速为50r/min、模具上表面距光源20mm、回转工作台电机转速为50r/min、定时器设置5分钟；
(5)将称量好的410g改性环氧丙烯酸脂倒入搅拌器内，然后倒入5g粒径0.05 μ m的金刚石磨料，搅拌均匀，再倒入活性稀释剂、光引发剂、促进剂、表面性能调节剂、填料、辅助剂、颜料，充分搅拌混合均匀，成为含磨粒的混合物；
(6)将步骤(5)制成的混合物倒入步骤(3)所安装好的刚性层光固化模具(见图2)内，并充分充满模具内表面与弹性层之间的空隙；
(7)将步骤(6)的模具及抛光辊一起安装到固结磨料光固化机上；
(8)开机进行光固化；
(9)待光固化机停止运行后，等待5分钟，取出光固化好的抛光辊刚性层，即可使用； 当刚性层光固化好后，取下抛光辊，卸下刚性层光固化模具(见图2)。固结磨料抛光辊便制造出来了。将制造好的固结磨料抛光辊安装到Roll-to-Roll化学机械抛光机上，根据调整好的抛光参数，便可开机进行化学机械抛光了。
[0064]应当理解的是，对本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换，而所有这些改进和变换都应属于本发明所附权利要求的保护范围。
【主权项】
1.一种Roll-to-Roll化学机械抛光机用固结磨料抛光辊的刚性层，其特征在于:其组分与重量百分比的比例如下: 磨料0.5%~10%， 光固化树脂5%?45%， 活性稀释剂5%?41%， 光引发剂4%?7%， 促进剂0.05%?5%， 表面性能调节剂0.05%?3%， 辅助剂0.05%~5%， 填料1%~4%， 颜料0.02%。2.根据权利要求1所述的一种Roll-to-Roll化学机械抛光机用固结磨料抛光辊的刚性层，其特征在于:所述的磨料为白刚玉微粉、碳化硅微粉、二氧化铈微粉或金刚石微粉中的一种或二种混合物，这些微粉的粒径是50nm~56 μπι。3.根据权利要求1所述的一种Roll-to-Roll化学机械抛光机用固结磨料抛光辊的刚性层，其特征在于:所述的光固化树脂为改性环氧丙烯酸脂、官能度大于3的聚氨酯丙烯酸酯、官能度大于3的聚酯丙烯酸酯中的一种或两种的混合物。4.根据权利要求1所述的一种Roll-to-Roll化学机械抛光机用固结磨料抛光辊的刚性层，其特征在于:所述的活性稀释剂为季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二缩三羟甲基丙烷四丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯中的一种或两种的混合物。5.根据权利要求1所述的一种Roll-to-Roll化学机械抛光机用固结磨料抛光辊的刚性层，其特征在于:所述的光引发剂为2-羟基-2-甲基-1-苯基丙酮、2，4，6-三甲基苯甲酰基-二苯基氧化膦中的一种或两种的混合物。6.根据权利要求1所述的一种Roll-to-Roll化学机械抛光机用固结磨料抛光辊的刚性层，其特征在于:所述的促进剂为聚二甲基硅油、改性聚硅氧烷中的一种或两种的混合物。7.根据权利要求1所述的一种Roll-to-Roll化学机械抛光机用固结磨料抛光辊的刚性层，其特征在于:所述的表面性能调节剂为硬脂酸铝、桐油、聚乙烯蜡、聚丙烯蜡中的一种或两种的混合物。8.根据权利要求1所述的一种Roll-to-Roll化学机械抛光机用固结磨料抛光辊的刚性层，其特征在于:所述的辅助剂为2，6- 二叔丁基对甲苯酚。9.根据权利要求1所述的一种Roll-to-Roll化学机械抛光机用固结磨料抛光辊的刚性层，其特征在于:所述的填料为白炭黑、高岭土、滑石粉、硅藻土中的一种或两种的混合物。10.根据权利要求1所述抛光垫的制备方法，其特征是它包括以下步骤: (1)准备若干玻璃器皿及搅拌器， (2)按一定的质量比例称量好所选磨粒、光固化树脂、活性稀释剂、光引发剂、促进剂、表面性能调节剂、填料、辅助剂、颜料，待用； (3)将刚性层光固化模具安装在已光固化好弹性层的抛光辊上； (4)首先将称量好的光固化树脂倒入搅拌器内，然后倒入磨料，搅拌均匀，再倒入活性稀释剂、光引发剂、促进剂、表面性能调节剂、填料、辅助剂、颜料，充分搅拌混合均匀，成为含磨粒的混合物； (5)将步骤(4)制成的混合物倒入步骤(3)所安装好的刚性层光固化模具内，并充分充满模具内表面与弹性层之间的空隙； (6)将步骤(5)的模具及抛光辊一起安装到固结磨料光固化机上； (7)开机按照如下的光固化机的固化参数:调整抛光棍轴驱动电机转速为50r/min、模具上表面距光源20mm、回转工作台电机转速为50r/min、定时器设置5分钟，进行光固化； (8)待光固化机停止运行后，等待5分钟，取出光固化好的抛光辊，即可使用。
【专利摘要】本发明公开了一种Roll-to-Roll化学机械抛光机用固结磨料抛光辊的刚性层及其制备方法，其组分与重量百分比的比例如下：磨料0.5%~10%，光固化树脂5%～45%，活性稀释剂5%～41%，光引发剂4%～7%，促进剂0.05%～5%，表面性能调节剂0.05%～3%，辅助剂0.05%~5%，填料1%~4%，颜料0.02%。本发明操作过程简单、成本低廉，易于产业化和推广应用，具有广阔的市场前景，经济效益和社会效益显著。
【IPC分类】B24D18/00, B24D3/00
【公开号】CN105150120
【申请号】CN201510554465
【发明人】苏建修, 李勇峰, 王占奎, 姚建国, 张骞, 王雅慧, 郑丽媛, 付成果
【申请人】河南科技学院
【公开日】2015年12月16日
【申请日】2015年9月1日