栗优选为变频动力栗，其工作频率可在一定范围内进行调节，如35-75Hz，通过调节其工作频率，从支管133和动力管133a注入的液体的速度可相应变化，从而实时控制流入和流出内槽12的液体的速度，间接控制涌动幅度。
[0023]为增强循环系统2的储液能力，防止涌动中断，循环系统2还包括连接在出液管22和动力装置23之间的大容量循环箱24。由于电极的显影、蚀刻等过程中会产生沉淀物杂质，本实施例的出液管22的顶端被设置成高出外槽11的底面，使得沉淀物不容易堵塞出液管22。
[0024]同时，进液管21与动力装置23之间还连接有过滤装置25，可以过滤自出液管22流出的液体，进一步避免管道堵塞，该过滤装置25包括粗滤芯25a和细滤芯25b，粗滤芯25a设于靠近出液管22 —端，细滤芯25b设于靠近进液管21 —端，经出液管22流出的液体依次经过粗滤芯25a和细滤芯25b两次过滤后不断形成新鲜液体流入内槽12，液体杂质少。优选地，粗滤芯25a的过滤精度为10 μm，细滤芯25b的过滤精度为1 μπι。
[0025]为方便控制液体在内槽12内的液位和涌动状态，动力装置23与过滤装置25之间还依次连接有控制阀26和压力表27，当需要提升液位使电极产品被浸泡时，开启控制阀26并调节动力装置23功率，直至液位上升至合适位置。
[0026]另外，本实施例还设置有废液排放系统3，内槽12与外槽11的底面隔开一段距离，外槽11的底面和内槽12底部同时连接废液排放系统3，外槽11的底面和内槽12底部与废液排放系统3连接的部分分别设有一个排污阀30，同时循环箱24的底部也与废液排放系统3连接，废液排放系统3的排出口还设有一个总的排污阀30，通过这样的设置，外槽11、内槽12和循环箱24沉淀后的废液经三者底部流出至废液排放系统3，当液体使用到达一定次数后无法再使用时，开启废液排放系统3的所有排污阀30即可将废液排放到中和池，经酸碱中和至中性后排放。
[0027]本发明的电极制作系统并不使用传统的喷头对电极表面喷射化学液，而是将液体浸过电极产品并利用不断循环涌动的液体对电极表面进行比较平和的处理，可以实现显影、蚀刻和脱膜各阶段的制作过程，可以用于极细的铜网格线条(尤其是线宽为1-10μπι)的制作而不易损坏，很好的提高了产品的良率，同时，化学液可循环多次使用，节省了制作成本，不能再使用的化学液还可经过废液排放系统处理后排放，降低了污染。
[0028]以上仅是本申请的【具体实施方式】，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。
【主权项】
1.一种涌动式电极制作系统，其特征在于，包括反应系统(1)和循环系统(2)，所述反应系统⑴包括外槽(11)、设于所述外槽(11)内的内槽(12)和涌动装置(13)，所述循环系统⑵包括穿过所述外槽(11)后连通所述内槽(12)底部的进液管(21)、连通所述外槽(11)底部的出液管(22)以及连接在所述进液管(21)和所述出液管(22)之间的动力装置(23);所述涌动装置(13)设于所述内槽(12)内，包括用于在所述内槽(12)内的液体没过电极后自所述出液管(22) —侧朝所述进液管(21) —侧传送电极的搬运装置(131)。2.根据权利要求1所述的涌动式电极制作系统，其特征在于，所述涌动装置(13)还包括连接所述进液管(21)的输送管(132)，所述输送管(132)竖直设于所述内槽(12)内靠近所述进液管(21)侧且顶端高于所述搬运装置(131)。3.根据权利要求2所述的涌动式电极制作系统，其特征在于，所述涌动装置(13)还包括连接所述输送管(132)并朝所述进液管(21)侧延伸的支管(133)。4.根据权利要求3所述的涌动式电极制作系统，其特征在于，所述支管(133)上连接有至少一根分支的动力管(133a)。5.根据权利要求3所述的涌动式电极制作系统，其特征在于，所述支管(133)的管壁上开设有多个通孔。6.根据权利要求3所述的涌动式电极制作系统，其特征在于，所述支管(133)为多根，间隔地连接在所述输送管(132)的侧壁的多个部位。7.根据权利要求1-6任一所述的涌动式电极制作系统，其特征在于，还包括废液排放系统(3)，所述废液排放系统(3)连接在所述外槽(11)底部。8.根据权利要求7所述的涌动式电极制作系统，其特征在于，所述内槽(12)与所述外槽(11)的底面间隔设置，所述外槽(11)的底面和所述内槽(12)底部同时连接所述废液排放系统⑶。9.根据权利要求7所述的涌动式电极制作系统，其特征在于，所述循环系统(2)还包括连接在所述出液管(22)和所述动力装置(23)之间的循环箱(24)。10.根据权利要求9所述的涌动式电极制作系统，其特征在于，所述循环箱(24)的底部与所述废液排放系统(3)连接。
【专利摘要】本发明公开了一种涌动式电极制作系统，包括反应系统和循环系统，所述反应系统包括外槽、设于所述外槽内的内槽和涌动装置，所述循环系统包括穿过所述外槽后连通所述内槽底部的进液管、连通外槽底部的出液管以及连接在所述进液管和所述出液管之间的动力装置；所述涌动装置设于所述内槽内，包括用于在所述内槽内的液体没过电极后自所述出液管一侧朝所述进液管一侧传送电极的搬运装置。本发明的电极制作系统并不使用传统的喷头对电极表面喷射化学液，而是将液体浸过电极产品并利用不断循环涌动的液体对电极表面进行比较平和的处理，可以实现显影、蚀刻和脱膜各阶段的制作过程，可以用于极细的铜网格线条的制作而不易损坏，很好的提高了产品的良率。
【IPC分类】C23F1/08
【公开号】CN105386054
【申请号】CN201510895108
【发明人】赵宗轩, 陶少勋
【申请人】深圳市博世知识产权运营有限公司
【公开日】2016年3月9日
【申请日】2015年12月8日