应用日益广泛。
[0057]如图4所示，IGBT基板可以装在模具卡槽里，形成一个模组，然后把几个模组排在模组套11里，如图5所示，模组套11有承载金属液的盆口 17，并且，盆口 17上具有盆口开口 18，如图5所示，并且，盆口开口 18与模组连通。这样，当金属液从坩祸22底壁上的开口221流下时，可流入盆口 17，接着可从盆口开口 18流入模组，完成渗金属工作，从而可以让金属液完全渗入IGBT基板，无气孔，解决了成品密度均匀的问题，同时让金属液渗过IGBT基板到模具内成型，让成品的散热面积加大，提高成品散热性能。
[0058]下面结合图1-图4描述根据本发明具体实施例的基板渗金属设备100的工作过程，为了描述清楚，以在IGBT基板中渗入金属铝为例进行示意性说明。
[0059]首先，将装有模组的模组套11放在高温加热炉内加热至800°C以上，同时将铝块也放在电阻炉内加热，将铝块加热至熔融状态。操作滑盖驱动件4，利用滑盖5封堵坩祸22的底壁上的开口 221。
[0060]然后，将进料阀62打开，并将铝液倒入漏斗63，铝液会由于重力的作用沿进料通道61流入坩祸22，打开第一加热装置23，对坩祸22进行加热，使铝液保持熔融状态，将进料阀62关闭。此时，动板13处于打开状态，真空阀7和充气阀8都处于关闭状态，如图2所示。
[0061]接着，利用专用高温上下料机将加热到800°C以上的模组套11放置到动板13上，利用油压机将动板13上升到第一位置，动板13上装有模组的模组套11会被送到仓室31内，且下封板14与真空压力仓3接触，将仓室31密封。同时，模组套11用第二加热装置32继续加热，使其保温。此时，下封板14的上表面的密封圈会紧贴真空压力仓3的下沿，仓室31被密封，如图3所示。
[0062]其次，打开真空阀7，用真空阀7对密闭的仓室31抽真空，待抽到仓室31内的压力低于20pa，关闭真空阀7，停止抽真空。此时，模组套11内的气体和融于铝液的气体几乎全都被抽走。控制滑盖驱动件4将滑盖5水平移动，打开坩祸22的底壁上的开口 221，铝液通过开口 221流到模组套11内盖住模组，然后关闭第一加热装置23和第二加热装置32。
[0063]最后打开充气阀8，往密闭仓室31内充入氮气，使仓室31内的压力在5~8MPa之间，并保压10~20min，让铝液充分地渗入IGBT基板里，并通过IGBT基板到模具里成型，等模组套11的温度降到500°C后，泄掉密闭仓室31内的气体，将气压降到和外界一致的气压，控制油压机，使动板13回到第二位置，取出模组套11，待冷却后取出产品，完成IGBT基板的渗铝作业。
[0064]综上所述，根据本发明实施例的基板渗金属设备100，通过将模组套11设在移动组件10上，利用油压机驱动动板13在第一位置和第二位置之间移动，以将模组套11移入或移出真空压力仓3，并通过滑盖驱动件4驱动滑盖5打开或关闭坩祸22底壁上的开口221，利用第一加热装置23对坩祸22进行加热，同时，利用第二加热装置32对模组套11进行加热，并将第一加热装置23和第二加热装置32设为电磁感应加热线圈，通过进料阀62控制漏斗63限定出的进料通道61，利用真空阀7和充气阀8对仓室31内的压力进行控制，使产品性能在一定程度上得到保证，并利用限位柱15对移动组件10进行限位，避免动板13在向第一位置移动时过度移位，同时模组套11和铝块是在外面高温加热炉里加热，可以批量加热，从而不仅安全性好，效率高，而且成本低廉，生产的产品性能稳定。
[0065]在本说明书的描述中，参考术语“ 一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
[0066]尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。
【主权项】
1.一种基板渗金属设备，其特征在于，包括: 基座； 上板，所述上板设在所述基座上，所述上板上设有顶部敞开的容纳腔，所述容纳腔内设有坩祸和用于对所述坩祸进行加热的第一加热装置，所述坩祸的底壁设有开口 ； 真空压力仓，所述真空压力仓设在所述上板的下表面上，所述真空压力仓内限定出仓室，所述仓室内设有第二加热装置，所述仓室与所述容纳腔连通； 滑盖驱动件和用于打开或关闭所述开口的滑盖，所述滑盖驱动件与所述滑盖相连以驱动所述滑盖水平移动地设在所述上板内； 盖板，所述盖板设在所述上板上以封盖所述容纳腔，所述盖板上设有进料通道和用于打开或关闭所述进料通道的进料阀； 真空阀和充气阀，所述真空阀设在所述盖板或者所述上板上且与所述容纳腔连通，所述充气阀设在所述盖板或者所述上板上且与所述容纳腔连通； 驱动器，所述驱动器设在所述基座上； 移动组件，所述移动组件在第一位置和第二位置之间可上下移动地设在所述基座上且位于所述真空压力仓的下方，所述移动组件与所述驱动器相连以由所述驱动器驱动移动；盛放有基板的模组套，所述模组套可拆卸地设在所述移动组件上，在第一位置，所述模组套位于所述仓室内且所述移动组件与所述真空压力仓接触以密封所述仓室，在所述第二位置，所述模组套位于所述仓室的下方；模组套设有承载金属液的盆口，所述盆口上具有盆□开口。2.根据权利要求1所述的基板渗金属设备，其特征在于，所述移动组件包括动板和下封板，所述下封板设在所述动板的上表面上，所述驱动器与所述动板相连，在所述第一位置，所述下封板与所述真空压力仓接触。3.根据权利要求2所述的基板渗金属设备，其特征在于，还包括限位柱，所述限位柱设在所述上板上且位于所述真空压力仓的外侧，所述限位柱的下端位于所述真空压力仓的下表面的下方。4.根据权利要求1所述的基板渗金属设备，其特征在于，所述盖板上设有抽气口和充气口，所述抽气口和所述充气口分别与所述容纳腔连通，所述真空阀和所述充气阀分别与所述抽气口和所述充气口相连。5.根据权利要求1所述的基板渗金属设备，其特征在于，所述第一加热装置为电磁感应线圈。6.根据权利要求1所述的基板渗金属设备，其特征在于，所述第二加热装置为电磁感应线圈。7.根据权利要求1所述的基板渗金属设备，其特征在于，所述驱动器为油压机。8.根据权利要求1所述的基板渗金属设备，其特征在于，所述基板为IGBT基板。9.根据权利要求1所述的基板渗金属设备，其特征在于，所述盖板上设有漏斗以限定出所述进料通道。10.根据权利要求1所述的基板渗金属设备，其特征在于，所述坩祸和所述第一加热装置分别可拆卸地设在所述容纳腔内。
【专利摘要】本实用新型公开了一种基板渗金属设备，包括：基座、上板、真空压力仓、滑盖驱动件、滑盖、盖板、真空阀、充气阀、驱动器、移动组件和模组套；上板设在基座上且设有容纳腔，容纳腔内设有坩埚和第一加热装置，坩埚的底壁设有开口；真空压力仓设在上板的下表面上且内部限定出与容纳腔连通的仓室，仓室内设有第二加热装置；滑盖驱动件与滑盖相连以驱动滑盖水平移动；盖板设在上板上以封盖容纳腔，盖板上设有进料通道和进料阀；真空阀和充气阀设在盖板或者上板上且与容纳腔连通；驱动器设在基座上；移动组件由驱动器驱动在第一位置和第二位置之间可上下移动；模组套内盛放有基板且设在移动组件上。本实用新型的基板渗金属设备效率高，成本低，且性能可靠。
【IPC分类】B22D23/04
【公开号】CN204799926
【申请号】CN201520359681
【发明人】赵树明, 王亚楠, 陈国聪, 王晓华, 陈秋绘, 张昌才, 宫清
【申请人】惠州比亚迪实业有限公司
【公开日】2015年11月25日
【申请日】2015年5月29日