用于大型板材镀膜的工件架的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供一种用于大型板材镀膜的工件架，包括镀膜仓，镀膜仓顶板具有自转架，镀膜仓底部具有靶材架，还包括基片支撑框，基片支撑框的顶部与自转架连接，镀膜仓内壁位于其中部的位置上具有支撑环台，支撑环台上具有两组支撑滑动单元，支撑滑动单元包括支撑块，支撑块的底部具有滚珠，支撑块的上表面具有插槽，插槽的一端与支撑块的侧面贯通，另一端为封闭端，基片支撑框的底部具有与支撑块对应的插条，插条能从插槽的一端插入插槽内。本实用新型的有益效果是支撑结构更加稳定，转动时不会发生晃动，使镀膜效果更好。
【专利说明】
用于大型板材镀膜的工件架
技术领域
[0001]本实用新型涉及一种用于大型板材镀膜的工件架。
【背景技术】
[0002]在现有的技术中真空镀膜时的工件架均悬挂于镀膜腔的顶部，对应大型板材而言，由于工件本身体积和重量都较大，因此在转动过程中工件架容易晃动不稳。
【发明内容】
[0003]本实用新型要解决的问题是提供一种用于大型板材镀膜的工件架，克服了现有技术中的不足。
[0004]为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是:用于大型板材镀膜的工件架，包括镀膜仓，所述镀膜仓顶板具有自转架，所述镀膜仓底部具有靶材架，还包括基片支撑框，所述基片支撑框的顶部与所述自转架连接，所述镀膜仓内壁位于其中部的位置上具有支撑环台，所述支撑环台上具有两组支撑滑动单元，所述支撑滑动单元包括支撑块，所述支撑块的底部具有滚珠，所述支撑块的上表面具有插槽，所述插槽的一端与所述支撑块的侧面贯通，另一端为封闭端，所述基片支撑框的底部具有与所述支撑块对应的插条，所述插条能从所述插槽的一端插入所述插槽内。
[0005]进一步，所述支撑环台的上表面靠近其内沿处具有挡板。
[0006]本实用新型具有的优点和积极效果是:由于采用上述技术方案，支撑结构更加稳定，转动时不会发生晃动，使镀膜效果更好。
【附图说明】
[0007]图1是本实用新型的整体结构不意图；
[0008]图2是图1中A处放大结构示意图；
[0009]图中:1-镀膜仓;2-基片支撑框;3-固定槽;4-支撑环台；5-挡板;6-支撑块;7-滚珠;8-插槽;9-插条。
【具体实施方式】
[0010]如图1、2所示，本实用新型提供一种用于大型板材镀膜的工件架，包括镀膜仓1，镀膜仓I顶板具有自转架(图中未示)，镀膜仓I底部具有靶材架(图中未示)，还包括基片支撑框2，基片支撑框2的顶部与自转架连接，镀膜仓I内壁位于其中部的位置上具有支撑环台4，支撑环台4上具有两组支撑滑动单元，支撑滑动单元包括支撑块6，支撑块6的底部具有滚珠7，支撑块6的上表面具有插槽8，插槽8的一端与支撑块6的侧面贯通，另一端为封闭端，基片支撑框2的底部具有与支撑块6对应的插条9，插条9能从插槽8的一端插入插槽8内。
[0011]使用时，首先将基片安装于基片支撑框2中，基片支撑框2的内侧面具有固定槽3，基片的边缘能插入固定槽3中，支撑块6对基片支撑框2起到支撑的作用，自转架带动基片支撑框2转动的同时，支撑框6随之沿支撑环台4转动，滚珠7的设置减少了支撑块6和支撑环台4之间的摩擦阻力。
[0012]支撑环台4的上表面靠近其内沿处具有挡板5，挡板5将滚珠7限位于支撑环台4上。
[0013]以上对本实用新型的实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。
【主权项】
1.用于大型板材镀膜的工件架，包括镀膜仓，所述镀膜仓顶板具有自转架，所述镀膜仓底部具有靶材架，其特征在于:还包括基片支撑框，所述基片支撑框的顶部与所述自转架连接，所述镀膜仓内壁位于其中部的位置上具有支撑环台，所述支撑环台上具有两组支撑滑动单元，所述支撑滑动单元包括支撑块，所述支撑块的底部具有滚珠，所述支撑块的上表面具有插槽，所述插槽的一端与所述支撑块的侧面贯通，另一端为封闭端，所述基片支撑框的底部具有与所述支撑块对应的插条，所述插条能从所述插槽的一端插入所述插槽内。2.根据权利要求1所述的用于大型板材镀膜的工件架，其特征在于:所述支撑环台的上表面靠近其内沿处具有挡板。
【文档编号】C23C14/50GK205529016SQ201620077133
【公开日】2016年8月31日
【申请日】2016年1月27日
【发明人】李卫东, 同建辉, 孙婧
【申请人】天津众伟科技有限公司