专利名称：超净高纯电子级过氧化氢提纯设备的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种提纯超净高纯过氧化氢的设备。该设备生产的超净高 纯过氧化氢适用于电子工业硅晶片的清洗。
技术背景过氧化氢广泛应用于多个领域，具有漂白、氧化、消毒、杀菌等多种功效。 超净高纯过氧化氢在大规模集成电路和光伏行业用做清洗剂，主要用于芯片和 硅园片的清洗和蚀刻。过氧化氢的纯度和洁净度对电子产品的成品率、电性能 及可靠性有着十分重要影响。目前过氧化氢采用蒽醌法制备，用该种方法获得 的过氧化氢溶液含有诸多的无机离子或化合物杂质，因此过氧化氢溶液需经提 纯处理，以除去杂质，达到要求的高纯度，尤其在电子工业，需要极高纯度的 过氧化氢溶液。目前提纯过氧化氢主要采用树脂吸附法，该方法生产流程复杂， 能源消耗大，产量低，设备占地面积大。应用冷却塔内的循环水进行冷却，受 环境温度影响大，而过氧化氢的不稳定性随着温度的升高成几何倍地增长，因 此难以保证其稳定性，容易促使其分解。传统的离子交换过氧化氢设备全为有 机玻璃装置，靠手工控制操作，出现意外全靠人工处理，处理不当即玻璃四溅， 造成人员伤亡和财产损失，既不安全又不环保。 实用新型内容为了克服现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种节能环保，生 产高稳定性、高纯度、高产量过氧化氢提纯设备。本发明是通过以下技术方案来实现的超净高纯电子级过氧化氢提纯设备， 包括原料槽、中间罐、吸附柱、交换柱、成品槽、废液槽以及泵、阀和连接管， 其中原料槽出口与泵连接，泵与吸附柱进口连接，吸附柱的出口与中间罐入口 连接，中间罐的出口与冷凝器入口连接，冷凝器的出口与吸附柱入口连接，吸 附柱出口与成品槽入口连接，废液槽的入口与吸附柱以及交换柱的出口连接， 其特征在于还包括纯水槽和冷泵，其中纯水槽的出口与吸附柱以及交换柱的入 口连接，冷泵与冷凝器连接。前述超净高纯电子级过氧化氢提纯设备，其特征在于采用PVDF材质，除原 料槽、成品槽以及中间罐外系统其他部分集中于不锈钢箱体中。前述超净高纯电子级过氧化氢提纯设备，其特征在于采用自动化控制系统， 该自动化控制系统采用自动报警系统。本实用新型的有益效果是本实用新型能有效除去过氧化氢中的有机离子 和杂质颗粒，提供可用于电子工业的超净高纯过氧化氢。因采用冷却泵代替传 统的循环水制冷技术，能严格控制冷却温度，既提高生产的安全性，又减少循 环水的用量，节省水资料，达到节能环保。全程电脑控制，采用自动化控制设 备操作系统，保证过氧化氢的高稳定性。自动控制系统采用自动报警系统，有效避免事故的发生，采用新型的PVDF材质，提高了生产的安全性。
图1是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合附图，详细说明本实用新型的具体实施方式
超净高纯电子级过氧化氢提纯设备，包括原料槽l、吸附柱2、中间罐3、交换柱4、成品槽5、废液槽6、纯水槽7、冷泵8以及泵、阀和连接管，原料 槽l出口与泵连接，泵与吸附柱2进口连接，吸附柱的出口与中间罐3入口连 接，中间罐的出口与冷凝器9入口连接，冷凝器的出口与吸附柱2入口连接， 吸附柱出口与成品槽5入口连接，废液槽6的入口与吸附柱2以及交换柱4的 出口连接，其中纯水槽7的出口与吸附柱以及交换柱的入口连接，冷泵8与冷 凝器9连接。原料槽1用来盛放工业级过氧化氢，吸附柱2用于除去有机碳杂 质，经过离子交换柱4的过氧化氢进入成品槽中，装置运行时冷凝器管程中进 的是过氧化氢，而壳程中进的是自来水，与冷凝器相连的冷泵将自来水温降至 l(TC，使流经冷凝器中的过氧化氢在经过离子交换柱之前先将温度降至35"C以 下，大大增加了过氧化氢的稳定性，不合格产品将自动进入废液槽。本实用新 型采用PVDF (聚偏氟乙烯)材质，除具有良好的耐化学腐蚀性、耐高温性、耐 氧化性、耐候性、耐射线辐射性能外，还具有压电性、介电性、热电性等特殊
性能，采用该材质制造的离子交换柱及相关管路，可以避免成品的二次污染。PVDF树脂交换柱承受的压力最大可以达到lMPa。本实用新型全程电脑控制，采用自动化控制设备操作系统，保证了产品质 量的稳定，且自动控制系统采用自动报警系统，避免事故的发生。手动和自动 两套应急处理系统， 一旦压力或温度过高，电脑将从源头做起，自动切断过氧 化氢进料泵，同时打开应急纯水泵，用纯水冷却、稀释和置换过氧化氢，如电 脑失控，操作工人也可以手动切断进料泵。如果过氧化氢反应过于剧烈，自动、 人工都来不及反应，交换柱顶的爆破片将在内压力达到交换柱最大承受值的一 半即0. 45-0. 55MPa时，自动打开泄爆。PVDF材质也可以保证柱体破裂而非四散 飞溅，而系统除原料、成品槽以及中间罐外全部集中于不锈钢箱体中，该箱体 在保证系统高度集成的同时， 一旦发生意外也会挡住所有可能产生的碎屑，最 大程度地保证人员的生命财产安全。以上已以较佳实施例公开了本实用新型，然其并非用以限制本实用新型， 凡采用等同替换或者等效变换方式所获得的技术方案，均落在本实用新型的保 护范围之内。
权利要求1、超净高纯电子级过氧化氢提纯设备，包括原料槽、中间罐、吸附柱、交换柱、成品槽、废液槽以及泵、阀和连接管，其中原料槽出口与泵连接，泵与吸附柱进口连接，吸附柱的出口与中间罐入口连接，中间罐的出口与冷凝器入口连接，冷凝器的出口与吸附柱入口连接，吸附柱出口与成品槽入口连接，废液槽的入口与吸附柱以及交换柱的出口连接，其特征在于还包括纯水槽和冷泵，其中纯水槽的出口与吸附柱以及交换柱的入口连接，冷泵与冷凝器连接。
2、 根据权利要求1所述的超净高纯电子级过氧化氢提纯设备，其特征在于 采用PVDF材质，除原料槽、成品槽以及中间罐外系统其他部分集中于不锈钢箱 体中。
3、 根据权利要求l所述的超净高纯电子级过氧化氢提纯设备，其特征在于 采用自动化控制系统，该自动化控制系统采用自动报警系统。
专利摘要本实用新型涉及一种超净高纯电子级过氧化氢的提纯设备，主要包括原料槽、中间罐、吸附柱、交换柱、成品槽、纯水槽及冷泵，其中原料槽出口与泵连接，泵与吸附柱进口连接，吸附柱的出口与中间罐连接，冷凝器与中间罐及吸附柱连接，吸附柱与成品槽连接，纯水槽的出口与吸附柱以及交换柱的入口连接，冷泵连接在冷凝器两端。本实用新型采用冷却泵代替传统的循环水制冷技术，能严格控制冷却温度，节能环保，保证过氧化氢的高稳定性，全程电脑控制，采用新型的PVDF(聚偏氟乙烯)材质以及自动化控制设备操作系统，有效避免事故的发生，使用安全。
文档编号C01B15/00GK201214627SQ20082003371
公开日2009年4月1日 申请日期2008年4月1日 优先权日2008年4月1日
发明者严增源, 鸣 刘, 袁燕萍, 赵云翰 申请人:苏州市晶协高新电子材料有限公司