三氯氢硅生产中的除硼装置的制作方法

文档序号:3442797阅读:326来源:国知局
专利名称:三氯氢硅生产中的除硼装置的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种三氯氢硅生产中的除硼装置。
背景技术
硼含量是多晶硅原料采购中需要严格控制的指标之一,一般在IOOppb左右。我公 司作为一个多晶硅原料生产商,降低产品中的硼含量是我们的必要工作。在三氯氢硅生产中,主要靠分馏塔分馏前馏分的方式除硼。此方法的前馏分多,耗 费大,且成品中硼含量一般大于200ppb,超过了多晶硅生产商采购的硼含量指标,极大的限 制了三氯氢硅附加值的提高。为此,设计一种除硼设备很有必要。
发明内容本实用新型的目的是针对上述现状,旨在提供一种能有效除硼,且不会引入新的 杂质的三氯氢硅生产中的除硼装置。本实用新型目的的实现方式为,三氯氢硅生产中的除硼装置,由与精馏塔连通的1 号除硼塔和2号除硼塔串联组成,两除硼塔内有Lsc树脂填料层,塔间通过管道连通。使用本实用新型时,分馏好的物料利用位差自动流入本实用新型,经过两除硼塔 内的Lsc树脂除硼后,直接进入成品罐装车外售。本实用新型不需要增加新的动力设备,不会引入新的杂质。采用本实用新型生产 的三氯氢硅经ICP检测,硼含量低于6ppb,一直维持在2 5ppb之间。

附图1为本实用新型结构示意图。
具体实施方式
参照附图,本实用新型由与精馏塔连通的1号除硼塔3和2号除硼塔2串联组成, 两除硼塔内有Lsc树脂填料层1,塔间通过管道连通。本发明在除硼塔内填充Lsc树脂填料层,因Lsc树脂与硼化合物通过配位键可形 成螯合物,从而使得硼化合物能从三氯氢硅中去除。Lsc树脂与硼化合物形成的螯合物结构示意图如下
权利要求1.三氯氢硅生产中的除硼装置,其特征在于由与精馏塔连通的1号除硼塔和2号除硼 塔串联组成,两除硼塔内有Lsc树脂填料层,塔间通过管道连通。
专利摘要本实用新型涉及一种三氯氢硅生产中的除硼装置。由与精馏塔连通的1号除硼塔和2号除硼塔串联组成,两除硼塔内有Lsc树脂填料层,塔间通过管道连通。使用本实用新型时,分馏好的物料利用位差自动流入本实用新型,经过两除硼塔内的Lsc树脂除硼后,直接进入成品罐装车外售。本实用新型不需要增加新的动力设备,不会引入新的杂质。采用本实用新型生产的三氯氢硅经ICP检测,硼含量低于6ppb,一直维持在2~5ppb之间。
文档编号C01B33/107GK201890773SQ201020653729
公开日2011年7月6日 申请日期2010年12月8日 优先权日2010年12月8日
发明者徐智, 杨霖, 石明胜, 罗涛, 闵运豪 申请人:湖北江钻天祥化工有限公司
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