专利名称：一种三氯氢硅尾气加压处理装置的制作方法
技术领域：
一种三氯氢硅尾气加压处理装置技术领域[0001]本实用新型涉及一种加压处理装置，尤其是一种三氯氢硅尾气加压处理装置。
技术背景[0002]三氯氢硅生产的尾气含有氯化氢、氢气、二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅等 成分。目前，回收尾气初步采用加压冷凝回收技术，即将尾气压力通过压缩机提升至 600~700KPa,再经5°C水冷凝器、_35°C盐水冷凝器将尾气中大部分的三氯氢硅、四氯 化硅等物质冷凝下来。加压设备通常采用活塞式压缩机，机前压力一般为0 lOKpa，温 度-10 0°C ；机后压力为600 700 Kpa,温度为120 130°C。三氯氢硅沸点为31.5°C， 在压缩机前低温低压环境下，三氯氢硅尾气在管道内极易被冷凝，并跟随气体进入压缩 机内，该冷凝液主要是三氯氢硅，三氯氢硅遇水极易发生反应生成氯化氢气体和二氧化硅 固体，严重损坏压缩机各零部件，最终导致压缩机停运检修。气体通过压缩机加压后， 温度升至120 130°C，加压后的气体再通过5°C水冷凝器、_35°C盐水冷凝器回收三氯氢 硅、四氯化硅等物质，机后气体太高的温度，被冷凝器冷凝时，必将消耗大量的冷媒。实用新型内容[0003]针对现有技术中的问题，本实用新型提供了一种压缩机机前机后气体换热的三 氯氢硅尾气加压处理装置。[0004]本实用新型的技术方案是一种三氯氢硅尾气加压处理装置，该装置包括缓冲 罐、压缩机、换热器、5°C水冷凝器和-35°C盐水冷凝器，所述缓冲罐的出口和所述压缩 机的进口与一换热器的壳程相连，所述换热器的管程与压缩机的出口和5°C水冷凝器的气 相进口相连，5°C水冷凝器气相出口与-35°C盐水冷凝器气相进口相连。[0005]改造后的三氯氢硅尾气加压处理装置的有益效果在于一方面，不再有三氯氢 硅冷凝液进入压缩机，延长了压缩机的使用寿命。另一方面，降低了后续冷凝的冷媒消^^ ο
[0006]图1为本实用新型的结构示意图。[0007]图中缓冲罐1、压缩机2、换热器3，5°C水冷凝器4，_:35°C盐水冷凝器5。
具体实施方式
[0008]
以下结合附图和实施例对本实用新型进行进一步说明。[0009]如图1所示，一种三氯氢硅尾气加压处理装置，该装置包括缓冲罐1、压缩机 2、换热器3、5°C水冷凝器4和-35°C盐水冷凝器5，所述缓冲罐1的出口和所述压缩机2 的进口与一换热器3的壳程相连，所述换热器3的管程与压缩机2的出口和5°C水冷凝器 4的气相进口相连，5°C水冷凝器气相出口与_35°C盐水冷凝器气相进口相连。[0010] 来自合成和精馏工序的所有尾气先进入缓冲罐1内，尾气在罐内得到缓冲，使 气体流出时更平稳，有利于系统压力稳定和保护压缩机2。气体经换热器3的壳程进入 压缩机2，经过压缩机2加压后，压力和温度同时得到提高，然后经过换热器3的管程气 体温度得到降低，并且压缩机2前的气体温度得到提高。最后，气体经过5°C水冷凝器4 和-35 °C盐水冷凝器5将其中的三氯氢硅和四氯化硅等物质冷凝下来。
权利要求1. 一种三氯氢硅尾气加压处理装置，包括缓冲罐、换热器、压缩机、5°C水冷凝 器、_35°C盐水冷凝器，其特征在于所述缓冲罐的出口和所述压缩机的进口与一换热器 的壳程相连，所述换热器的管程与压缩机的出口和5°C水冷凝器的气相进口相连，5°C水 冷凝器气相出口与-35 °C盐水冷凝器气相进口相连。
专利摘要本实用新型公开了一种三氯氢硅尾气加压处理装置，该装置包括缓冲罐、压缩机、换热器、5℃水冷凝器和-35℃盐水冷凝器，所述缓冲罐的出口和所述压缩机的进口与一换热器的壳程相连，所述换热器的管程与压缩机的出口和5℃水冷凝器的气相进口相连，5℃水冷凝器气相出口与-35℃盐水冷凝器气相进口相连。该装置的有益效果在于一方面，不再有三氯氢硅冷凝液进入压缩机，延长了压缩机的使用寿命。另一方面，降低了后续冷凝的冷媒消耗。
文档编号C01B33/107GK201807210SQ20102065168
公开日2011年4月27日 申请日期2010年12月10日 优先权日2010年12月10日
发明者张世斌, 张丽娜, 王良珣, 秦永红, 赵建桥, 陈建祥 申请人:河南尚宇新能源股份有限公司