专利名称：一种加压还原炉的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种还原炉，尤其是涉及一种加压还原炉。
背景技术：
多晶硅还原炉是生产多晶硅原料的关键设备，同时又是一个高耗能的设备。因此， 还原炉的设计和制造，直接影响到产品的产量、质量和生产成本。中国专利公开了一种多晶硅还原炉(授权公告号CN201962072U)，其包括炉筒、还原炉炉筒冷却水出水口、还原炉炉筒冷却水进水口、尾气排出管、硅芯、电极、底盘、原料气进气管；炉筒包括外壁、内壁以及内壁和外壁之间的中空部分；所谓底盘位于炉筒下方与炉筒固定连接；底盘上设有与炉筒连通的底盘尾气排出口，底盘尾气排出口连接尾气排出管；原料气进气管穿过所述底盘与炉筒连通；硅芯位于炉筒内部，硅芯下方连接电极；还原炉炉筒冷却水出水口位于炉筒的顶部，还原炉炉筒冷却水进水口位于炉筒侧面的下方，且还原炉炉筒冷却水出水口和还原炉炉筒冷却水进水口分别和中空部分连通；炉筒上设有连通内壁与外壁的管道，管道口设有视镜；底盘内设有底盘冷却水管，底盘冷却水管上分别设有底盘冷却水进口和底盘冷却水出口 ；电极内设有电极冷却水管，电极冷却水管上分别设有电极冷却水出水口和电极冷却水进水口 ；尾气排出管外设有尾气排出管冷却夹套，尾气排出管冷却夹套上分别设有尾气排出管夹套冷却水出口和尾气排出管夹套冷却水进口 ；含锆层为ZrCN层或者ZrN层，含钛层为TiN层。但是这种还原炉的夹套筒体都为一体式制造而成，更换维修都较为不便，而如果分体制造则密封性较差。
实用新型内容本实用新型是提供一种加压还原炉，其主要是解决现有技术所存在的还原炉的夹套筒体都为一体式制造而成，更换维修都较为不便，而如果分体制造则密封性较差等的技术问题。本实用新型的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的本实用新型的一种加压还原炉，包括底盘及裙座，所述的底盘及裙座上设有夹套筒体，夹套筒体由上夹套筒体、中夹套筒体、下夹套筒体组成，各夹套筒体之间通过焊接固定在一起，夹套筒体内部设有筒体，夹套筒体与筒体之间设有夹套导流板，夹套筒体连通水进口、水出口，筒体内设有钟罩，底盘及裙座上设有底盘冷却水进口、底盘冷却水出口，底盘及裙座上设有多根电极组件，电极组件上端插入到钟罩内部。夹套筒体由上夹套筒体、中夹套筒体、下夹套筒体组成，其间都由焊接固定，焊接处可以设置断面为锥形的焊缝，然后在焊缝内焊接即可。夹套筒体连通水进口、水出口，水进口、水出口可以连接有接管。电极组件可以是24对。作为优选，所述的钟罩上设有钟罩法兰冷却水进口、钟罩法兰冷却水出口。通过在钟罩法兰冷却水进口内通入冷却水，可以对钟罩内的物料进行冷却。作为优选，所述的底盘及裙座内设有进气环管，进气环管连接喷嘴，喷嘴设在钟罩、内部。进气环管连接多个喷嘴，喷嘴朝向钟罩内部。作为优选，所述的夹套导流板为多层结构，每一层的夹套导流板成“Z”字形。“Z” 字形的夹套导流板成螺旋形分布在夹套筒体内部，这样使得冷却水可以环绕在整个夹套筒体内。作为优选，所述的上夹套筒体、中夹套筒体上都设有视镜，可以随时观察还原炉内的反应情况。因此 ,本实用新型将夹套筒体分为上夹套筒体、中夹套筒体、下夹套筒体,然后通过焊接固定在一起，密封性较好，强度较强，结构简单、合理。
附图I是本实用新型的一种结构示意图；附图2是本实用新型夹套导流板的一种结构示意图；附图3是本实用新型底盘及裙座的管口方位示意图。图中零部件、部位及编号底盘及裙座I、上夹套筒体2、中夹套筒体3、下夹套筒体
4、筒体5、夹套导流板6、水进口 7、水出口 8、钟罩9、底盘冷却水进口 10、底盘冷却水出口
11、电极组件12、钟罩法兰冷却水进口 13、钟罩法兰冷却水出口 14、进气环管15、喷嘴16、视镜17。
具体实施方式
下面通过实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步具体的说明。实施例本例的一种加压还原炉,如图I，有一个底盘及裙座I，底盘及裙座上设有夹套筒体，夹套筒体由上夹套筒体2、中夹套筒体3、下夹套筒体4组成，各夹套筒体之间通过焊接固定在一起，上夹套筒体、中夹套筒体上都设有视镜17。夹套筒体内部设有筒体5， 夹套筒体与筒体之间设有夹套导流板6，如图2，夹套导流板为多层结构，每一层的夹套导流板成“Z”字形。夹套筒体连通水进口 7、水出口 8，筒体内设有钟罩9，钟罩上设有钟罩法兰冷却水进口 13、钟罩法兰冷却水出口 14。如图3，底盘及裙座上设有底盘冷却水进口 10、 底盘冷却水出口 11，底盘及裙座上设有多根电极组件12，电极组件上端插入到钟罩内部。 底盘及裙座内设有进气环管15，进气环管连接喷嘴16，喷嘴设在钟罩9内部。使用时,通过进气环管15进气,喷嘴16向钟罩9内喷射气体，电极组件12通电后通入到钟罩内，即可进行还原反应，然后生产出多晶硅。，以上所述仅为本实用新型的具体实施例，但本实用新型的结构特征并不局限于此，任何本领域的技术人员在本实用新型的领域内，所作的变化或修饰皆涵盖在本实用新型的专利范围之中。
权利要求1.一种加压还原炉，包括底盘及裙座(I)，其特征在于所述的底盘及裙座(I)上设有夹套筒体，夹套筒体由上夹套筒体(2)、中夹套筒体(3)、下夹套筒体(4)组成，各夹套筒体之间通过焊接固定在一起，夹套筒体内部设有筒体(5)，夹套筒体与筒体之间设有夹套导流板(6)，夹套筒体连通水进口(7)、水出口(8)，筒体内设有钟罩(9)，底盘及裙座上设有底盘冷却水进口( 10)、底盘冷却水出口( 11 )，底盘及裙座上设有多根电极组件(12)，电极组件上端插入到钟罩内部。
2.根据权利要求I所述的一种加压还原炉，其特征在于所述的钟罩(9)上设有钟罩法兰冷却水进口(13)、钟罩法兰冷却水出口(14)。
3.根据权利要求I或2所述的一种加压还原炉，其特征在于所述的底盘及裙座(I)内设有进气环管(15 )，进气环管连接喷嘴(16 )，喷嘴设在钟罩(9 )内部。
4.根据权利要求I或2所述的一种加压还原炉，其特征在于所述的夹套导流板(6)为多层结构，每一层的夹套导流板成“Z”字形。
5.根据权利要求I或2所述的一种加压还原炉，其特征在于所述的上夹套筒体(2)、中夹套筒体(3)上都设有视镜(17)。
专利摘要本实用新型涉及一种还原炉，尤其是涉及一种加压还原炉。其主要是解决现有技术所存在的还原炉的夹套筒体都为一体式制造而成，更换维修都较为不便，而如果分体制造则密封性较差等的技术问题。本实用新型包括底盘及裙座(1)，其特征在于所述的底盘及裙座(1)上设有夹套筒体，夹套筒体由上夹套筒体(2)、中夹套筒体(3)、下夹套筒体(4)组成，各夹套筒体之间通过焊接固定在一起，夹套筒体内部设有筒体(5)，夹套筒体与筒体之间设有夹套导流板(6)，夹套筒体连通水进口(7)、水出口(8)，筒体内设有钟罩(9)，底盘及裙座上设有底盘冷却水进口(10)、底盘冷却水出口(11)，底盘及裙座上设有多根电极组件(12)，电极组件上端插入到钟罩内部。
文档编号C01B33/021GK202358924SQ20112047300
公开日2012年8月1日 申请日期2011年11月24日 优先权日2011年11月24日
发明者李元成, 虞晓辉 申请人:杭州赛富特设备有限公司