专利名称：一种三氯氢硅合成气湿法除尘装置的制作方法
技术领域：
一种三氯氢硅合成气湿法除尘装置技术领域[0001]本实用新型涉及一种湿法除尘装置，特别是一种三氯氢硅合成气湿法除尘装置， 属于多晶硅生产技术领域。
背景技术：
[0002]在改良西门子法多晶硅生产系统中，三氯氢硅是重要的生产原料，为了最大限度的利用资源，节约生产成本，减少环境污染，一般都设置有配套的三氯氢硅合成和四氯化硅氢化系统，以合成三氯氢硅和循环利用多晶硅还原工序中产生的四氯化硅。[0003]三氯氢硅合成工序中，在合成塔内流化状态的硅粉和氯化氢反应生成三氯氢硅， 合成塔出来的混合气中含有三氯氢娃，四氯化娃，二氯二氢娃，氯化氢、氢气、少量娃粉及高聚物等组分，合成气首先经过旋风分离器和网袋过滤器可以除去合成气中绝大部分硅粉， 然后再通过湿法除尘装置除去微量硅粉及高聚物。[0004]传统的三氯氢硅合成气湿法除尘装置是通过塔顶冷凝器冷凝下来的氯硅烷液体自然回流至塔内对合成气进行洗涤，由于自然回流量不易控制且受系统波动影响大，固体杂质及高聚物在洗涤塔塔体内不能得到有效洗涤而随上升气流夹带至冷凝器内，在冷凝过程中，杂质不断地残留在冷凝器列管内，堵塞气流通道、减少有效换热面，降低换热效率；堵塞到一定程度后导致系统憋压而不得不减量运行，严重的将堵死冷凝器的列管，导致合成系统被迫停车检修，使得生产系统中存在安全隐患，甚至发生严重的安全事故；不仅如此， 含有固体杂质的合成气体在后续的合成尾气回收工序中，还容易对尾气回收工序的换热器和过滤器等设备造成堵塞，影响整个多晶硅生产系统的正常运转。发明内容[0005]本实用新型的发明目的在于针对上述存在的问题，提供一种新型的三氯氢硅合成气湿法除尘装置，该除尘装置能有效的除去合成气中的固体杂质及高聚物，以降低因冷凝器及管线堵塞停车检修的频率，保证装置长周期、稳定地运行。[0006]本实用新型采用的技术方案如下[0007]—种三氯氢硅合成气湿法除尘装置，包括塔体、塔底的再沸器和塔顶的冷凝器，其特征在于所述冷凝器至塔体的回流管道上，设置有回流槽和回流泵，且所述回流泵位于回流槽的出口。[0008]所述回流管道上还设置有过滤器，且所述过滤器位于回流槽与回流泵之间。[0009]所述过滤器的个数为至少2个，且相互并联。[0010]所述回流管道上还设置有控制阀，且所述控制阀位于回流泵与塔体之间。[0011]本实用新型的三氯氢硅合成气湿法除尘装置，所述塔体上部设置的气体出口管道连接冷凝器，冷凝器还设置有气体出口和冷凝液出口，冷凝液出口通过回流管道回流至塔顶进行合成气的洗涤，合成气的进口设置在塔体的中部，塔体底部的洗涤后带杂质的冷凝液通过再沸器蒸发浓缩后，从塔体底部的残液采出口排出，本实用新型采用在回流管道上3设置回流槽和回流泵的方式建立回流，回流槽能够存储一定量的回流液体，能够为回流泵的提供稳定的液体流量；过滤器能进一步的过滤除去在冷凝液中的固体杂质；两个以上的过滤器则为装置预留了备用的过滤器，以便于生产中对过滤器进行维护和更换清洗；回流泵与塔体间的回流管道上的控制阀能够相当方便的调节回流泵出口的流量，以保证除尘装置工况的稳定调节。[0012]综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是该三氯氢硅合成气湿法除尘装置设计巧妙，回流管道的流量稳定，易于控制，装置操作稳定，使得洗涤效果大大加强，能有效的除去合成气中固体杂质及高聚物，降低因冷凝器及管线堵塞停车检修的频率，保证装置长周期运行，为产品产量及质量提供了保障。
[0013]图I是本实用新型的装置连接示意图。[0014]图中标记1_塔体、2-再沸器、3-冷凝器、4-回流管道、5-回流槽、6-过滤器、7-回流泵、8-控制阀。
具体实施方式
[0015]
以下结合附图，对本实用新型作详细的说明。[0016]为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，
以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。实施例[0017]本实用新型的一种三氯氢硅合成气湿法除尘装置，如图I所示，塔体I的下部设置再沸器2，上部设置冷凝器3，塔体I的中部还设置有进气口，底部设置有残液采出口，所述冷凝器3采用双管程的立式列管冷凝器，上部的封头一侧的进口与塔体I的顶部出气口连接，另一侧的出口与合成尾气干法回收管道连接，冷凝器3底部封头的冷凝液出口设置回流管道4至塔体I顶部，回流管道4上依次设置回流槽5和回流泵7，所述回流槽5和回流泵7间的回流管道4上，设置2个相并列的过滤器6，回流泵7和塔体I间的回流管道4上， 设置控制阀8，所述控制阀8选用气动控制阀，本实用新型的三氯氢硅合成气湿法除尘装置中，所述塔体I、再沸器2、冷凝器3、回流槽5和过滤器6，还包括除尘装置中的其他组件以及连接管道和阀门，均采用不锈钢制成，所述回流泵7采用屏蔽泵。[0018]本实用新型的三氯氢硅合成气湿法除尘装置设计巧妙，回流管道的流量稳定，易于控制，装置操作稳定，使得洗涤效果大大加强，能有效的除去合成气中固体杂质及高聚物，降低因冷凝器及管线堵塞停车检修的频率，保证装置长周期运行，为产品产量及质量提供了保障。[0019]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.一种三氯氢硅合成气湿法除尘装置，包括塔体(I)、塔底的再沸器(2)和塔顶的冷凝器(3)，其特征在于所述冷凝器(3)至塔体(I)的回流管道(4)上，设置有回流槽(5)和回流泵(7)，且所述回流泵(7)位于回流槽(5)的出口。
2.如权利要求I所述的三氯氢硅合成气湿法除尘装置，其特征在于所述回流管道(4)上还设置有过滤器(6 )，且所述过滤器(6 )位于回流槽(5 )与回流泵(7 )之间。
3.如权利要求2所述的三氯氢硅合成气湿法除尘装置，其特征在于所述过滤器(6)的个数为至少2个，且相互并联。
4.如权利要求I或2或3所述的三氯氢硅合成气湿法除尘装置，其特征在于所述回流管道(4 )上还设置有控制阀(8 )，且所述控制阀(8 )位于回流泵(7 )与塔体(I)之间。
专利摘要本实用新型公开了一种湿法除尘装置，特别是一种三氯氢硅合成气湿法除尘装置，属于多晶硅生产技术领域，本实用新型的三氯氢硅合成气湿法除尘装置包括塔体、冷凝器和再沸器，所述冷凝器的回流管道设置有回流槽和回流泵，通过所述回流槽和回流泵为塔体建立稳定的回流，保证回流管道的流量稳定，本除尘装置操作稳定，易于控制，使得洗涤效果大大加强，能有效的除去合成气中固体杂质及高聚物，降低因冷凝器及管线堵塞停车检修的频率，保证装置长周期运行，为产品产量及质量提供了保障。
文档编号C01B33/107GK202808382SQ201220428230
公开日2013年3月20日 申请日期2012年8月28日 优先权日2012年8月28日
发明者罗邦彦 申请人:四川瑞能硅材料有限公司