硅单晶棒回收装置及方法、液氮供应装置与流程

技术特征：

1.一种硅单晶棒回收装置，其特征在于，包括：

一硅单晶棒容器，用于盛装待回收的硅单晶棒；

一盖体，用于盖住并密封所述硅单晶棒容器；

一第一管路，其一端穿过所述盖体与所述硅单晶棒容器连通，另一端与热去离子水装置连接，且在所述第一管路上设置有一第一阀门；

一第二管路，其一端通过所述硅单晶棒容器的侧壁与其连通，另一端与一液氮供应装置连接，且在所述第二管路上设置有一第二阀门；

一第三管路，其一端通过所述硅单晶棒容器的侧壁与其连通，另一端与一真空装置连接，且在所述第三管路上设置有一第三阀门；以及

一第四管路，通过所述硅单晶棒容器的侧壁与其连通，且在所述第四管路上设置有一第四阀门。

2.如权利要求1所述的硅单晶棒回收装置，其特征在于，还包括一第五管路，其一端通过所述硅单晶棒容器的侧壁与其连通，另一端与一气体收集装置连接，在所述第五管路上设置有一个第五阀门。

3.如权利要求2所述的硅单晶棒回收装置，其特征在于，所述第五管路靠近所述盖体设置。

4.如权利要求1所述的硅单晶棒回收装置，其特征在于，所述第二管路靠近所述硅单晶棒容器的底部设置。

5.如权利要求1所述的硅单晶棒回收装置，其特征在于，所述第三管路靠近所述硅单晶棒容器的底部设置。

6.如权利要求1所述的硅单晶棒回收装置，其特征在于，所述第四管路的一端连接于所述第三管路上的一连接点，且所述连接点位于所述第三阀门和所述硅单晶棒容器的侧壁之间。

7.一种硅单晶棒回收方法，使用如权利要求1-6中任意一项所述的硅单晶棒回收装置，其特征在于，包括：

将待回收的硅单晶棒放入到所述硅单晶棒容器中，并将所述盖体盖紧，关闭所述第一阀门、第二阀门、第三阀门和第四阀门；

打开所述第三阀门，利用所述真空装置使得所述硅单晶棒容器中的气压为真空，然后关闭所述第三阀门；

打开所述第二阀门，利用所述液氮供应装置向所述硅单晶棒容器中冲入液氮，直至液氮淹没所述待回收的硅单晶棒后，关闭所述第二阀门；

打开所述第一阀门，热去离子水通过所述第一管路流入所述硅单晶棒容器中，对所述待回收的硅单晶棒进行淬火，使得所述待回收的硅单晶棒碎裂成硅单晶碎块，然后关闭所述第一阀门；

打开所述第四阀门，通过所述第四管道排干所述硅单晶棒容器中的水，然后收集所述硅单晶碎块。

8.如权利要求7中所述的硅单晶棒回收方法，其特征在于，还包括：

在打开所述第一阀门的之前，打开所述第五阀门，利用所述气体收集装置收集所述硅单晶棒容器中的氮气。