多晶硅还原尾气回收方法和回收系统与流程

文档序号:12937290阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供一种多晶硅还原尾气回收方法,包括:利用氯化氢吸收塔塔顶输出的不凝气的冷量对所述还原尾气进行冷却处理,得到冷却后的还原尾气;在氯化氢吸收塔中利用塔顶自上而下的含有微量氯化氢的液相氯硅烷对所述冷却后的还原尾气进行吸收处理,从塔釜输出富含氯化氢的液相氯硅烷,从塔顶输出不凝气;在氯化氢解析塔中对氯化氢吸收塔塔釜输出的富含氯化氢的液相氯硅烷进行解析处理;利用氯化氢吸收塔塔釜输出的富含氯化氢的液相氯硅烷的冷量对氯化氢解析塔输出的含有微量氯化氢的液相氯硅烷进行冷却处理,并将冷却后含有微量氯化氢的液相氯硅烷送入氯化氢吸收塔塔顶。相应地,还提供一种回收系统。本发明所述回收方法和回收系统的冷量利用合理。

技术研发人员:王东;杨海军;张杰;苟海龙;李国苑;俞振阳;马永露
受保护的技术使用者:新特能源股份有限公司
技术研发日:2016.05.09
技术公布日:2017.11.17
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1