一种硝酸吹白装置及其方法与流程

文档序号:11818985阅读:1155来源:国知局

本发明涉及硝酸生产技术领域,更具体地说,涉及一种硝酸吹白装置及其方法。



背景技术:

近几年,随着电子产业飞速发展,芯片制造行业也在突飞猛进的发展,芯片的氧化膜越来越薄。制造芯片时,需要用硝酸对其进行清洗和腐蚀,硝酸纯度的高低对芯片的成品率起着关键性的作用。即,硝酸纯度越高,芯片的成品率越高。因此,人们非常渴望得到高纯度的硝酸。

在工业上有时候需要比较纯净的硝酸,尤其二氧化氮要少,否则副反应和副产物都会增加。在硝酸工业中,原则上会经过漂白处理,即用洁净空气吹除其中含有的二氧化氮,得到无色透明或略带黄色的液体。

但是,现有技术中应用的硝酸吹白设备较为复杂,空气分散效果不好,导致二氧化氮排出效率低,从而使吹白效果差,影响了硝酸的实际应用效果。

因此,由于现有技术中存在上述的技术缺陷,是本领域内技术人员亟待解决的技术问题。



技术实现要素:

本发明的目的为提供一种硝酸吹白装置及其方法,旨在解决现有技术中存在的硝酸与空气接触效果不好,导致吹白效果差,影响硝酸制造质量的问题。

为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:

一种硝酸吹白装置及其方法,包括反应釜、支脚、进料管、进水管、进气管、真空管、混合分配槽、分配管、吹白筒、竖直排气管、排气孔、出液管和排液管,所述反应釜内上部设有混合分配槽,所述混合分配槽下端均匀设有多个分配管,所述反应釜内下部设有多个竖直的吹白筒,所述吹白筒上端开口,所述吹白筒设于所述分配管正下方,所述吹白筒内设有竖直的排气管,所述竖直排气管周壁上均匀设有多个排气孔,所述反应釜顶端设有进料管、进水管、真空管和进气管,所述进料管、进水管和真空管设于所述混合分配槽正上方,所述进气管向下穿过所述混合分配槽底部并延伸至反应釜内底部,所述进气管底部通过管道连接竖直排气管,所述吹白筒底部设有出液管,所述反应釜底部中心设有排液管,所述反应釜底部设有支脚。

优选的,还包括锥形底,所述反应釜底部设有锥形底,所述锥形底下尖端设有排液管。

优选的,还包括降温外套,所述反应釜外壁上设有降温外套,所述降温外套上分别连接冷却进水管和冷却出水管。

优选的,还包括混合管,所述混合管设于所述反应釜顶端,所述混合管分别连接所述进料管和进水管。

本发明的有益之处在于:本发明相对于现有技术,通过在反应釜内设置混合分配槽和吹白筒,从而可使进行混合分配的浓硝酸通过分配管下落到吹白筒中,而竖直排气管上设置的排气孔能够将空气排出并上浮,从而实现了硝酸与空气的逆向运动,提高空气与硝酸的接触面积,增强二氧化氮的排出效果;通过混合管的设置,能够使硝酸和水进行提前混合,减少搅拌设备的设置。本发明结构简单,使用方便,混合分配效果好,空气与硝酸接触时间长,吹白能力强。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明的结构示意图;

图中:1反应釜;2支脚;3进料管;4进水管;5进气管;6真空管;7混合分配槽;8分配管;9吹白筒;10竖直排气管;11排气孔;12出液管;13排液管;14锥形底;15降温外套;16混合管。

具体实施方式

本发明提供了一种硝酸吹白装置及其方法,本发明结构简单,使用方便,混合分配效果好,空气与硝酸接触时间长,吹白能力强。

下面结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚和详细的描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例,而不是全部实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本发明保护的范围。

如图1所示的一种硝酸吹白装置及其方法,包括反应釜1、支脚2、进料管3、进水管4、进气管5、真空管6、混合分配槽7、分配管8、吹白筒9、竖直排气管10、排气孔11、出液管12和排液管13,所述反应釜1内上部设有混合分配槽7,所述混合分配槽7下端均匀设有多个分配管8,所述反应釜1内下部设有多个竖直的吹白筒9,所述吹白筒9上端开口,所述吹白筒9设于所述分配管8正下方,所述吹白筒9内设有竖直排气管10,所述竖直排气管10周壁上均匀设有多个排气孔11,所述反应釜1顶端设有进料管3、进水管4、真空管6和进气管5,所述进料管3、进水管4和真空管6设于所述混合分配槽7正上方,所述进气管5向下穿过所述混合分配槽7底部并延伸至反应釜1内底部,所述进气管5底部通过管道连接竖直排气管10,所述吹白筒9底部设有出液管12,所述反应釜1底部中心设有排液管13,所述反应釜1底部设有支脚2。混合分配槽7和吹白筒9均可通过连接杆与反应釜1内壁相固定,其固定方式属于现有常用技术,在此不再赘述。在实际使用时,通过真空管6连接真空泵对反应釜1内抽真空,图中未示出真空泵,且真空泵属于常用技术,在此不再赘述。

更进一步的,还包括锥形底14,所述反应釜1底部设有锥形底14,所述锥形底14下尖端设有排液管13。能够使从吹白筒9中流出的硝酸集中到锥形底14中,方便通过排液管13进行排出。

更进一步的,还包括降温外套15,所述反应釜1外壁上设有降温外套15,所述降温外套15上分别连接冷却进水管和冷却出水管。由于在硝酸和水混合过程中出现产热,需在反应釜1外壁上设置降温外套15,在降温外套15内通入冷却水,可实现对反应釜1的降温功能。

更进一步的,还包括混合管16,所述混合管16设于所述反应釜1顶端,所述混合管16分别连接所述进料管3和进水管4。混合管16的设置,能够在硝酸和水进入之前,即进行了混合作用,实现了预混合,提高工作效率。

本发明的工作原理如下:

进料管通入的硝酸与进水管通入的水进入到混合分配槽中,实现混合作用,混合后的硝酸通过分配管下落到吹白筒中,并通过与进气管连接的竖直排气管实现向外排气,排出的空气向上不断上浮,而与下落的硝酸形成逆向运动,提高空气与硝酸的接触时间,从而可提高二氧化氮的排出速率,经吹白后的硝酸经过吹白筒下端设置的出液管流入到锥形底中,并通过排液管将硝酸排出反应釜外。

本发明的有益之处在于:本发明相对于现有技术,通过在反应釜内设置混合分配槽和吹白筒,从而可使进行混合分配的浓硝酸通过分配管下落到吹白筒中,而竖直排气管上设置的排气孔能够将空气排出并上浮,从而实现了硝酸与空气的逆向运动,提高空气与硝酸的接触面积,增强二氧化氮的排出效果;通过混合管的设置,能够使硝酸和水进行提前混合,减少搅拌设备的设置。本发明结构简单,使用方便,混合分配效果好,空气与硝酸接触时间长,吹白能力强。

本说明书中各个实施例采用递进的方式描述,每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处,各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。

对所公开的实施例的上述说明,使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说是显而易见的,本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下,在其它实施例中实现。因此,本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例,而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

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