本发明涉及光伏领域,尤其涉及一种新型硅单晶炉。
背景技术:
单晶硅作为一种半导体材料,一般用于制造集成电路和其他电子元件,目前单晶硅的生长技术有两种:区熔法和直拉法,其中直拉法是目前普遍采用的方法。在直拉法制造单晶硅时,要将多晶料置于石英坩埚中,经过高温加热使其熔化,然后籽晶由顶部降下至熔化的多晶硅中,通过控制液面的温度,使熔化的多晶硅在籽晶周围重新结晶,生成排列整齐的单晶硅棒。
目前,硅单晶炉在生产过程中,通过导流筒对氩气进行导流,氩气流动过程中,不断的从晶体表面带走热量,然而,现有导流筒难以有效控制氩气的流动速度,一旦流动速度快,易造成固液界面凹陷,进而会影响硅单晶的成型质量,由此,急需解决。
技术实现要素:
本发明的目的在于针对上述问题,提供一种新型硅单晶炉,以解决现有导流筒难以有效控制氩气的流动速度,易影响硅单晶成型质量的问题。
本发明的目的是通过以下技术方案来实现:
一种新型硅单晶炉,包括炉体,所述炉体上开有抽真空口,且炉体内设置有保温筒,所述保温筒内设置有石墨钳锅,所述石墨钳锅的外侧设置有加热器,所述加热器与电极相连,所述石墨钳锅的内部设置有石英钳锅,所述保温筒内位于石英钳锅的上部设置有导流筒,所述导流筒的下部设置有导流板,所述导流板由驱动装置驱动,并可转动安装于导流筒的下部。
作为本发明的一种优选方案,所述驱动装置为电机,所述导流筒的下部可转动连接有旋转轴,所述旋转轴由电机驱动,所述导流板固定安装于旋转轴上。
作为本发明的一种优选方案,所述导流板与旋转轴键连接。
作为本发明的一种优选方案,所述保温筒与炉体之间设置有保温毡。
本发明的有益效果为,所述一种新型硅单晶炉通过在导流筒的下部转动连接导流板,进而可根据需要调节导流板的角度,从而改变氩气的流动速度,避免氩气流动速度过快对硅单晶的成型质量造成影响,结构简单、易于实现。
附图说明
图1为本发明一种新型硅单晶炉的结构示意图。
图中:
1、炉体;2、抽真空口;3、保温筒;4、保温毡;5、托架;6、石墨钳锅;7、加热器;8、电极;9、石英钳锅;10、导流筒;11、导流板。
具体实施方式
下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。可以理解的是,此处所描述的实施例仅仅用于解释本发明,而非对本发明的限定。
请参照图1所示,图1为本发明一种新型硅单晶炉的结构示意图。
于本实施例中,一种新型硅单晶炉,包括炉体1,所述炉体上开有抽真空口2,且炉体1内设置有保温筒3,所述保温筒3与炉体1之间设置有保温毡4,且保温筒3内通过托架5设置有石墨钳锅6,所述石墨钳锅6的外侧设置有加热器7,所述加热器7与电极8相连,所述石墨钳锅6的内部设置有石英钳锅9,所述保温筒3内位于石英钳锅9的上部设置有导流筒10,所述导流筒10的下部可转动连接有旋转轴,所述旋转轴由电机驱动,所述导流板11键连接于旋转轴上。
上述一种新型硅单晶炉通过在导流筒10的下部转动连接导流板11,进而可根据需要调节导流板11的角度,从而改变氩气的流动速度,避免氩气流动速度过快对硅单晶的成型质量造成影响,结构简单、易于实现。
以上实施例只是阐述了本发明的基本原理和特性,本发明不受上述实施例限制,在不脱离本发明精神和范围的前提下,本发明还有各种变化和改变,这些变化和改变都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书界定。