单晶硅平收尾方法及制备方法与流程

文档序号:11147584阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种单晶硅平收尾方法,其特征在于,该方法包括如下步骤:

步骤S01:关闭自动温度控制系统,将坩埚的运动上升速度降为零;

步骤S02:手动升温10~20℃,晶体的提拉速度降低至0.1~0.4mm/min,保持晶体继续生长20~30min,此时晶体与固液界面接触的一端由凹面生长为平面;

步骤S03:关闭晶体提拉速度的自动控制系统,手动调节晶体的提拉速度,使得晶体的提拉速度小于0.1mm/min,保持晶体继续生长20~30min,此时晶体与固液界面接触的一端由平面生长为凸面;

步骤S04:将坩埚一次性下降20~50mm,使得晶体脱离坩埚内熔硅液面,然后降低晶体转速和坩埚转速;

步骤S05:晶体降温,继续提拉晶体获得产品。

2.根据权利要求1所述的单晶硅平收尾方法,其特征在于,所述步骤S02中,一次性手动升温15℃。

3.根据权利要求1所述的单晶硅平收尾方法,其特征在于,所述步骤S02中,所述晶体的提拉速度降低至0.35mm/min。

4.根据权利要求3所述的单晶硅平收尾方法,其特征在于,所述步骤S02中,所述晶体的生长时间为25min。

5.根据权利要求4所述的单晶硅平收尾方法,其特征在于,所述步骤S03中,所述晶体的提拉速度降低至0.02mm/min或0.03mm/min。

6.根据权利要求1所述的单晶硅平收尾方法,其特征在于,所述步骤S04中,所述晶体转速和坩埚转速降低至1~3转/min。

7.根据权利要求1所述的单晶硅平收尾方法,其特征在于,所述步骤S05中,通过手动调节加热装置的加热功率使得晶体温度降低,具体步骤如下:将所述加热器的加热功率设为50kW,保持10min;将所述加热器的加热功率设为30kW,保持10min;将所述加热器的加热功率设为0kW。

8.根据权利要求1所述的单晶硅平收尾方法,其特征在于,所述步骤S05中,所述晶体以6mm/min的速度上升20~50min。

9.根据权利要求1所述的单晶硅平收尾方法,其特征在于,所述收尾工序耗用时间为1~3小时。

10.一种单晶硅的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括多晶硅的装料和熔化、种晶、缩颈、放肩、等径生长和收尾,所述收尾为权利要求1~9任意一项所述的单晶硅平收尾方法。

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