技术特征：
1.一种光伏电池硅片表面钝化气体喷淋组件，其特征在于，所述气体喷淋组件包括喷淋板装置和置于其下方的抽风装置，所述喷淋板装置包括壳体，其上设有与反应气体发生器连接的通气孔，设置在壳体内部且与壳体连接的气体匀流板组件，设置在壳体侧边的固定板和挡板，所述的壳体与气体匀流板组件通过螺丝固定并设有气体匀流板组件高度调节的螺栓；所述抽风装置置于喷淋板的正下方，待处理的硅片从喷淋板装置与抽风装置之间走过，所述抽风装置呈盒体状，盒体的上盖板的边缘部设有抽风槽，盒体左右两侧盖板上设有多个抽风小孔，盒体的前侧或后侧盖板上设有与抽风机连接的出气口；从喷淋板喷出的反应气体对硅片表面进行处理后被其下方的抽风装置吸走以避免气体泄漏。2.如权利要求1所述的光伏电池硅片表面钝化气体喷淋组件，其特征在于，所述的气体匀流板组件包括一级匀流板、二级匀流板以及三级匀流板，一级匀流板与二级匀流板之间以及二级匀流板与三级匀流板之间采用粘合或焊接的方式固定。3.如权利要求2所述的光伏电池硅片表面钝化气体喷淋组件，其特征在于，所述的一级匀流板的长度和宽度均小于二级匀流板和三级匀流板的长度和宽度，二级匀流板和三级匀流板的宽度和长度相同。4.如权利要求1或2所述的光伏电池硅片表面钝化气体喷淋组件，其特征在于，所述的挡板上设有调节挡板高度的椭圆长孔。5.如权利要求1或2所述的光伏电池硅片表面钝化气体喷淋组件，其特征在于，所述的一级匀流板包括镂空部分，盲孔风槽以及设置在风槽中部的对称设置的通气孔，所述的通气孔与壳体上的通气孔相通。6.如权利要求5所述的光伏电池硅片表面钝化气体喷淋组件，其特征在于，所述的二级匀流板包括多个呈矩形设置且均匀排布的盲孔通风部，设置在盲孔通风部中间的通气孔以及设置在二级匀流板两侧及盲孔通风部之间的螺丝固定孔，所述的通气孔与一级匀流板的风槽相通。7.如权利要求6所述的光伏电池硅片表面钝化气体喷淋组件，其特征在于，所述的抽风装置的盒体上盖板的边缘部还设有多个抽风小\t孔。8.如权利要求6所述的光伏电池硅片表面钝化气体喷淋组件，其特征在于，所述的三级匀流板为凹形薄板状，其上均匀分布有多个微通气孔以及螺丝固定柱，所述微通气孔与二级匀流板的通气部相通。9.如权利要求1所述的光伏电池硅片表面钝化气体喷淋组件，其特征在于，所述外壳、匀流板、挡板以及抽风装置的材料包括聚丙烯，聚氯乙烯，氯化聚氯乙烯、聚偏氟乙烯、全氟烷氧基树脂、聚四氟乙烯、铝合金或不锈钢材料。10.一种光伏电池硅片表面气体钝化设备，所述钝化设备包括如权利要求1-9任一项所述的气体喷淋组件以及控制箱，所述控制箱包括控制面板、反应气体发生器、与反应气体发生器连接的出气口，所述出气口通过通气管与气体喷淋组件壳体上的通气孔连接，所述的气体喷淋组件通过所述固定板固定在硅片刻蚀机上，待处理的硅片由硅片刻蚀机的传送装置带动从气体喷淋组件的喷淋板装置与抽风装置之间走过。