一种籽晶漂浮于生长溶液的GaN晶体生长装置的制作方法

文档序号:11836586阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种籽晶漂浮于生长溶液的GaN晶体生长装置,包括釜体,釜体内设有坩埚,坩埚中装设有生长溶液,生长溶液的表面处通过漂浮体固定有籽晶,漂浮体通过拉绳限制在中心区域,坩埚的下端设有转盘,转盘通过转轴连接有位于釜体外的转动电机。本实用新型中籽晶通过漂浮体漂浮于生长溶液,转动电机通过转轴驱动转盘旋转,坩埚也随之旋转,通过这种方式加快N在氮气氛围与生长溶液界面处溶解,改善生长溶液中N浓度分布均衡性,利于结晶,同时漂浮体在拉绳限制作用下始终处于生长溶液表面处的中心区域,进一步保障结晶效果。

技术研发人员:张新峰
受保护的技术使用者:张新峰
文档号码:201620579824
技术研发日:2016.06.15
技术公布日:2016.11.30

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