一种低温晶体生长炉的制作方法

文档序号:12183711阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种低温晶体生长炉,包括加热结晶装置(1)、升降装置(2)和机架(3),所述升降装置(2)设置在加热结晶装置(1)正下方,所述加热结晶装置(1)与升降装置(2)均设置在机架(3)上,其特征在于,所述机架(3)包括一支撑板(31)以及设置在支撑板(31)底部四角的支撑杆(32),所述支撑杆(32)的底部之间垂直的设置有固定杆(33),所述固定杆(33)与支撑杆(32)相连接处设置有支撑装置(4),所述支撑装置(4)可以翻折,所述固定杆(33)的底部设置有万向滚珠,所述支撑装置(4)包括一固定轴(41)、设置在固定轴(41)上且可绕固定轴(41)旋转的转轴(42)以及垂直设置在转轴(42)尾端的圆盘(43),所述支撑杆(32)底部设置有凹槽(10),所述凹槽(10)呈L状,所述固定轴(41)设置在该凹槽(10)内,所述转轴(42)高于所述凹槽(10)。

2.根据权利要求1所述一种低温晶体生长炉,其特征在于,所述固定杆(33)设置有三根,三根所述固定杆(33)构成一个“凵”字形的形状。

3.根据权利要求2所述一种低温晶体生长炉,其特征在于,所述升降装置(2)设置在机架(3)内,所述加热结晶装置(1)设置在机架(3)上方,所述加热结晶装置(1)的四周设置有透明的防护板(5),所述防护板(5)从支撑板(31)处向上延伸。

4.根据权利要求3所述一种低温晶体生长炉,其特征在于,所述加热结晶装置(1)包括上下两侧的电阻加热段(11)和设置在电阻加热段(11)之间的高频感应加热段(12)。

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